一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法。包括安装座，所述安装座内转动连接有转动轴，所述转动轴前端固定连接有支撑架，所述支撑架上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板，所述支撑架上端固定连接有等距分布的支撑杆，所述支撑杆上端安装有喷淋管，所述喷淋管右端固定连接有等距分布的喷嘴。该瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法，采用瀑布流式化学蚀刻方法，玻璃上无需任何压力，使玻璃不会受力破裂，高回收比例，废液最少，酸液利用率高，节省大量成本，全工序使用传送带传送，良好的表观效果，不需要重工，良率很高，不需要进行翻面作业，减低了破片风险，提高了蚀刻产能，确保玻璃上下两端的密封性。密封性。密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法


[0001]本专利技术涉及化学蚀刻薄化
，具体为一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法。

技术介绍

[0002]随着现代消费数码技术的发展与需求的增长，液晶显示器广泛应用于消费数码产品中，超薄玻璃制成的液晶显示器以其体积小、形状薄、重量轻、低功耗、低发热、工作电压低、无辐射、图像还原精确等特点得到人们的青睐。
[0003]对于玻璃基板的加工工艺来说，在材料行业出现突破性进展之前，为了保证Panel成品的良率必须使用0.4mm以上厚度的原材基板，那么为了实现显示模组的轻薄化，在玻璃基板贴合之后进行薄型化加工成为一种必然的选择，目前的薄化加工技术为化学浸泡蚀刻和喷淋蚀刻两种方式，此技术可应对薄化0.3mm以上厚度，但是超薄玻璃的韧性差，很脆，对裂纹缺陷非常敏感，喷淋方式蚀刻玻璃越薄越无法支撑，玻璃非常容易破裂，存在加工良率低、破片率高、板厚均一性差等缺点。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出加工良率低、破片率高、板厚均一性差的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其包括安装座，所述安装座内转动连接有转动轴，所述转动轴前端固定连接有支撑架，所述支撑架上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板，所述支撑架上端固定连接有等距分布的支撑杆，所述支撑杆上端安装有喷淋管，所述喷淋管右端固定连接有等距分布的喷嘴。
[0006]优选的，所述支撑架为“U”型结构，且支撑架的高度与待处理的玻璃高度相匹配。
[0007]优选的，所述PVC盖板的长度等于支撑架的宽度。
[0008]本专利技术还提供一种超薄玻璃的制备方法，其包括如上所述的一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其步骤如下：
[0009]步骤一：先采用常规的蚀刻工艺将玻璃减薄至0.3mm的厚度；
[0010]步骤二：再对步骤一中0.3mm的薄玻璃进行精抛作业，完全清除玻璃表面的划伤、脏污等缺陷，确保薄玻璃面内无不良及边框效果良好后再进行瀑布流式化学蚀刻作业；
[0011]步骤三：进行瀑布流式化学蚀刻操作：
[0012](a).将步骤二中精抛后的薄玻璃装在支撑架上，根据薄玻璃的大小可以在支撑架上平行放置多片薄玻璃；
[0013](b).通过外接的机械装置，调整支撑架的倾斜角度，支撑架后端的转动轴在安装座内转动，然后将PVC盖板安装在支撑架上，从而对薄玻璃上下两端进行密封，确保酸液只在薄玻璃外侧的表面流动；
[0014](c).喷淋管接入酸液，设定蚀刻温度和蚀刻速率，并控制喷嘴流量，安装座进行适
宜的摆动，开始进行第一次蚀刻，酸液从喷淋管经喷嘴流出，在薄玻璃表面流动，使薄玻璃减薄至0.1mm；
[0015](d).控制喷嘴的流量，安装座进行适宜的摆动，酸液从喷淋管经喷嘴流出，在薄玻璃表面流动，进行第二次蚀刻，使薄玻璃减薄至0.05mm；
[0016]步骤四：喷淋结束后，将支撑架放平至传送带，然后从传送带流出至清洗平台，洗去玻璃表面的酸液，并在清洗机的出料口用红外线测厚仪进行多点测试，测得玻璃的厚度数据；
[0017]步骤五：厚度合格的超薄玻璃传送至翻转检验台，对超薄玻璃的边缘效果进行检验，确保超薄玻璃边框效果良好；
[0018]步骤六：将超薄玻璃放入镀膜机内，通过镀膜机对超薄玻璃进行镀膜作业；
[0019]步骤七：取出镀膜后的超薄玻璃，并对超薄玻璃的外观进行最终的检验；
[0020]步骤八：检测合格后对超薄玻璃进行包装；
[0021]步骤九：将包装好的超薄玻璃送入仓库。
[0022]优选的，所述步骤二中精抛使用到的材料有抛光粉、吸附垫、抛光垫等，且抛光粉粒径在0.7
‑
0.9um之间。
[0023]优选的，所述步骤三(b)中支撑架的翻转角度在75
±5°
。
