一种晶硅太阳能电池低压退火方法技术

本发明专利技术公开了一种晶硅太阳能电池低压退火方法，包括：(1)向退火炉中通入氮气，调节退火炉的炉内压力与炉内温度；(2)将装载硅片的石英舟放入退火炉内；(3)对退火炉进行抽空处理，通入氮气和氧气，调节炉内压力；(4)对硅片进行热氧化处理，形成氧化硅层；(5)对硅片进行退火处理；(6)向炉内通入氮气，使退火炉的炉内压力回升；(7)出舟；其中，步骤(3)(4)(5)的炉内压力保持在100

【技术实现步骤摘要】
一种晶硅太阳能电池低压退火方法


[0001]本专利技术涉及电池
，尤其涉及一种晶硅太阳能电池低压退火方法。

技术介绍

[0002]随着不可再生能源的减少及环境问题日益凸显，人们对清洁能源的追求日趋强烈。太阳能作为一种可再生的清洁能源，越来越受到人们的青睐。太阳能电池是一种能有效吸收太阳辐射能，利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，其中电池片是该器件重要的组成部分。提高电池片的效率、可靠性及降低电池片的成本，对太阳能光伏电池的发展至关重要。
[0003]目前常规的P型PERC电池主要包含工序：制绒、扩散、SE激光、刻蚀、退火、PERC镀膜、PECVD镀膜、背面激光开槽、丝网印刷、电注入及测试分选，其中退火工序对太阳能电池的效率及可靠性具有很大影响。
[0004]然而，传统的退火工艺在常压下进行，由于管内气体的气流不稳定，不利于氧化硅层的生长，从而制约了电池技术的发展，影响电池的转换效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种晶硅太阳能电池低压退火方法，操作简单可控，能够生长得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，包括：(1)向退火炉中通入氮气，调节退火炉的炉内压力与炉内温度；(2)将装载硅片的石英舟放入退火炉内；(3)对退火炉进行抽空处理，通入氮气和氧气，调节炉内压力；(4)对硅片进行热氧化处理，形成氧化硅层；(5)对硅片进行退火处理；(6)向炉内通入氮气，使退火炉的炉内压力回升；(7)出舟；其中，步骤(3)(4)(5)的炉内压力保持在100
‑
300mbar。2.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(3)(4)(5)中向退火炉中持续通入氮气和氧气；所述氮气的气体流量为5000
‑
8000sccm，所述氧气的气体流量为500
‑
1500sccm。3.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(4)的热氧化时间为900s
‑
1500s，步骤(5)的退火时间为400s
‑
800s。4.如权利要求1所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(2)包括：向退火炉中通入氮气；将装载硅片的石英舟水平进舟，舟体到达指定位置后，再垂直放舟；所述水平进舟的速度为4
‑
10mm/s，所述垂直放舟的速度为2
‑
6mm/s，所述水平进舟和垂直进舟的总时间为500s
‑
700s。5.如权利要求4所述的晶硅太阳能电池低压退火方法，其特征在于，步骤(1)和(2)中，所述退火炉的炉内温度为680
‑
720℃，炉内压力为1000
‑
1100mbar...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴疆，杨苏平，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：