一种密封装置、容器及工件处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种密封装置、容器及工件处理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构，密封机构包括第一驱动机构、至少两组第一密封组件和至少一组第二密封组件；任一组第一密封组件包括至少一个第一密封部件；任一组第二密封组件包括至少一个第二密封部件；第一密封组件在滑行通道内与第二密封组件同步滑动，且第一密封部件与第二密封部件一一对应并且相互面对的端面密封抵接；至少一组第一密封部件滑动抵接在第一区域所在密封通道的内壁上。此结构的密封装置，通过第一密封组件与第二密封组件密封抵接及第一密封组件与密封通道内壁密封滑动连接，将密封通道内的溶液大部分阻挡在容器的内腔中，使得容器内的溶液的液面下降幅度进一步缩小。度进一步缩小。度进一步缩小。

【技术实现步骤摘要】
一种密封装置、容器及工件处理系统


[0001]本专利技术属于电镀
，具体涉及一种密封装置、容器及工件处理系统。

技术介绍

[0002]目前在清洗、电镀、涂覆等领域中，皆以不同容器盛装不同液体以组成所需工艺流程，来对工件完成清洗、电镀、涂覆等工序处理。例如：要依次对工件进行除油-水洗-酸洗-水洗-电镀-水洗的工序，就需要依次设置六个容器，六个容器分别为第一容器、第二容器、第三容器、第四容器、第五容器及第六容器。
[0003]传统工件处理设备中，除了包括上述的多个容器外，还包括设置容器正上方的滑行机构和安装在滑行机构上的升降机构，在对工件处理过程中，工件先安装在升降机构上，升降机构先驱动工件做下降运动，使得工件伸入第一容器内的除油溶液中，待除油工序完成后，升降机构驱动工件做上升运动，从第一容器内取出；之后，滑行机构驱动升降机构和工件同步做移动，使得工件从第一容器的正上方移动到第二容器的正上方，再重复上述升降机构带动工件先做下降运动，工件进入第二容器内的水洗溶液中，水洗工序结束后，升降机构再将工件从第二容器内取出，滑动机构再移动，使得升降机构和工件处于第三容器的正上方，以此类推，逐步完成工件在六个容器内的工序。
[0004]若滑行机构只沿水平方向移动工件，则每个容器的壁上需要开设连通孔，工件从后一个容器朝向前一个容器移动过程中穿过连通孔，每个容器的内腔与连通孔始终保持连通状态，则容器内腔的溶液会不断地经过连通孔向外流出，导致容器内的液面的高度下降速度快，影响后续批量工件的处理效果。
专利技术内容
[0005]因此，本专利技术所要解决的技术问题在于现有的容器内腔与容器壁上的连通孔始终保持连通，容器内的溶液就会不断地经过连通孔流出，引起容器内溶液的液面高度下降速度快，影响后续批量工件的处理效果。
[0006]为此，本专利技术提供一种密封装置，用于对设在容器侧壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封装置包括至少一个密封机构
[0007]所述密封机构包括设在所述密封通道内并将其分割为滑行通道和第一区域的第一驱动机构；及均匀间隔设在所述第一驱动机构上且分别分布在所述滑行通道和第一区域内的至少两组第一密封组件；任一组所述第一密封组件包括至少一个第一密封部件；任意相邻两个所述第一密封部件之间的滑动路径小于其所在滑行通道的长度；
[0008]若干组第二密封组件，均匀间隔可滑动地穿过所述滑行通道；任一组所述第二密封组件包括至少一个第二密封部件；
[0009]所述第一密封组件受所述第一驱动机构的驱动在所述滑行通道和第一区域内做闭合环的循环移动，并在所述滑行通道内与所述第二密封组件同步滑动，且所述第一密封部件与所述第二密封部件一一对应，所述第一密封部件与所述第二密封部件相互面对的端
面密封抵接；至少一组所述第一密封组件的第一密封部件滑动抵接在所述第一区域所在密封通道的内壁上。
[0010]可选的，所述的密封装置，一一对应的所述第一密封部件和第二密封部件中，至少部分所述第一密封部件较与各自对应的第二密封部件处于所述第二密封组件滑行方向的前方或后方。
[0011]可选的，所述的密封装置，所有所述第一密封部件较与各自对应的第二密封部件处于所述滑行方向的后方或前方。
[0012]可选的，所述的密封装置，任一组所述第一密封组件内包括至少两个第一密封部件，所有所述第一密封部件均匀分布；
[0013]对应地任一组所述第二密封组件内包括至少两个第二密封部件，所有第二密封部件均匀分布。
[0014]可选的，所述的密封装置，任意相邻两组所述第一密封组件中，前方第一密封组件中的最后端的第一密封部件与后方第一密封组件中的最前端的第一密封部件之间间隔第一间距；且任一组第一密封组件内的相邻两个第一密封部件之间间隔第一间距。
[0015]可选的，所述的密封装置，任一组所述第一密封组件包括两个第一密封部件；对应地任一组所述第二密封组件包括两个第二密封部件；
[0016]位于前方的所述第一密封部件较前方的第二密封部件处于所述滑行方向的前方，位于后方的所述第一密封部件较后方的第二密封部件处于所述滑行方向的后方。
[0017]可选的，所述的密封装置，所述第一密封部件的一端铰接在所述第一驱动机构上，另一端向外延伸；
[0018]所述第一密封部件受外界的驱动力而转动，以使第一密封部件可在滑行通道内处于相对所述第一驱动机构垂直的竖直状态和在所述第一区域内处于相对于所述第一驱动机构倾斜的倾斜状态之间切换；所述第一密封部件的外壁与对应的所述密封通道的内壁密封地滑动连接。
[0019]可选的，所述的密封装置，所述第一区域在由所述滑行通道朝向所述第一区域方向上的第二间距小于所述第一密封部件的长度；
[0020]所述密封机构还包括设在所述第一驱动机构上并给所述第一密封部件施加背向所述第一驱动机构方向的偏压力的至少一个偏压件；