[0024]优选的，所述步骤三(c)中设定蚀刻温度为30
±
2℃、蚀刻速率控制在3
‑
5um/min、喷嘴的流量为150
±
20lpm。
[0025]优选的，所述步骤三(d)中喷嘴的流量为100
±
20lpm。
[0026]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法，采用瀑布流式化学蚀刻方法，玻璃上无需任何压力，使玻璃不会受力破裂，高回收比例，废液最少，酸液利用率高，节省大量成本，全工序使用传送带传送，避免了人员拿取造成的玻璃破裂，良好的表观效果，不需要重工，良率很高，并且只需要蚀刻一个面，不需要进行翻面作业，减低了破片风险，提高了蚀刻产能，适用于0.3mm以下的玻璃，通过支撑架对玻璃进行固定，且增设的PVC盖板，确保玻璃上下两端的密封性，通过多组DOE翻转角度验证对比，支撑架最优的蚀刻翻转角度为75
±5°
，减少酸液的用量，且保证蚀刻的效果，通过翻转支撑架，使支撑架的角度在75
±5°
，可以确保酸液与玻璃生成的氟硅酸盐快速带离出玻璃表面，进而不影响蚀刻表观，同时避免蚀刻液与玻璃之间的接触时间过短，反应时间少，酸液的耗用量大幅上升，实用性更强，且瀑布流式化学蚀刻过程分为两个回合，在第二次喷淋时，降低喷嘴的流量，减少对玻璃的冲击，保证蚀刻的效果，也可有效避免玻璃破裂，精抛采用的抛光粉粒径在0.7
‑
0.9um之间，能够使一次抛光通过率达到80
‑
90％，抛光效果最优。
附图说明
[0027]图1为本专利技术一种瀑布流式化学蚀刻专用治具立体结构示意图；
[0028]图2为本专利技术一种瀑布流式化学蚀刻专用治具正面结构示意图；
[0029]图3为本专利技术一种瀑布流式化学蚀刻专用治具俯视结构示意图；
[0030]图4为本专利技术一种超薄玻璃的制备方法加工流程图。
[0031]图中：1、安装座；2、转动轴；3、支撑架；4、PVC盖板；5、支撑杆；6、喷淋管；7、喷嘴。
具体实施方式
[0032]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0033]请参阅图1
‑
4，本专利技术提供一种技术方案：一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，包括安装座1、转动轴2、支撑架3、PVC盖板4、支撑杆5、喷淋管6和喷嘴7，安装座1内转动连接有转动轴2，转动轴2前端固定连接有支撑架3，支撑架3上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板4，支撑架3上端固定连接有等距分布的支撑杆5，支撑杆5上端安装有喷淋管6，喷淋管6右端固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其特征在于，包括安装座(1)，所述安装座(1)内转动连接有转动轴(2)，所述转动轴(2)前端固定连接有支撑架(3)，所述支撑架(3)上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板(4)，所述支撑架(3)上端固定连接有等距分布的支撑杆(5)，所述支撑杆(5)上端安装有喷淋管(6)，所述喷淋管(6)右端固定连接有等距分布的喷嘴(7)。2.根据权利要求1所述的一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其特征在于：所述支撑架(3)为“U”型结构，且支撑架(3)的高度与待处理的玻璃高度相匹配。3.根据权利要求1所述的一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其特征在于：所述PVC盖板(4)的长度等于支撑架(3)的宽度。4.一种超薄玻璃的制备方法，其特征在于包括根据权利要求1
‑
3所述的一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其步骤如下：步骤一：先采用常规的蚀刻工艺将玻璃减薄至0.3mm的厚度；步骤二：再对步骤一中0.3mm的薄玻璃进行精抛作业，完全清除玻璃表面的划伤、脏污等缺陷，确保薄玻璃面内无不良及边框效果良好后再进行瀑布流式化学蚀刻作业；步骤三：进行瀑布流式化学蚀刻操作：(a).将步骤二中精抛后的薄玻璃装在支撑架(3)上，根据薄玻璃的大小可以在支撑架(3)上平行放置多片薄玻璃；(b).通过外接的机械装置，调整支撑架(3)的倾斜角度，支撑架(3)后端的转动轴(2)在安装座(1)内转动，然后将PVC盖板(4)安装在支撑架(3)上，从而对薄玻璃上下两端进行密封，确保酸液只在薄玻璃外侧的表面流动；(c).喷淋管(6)接入酸液，设定蚀刻温度和蚀刻速率，并控制喷嘴(7)流量，安装座(1)进行适宜的摆动，开始进行第一次蚀刻，酸液从喷淋管...

【专利技术属性】
技术研发人员：段伟伟，许泽芳，刘丽，
申请(专利权)人：赣州帝晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：