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本发明公开了一种晶硅太阳能电池低压退火方法，包括：(1)向退火炉中通入氮气，调节退火炉的炉内压力与炉内温度；(2)将装载硅片的石英舟放入退火炉内；(3)对退火炉进行抽空处理，通入氮气和氧气，调节炉内压力；(4)对硅片进行热氧化处理，形成氧化...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。