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本发明提供了一种密封装置、容器及工件处理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构，密封机构包括第一驱动机构、至少两组第一密封组件和至少一组第二密封组件；任一组第一密封组件包括至少一个第一密封部件；任一组第二密封组件包括至少一个第二密封部件；第...
该专利属于昆山东威科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山东威科技股份有限公司授权不得商用。

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