[0021]所述第一密封部件受所述偏压力而处于所述竖直状态，及在所述第一区域内受所述第一区域所在密封通道的内壁面的挤压力而处于所述倾斜状态。
[0022]可选的，所述的密封装置，所述第一密封部件的一端通过合页铰接在所述第一驱动机构上；和/或
[0023]所述偏压件为扭簧；和/或
[0024]所述第一密封部件呈板块状。
[0025]可选的，所述的密封装置，所述滑行通道和所述第一区域在竖向上并列布置；
[0026]所述第一密封部件在所述滑行通道内移动时，所述第一密封部件上与所述第一驱动机构相对的竖向外侧端面，与其相对的所述滑行通道所在的密封通道的竖向一侧内壁之间密封地滑动连接；及在所述第一区域内移动时，所述第一密封部件的竖向外侧端面与所述第一区域所在的密封通道的另一侧竖向内壁之间密封滑动连接。
[0027]可选的，所述的密封装置，所述密封机构为至少两个，两个所述密封机构对称布置在所述密封通道内；
[0028]两个所述密封机构中的第一驱动机构相互面对的壁面之间形成所述滑行通道，相互背向的壁面分别与各自对应的所述密封通道的内壁之间形成所述第一区域。
[0029]可选的，所述的密封装置，所述第一驱动机构包括呈闭合环的传输带及驱动所述传输带做循环移动的驱动组件，所述第一密封部件的一端设在所述传输带上，另一端向外延伸。
[0030]本专利技术的另一个目的在于提供一种容器，所述容器具有内腔，至少一侧壁设有与所述内腔连通且沿第一方向延伸的密封通道；以及
[0031]上述任一项所述的密封装置，设在所述密封通道内。
[0032]及一种工件处理系统，包括至少一个上述所述的容器；
[0033]所述第二密封组件和所述容器中的任一个受驱动机构的驱动穿过任一滑行通道，以带动设在对应第二密封部件上的工件穿过所述滑行通道；
[0034]在所述第二密封组件或容器的移动方向上，任一相邻两个所述第二密封部件之间的距离为L2
i
，任一所述滑行通道的长度为L0
i...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封装置，用于对设在容器(3)侧壁上沿第一方向延伸的密封通道(4)密封，其特征在于，所述密封装置包括至少一个密封机构，所述密封机构包括设在所述密封通道(4)内并将其分割为滑行通道(7)和第一区域(8)的第一驱动机构(2)；及均匀间隔设在所述第一驱动机构(2)上且分别分布在所述滑行通道(7)和第一区域(8)内的至少两组第一密封组件；任一组所述第一密封组件包括至少一个第一密封部件(1)；任意相邻两个所述第一密封部件(1)之间的滑动路径小于其所在滑行通道(7)的长度；若干组第二密封组件，均匀间隔可滑动地穿过所述滑行通道(7)；任一组所述第二密封组件包括至少一个第二密封部件(6)；所述第一密封组件受所述第一驱动机构(2)的驱动在所述滑行通道(7)和第一区域(8)内做闭合环的循环移动，并在所述滑行通道(7)内与所述第二密封组件同步滑动，且所述第一密封部件(1)与所述第二密封部件(6)一一对应，所述第一密封部件(1)与所述第二密封部件(6)相互面对的端面密封抵接；至少一组所述第一密封组件的第一密封部件(1)滑动抵接在所述第一区域(8)所在密封通道(4)的内壁上。2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，一一对应的所述第一密封部件(1)和第二密封部件(6)中，至少部分所述第一密封部件(1)较与各自对应的第二密封部件(6)处于所述第二密封组件滑行方向的前方或后方。3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所有所述第一密封部件(1)较与各自对应的第二密封部件(6)处于所述滑行方向的后方或前方。4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，任一组所述第一密封组件内包括至少两个第一密封部件(1)，所有所述第一密封部件(1)均匀分布；对应地任一组所述第二密封组件内包括至少两个第二密封部件，所有第二密封部件均匀分布。5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，任意相邻两组所述第一密封组件中，前方第一密封组件中的最后端的第一密封部件(1)与后方第一密封组件中的最前端的第一密封部件(1)之间间隔第一间距；且任一组第一密封组件内的相邻两个第一密封部件(1)之间间隔第一间距。6.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，任一组所述第一密封组件包括两个第一密封部件(1)；对应地任一组所述第二密封组件包括两个第二密封部件(6)；位于前方的所述第一密封部件(1)较前方的第二密封部件(6)处于所述滑行方向的前方，位于后方的所述第一密封部件(1)较后方的第二密封部件(6)处于所述滑行方向的后方。7.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述第一密封部件(1)的一端铰接在所述第一驱动机构(2)上，另一端向外延伸；所述第一密封部件(1)受外界的驱动力而转动，以使第一密封部件(1)可在滑行通道(7)内处于相对所述第一驱动机构(2)垂直的竖直状态和在所述第一区域(8)内处于相对于所述第一驱动机构(2)倾斜的倾斜状态之间切换；所述第一密封部件(1)的外壁与对应的所述密封通道(4)的内壁密封地滑动连接。8.根据权利要求7所述的密封装置，其特征在于，所述第一区域在由所述滑行通道(7)
朝向所述第一区域(8)方向上的第二间距小于所述第一密封部件(1)的长度；所述密封机构还包括设在所述第一驱动机构(2)上并给...

【专利技术属性】
技术研发人员：危勇军，方志斌，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：