电子装置制造方法及图纸

本揭露提供一种电子装置。电子装置包括基板、主动元件、第一绝缘层、检测元件以及导电层。主动元件设置于基板上。第一绝缘层设置于主动元件上。检测元件设置于第一绝缘层上。导电层设置于第一绝缘层上。第一绝缘层具有凹陷，且凹陷于基板的法线方向上与导电层不重叠。叠。叠。

【技术实现步骤摘要】
电子装置


[0001]本揭露涉及一种电子装置，尤其涉及一种具有检测元件的电子装置。

技术介绍

[0002]随电子产品的蓬勃发展，一些电子装置可具有检测元件用以感测。但于电子装置的制造过程中，可能会受到一些水或气体所影响，进而改变电子装置中的元件效能，故如何降低上述问题已为现今需探讨的项目。

技术实现思路

[0003]根据本揭露的实施例，电子装置包括基板、主动元件、第一绝缘层、检测元件以及导电层。主动元件设置于基板上。第一绝缘层设置于主动元件上。检测元件设置于第一绝缘层上。导电层设置于第一绝缘层上。第一绝缘层具有凹陷，且凹陷于基板的法线方向上与导电层不重叠。
[0004]基于上述，本揭露实施例的电子装置的绝缘层设置于主动元件上，可降低于制程中的液体、气体(例如包括氢离子、氧离子或其他离子或元素)对主动元件造成影响。此外，通过将邻近或对应于主动元件上部分的绝缘层移除而形成凹陷，有助于降低绝缘层内的上述气体扩散至主动元件而导致主动元件的特性偏移或失效的机会。藉此设计，本揭露实施例的电子装置可具有较佳的可靠度。
附图说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子装置，其特征在于，包括:基板；主动元件，设置于所述基板上；第一绝缘层，设置于所述主动元件上；检测元件，设置于所述第一绝缘层上；以及导电层，设置于所述第一绝缘层上，其中所述第一绝缘层具有凹陷，且所述凹陷于所述基板的法线方向上与所述导电层不重叠。2.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，所述第一绝缘层具有第一厚度，所述凹陷具有深度，且深度介于0.01微米至第一厚度之间。3.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，于所述基板的所述法线方向上，所述第一绝缘层的第一部分与所述导电层重叠且具有第一厚度T1，所述第一绝缘层的第二部分与所述导电层不重叠且具有第二厚度T2，且所述第二厚度T2小于所述第一厚度T1。4.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，还包括：平坦层，设置于所述主动元件与所述第一绝缘层之间。5.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，至少部分之所述凹陷的第一侧壁表面与至少部分的所述导电层的第二侧壁表面切齐。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：林信宏，吴智濠，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：