【技术实现步骤摘要】
一种绑定设备及其控制方法
[0001]本专利技术涉及微电子加工设备领域，尤其涉及一种绑定设备及其控制方法。
技术介绍
[0002]绑定设备是半导体领域的一种常用设备。用于把来料中密集的半导体器件绑定到众多的分散的目标位置上。其中绑定精度及绑定频率(单位时间内绑定的器件数量)是两个最关键指标。
[0003]随着行业的高速发展，在保证绑定精度的同时，对绑定频率提出了更高要求。在绑定过程中，绑定设备需要执行“平移到目标位置
‑
绑定
‑
平移到下一目标位置
‑
绑定”的运动过程。其中，频繁的从一个绑定目标位置运动至下一目标位置的过程中，呈现出周期运动的形态，而缩短该过程的时间是提高绑定频率的关键。
[0004]其中，绑定设备由一个目标位置运动到另一个目标位置的过程中，工作部件前期加速，后期减速，最后运动到另一个目标位置，在此过程中，前期工作部件需要一个方向的力加速、后期需要一个反向的力减速。在工作部件加速或者减速的同时，均会对设备基座产生反作用力；一方面，运动部件受力...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种绑定设备，其特征在于，包括：基座；第一直线导轨，设置于所述基座上；主运动平台，设置于所述第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动所述主运动平台在所述第一直线导轨上运动；第二直线导轨，设置于所述主运动平台上，且与所述第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于所述第二直线导轨上，所述工作末端的整体质量小于所述主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动所述工作末端在所述第二直线导轨上运动；控制装置，分别与所述第一驱动装置和所述第二驱动装置连接，用于控制所述主运动平台在所述第一直线导轨上运动，并控制所述工作末端在所述第二直线导轨上做往复运动。2.根据权利要求1所述的绑定设备，其特征在于，还包括：往复运动端，所述往复运动端设置于所述第二直线导轨上；第三驱动装置，所述第三驱动装置用于驱动所述往复运动端在所述第二直线导轨上运动；且所述控制装置与所述第三驱动装置连接，用于控制所述往复运动端在所述第二直线导轨做往复运动，所述往复运动端和所述工作末端的加速度的方向始终相反。3.根据权利要求2所述的绑定设备，其特征在于，所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均为直线电机，所述第二驱动装置和所述第三驱动装置的电机定子为同一个且设置于所述主运动平台上，所述第二驱动装置和所述第三驱动装置的电机动子分别设置于所述工作末端和往复运动端上；或者，所述第二驱动装置和所述第三驱动装置为同一个凸轮驱动装置，包括设置于所述主运动平台上的旋转电机，所述旋转电机的驱动轴上设置有与所述主运动平台平行的盘状凸轮，所述盘状凸轮上设有中心对称的导向槽，所述工作末端和所述往复运动端分别通过第一连接结构和第二连接结构与所述导向槽滑动连接，所述导向槽的中心与所述驱动轴的中心轴重合，且所述工作末端和所述往复运动端与所述导向槽的两个接触点始终与所述导向槽的中心共线。4.根据权利要求1～3中任一项所述的绑定设备，其特征在于，所述第一驱动装置为直线电机，所述第一驱动装置的电机定子设置于所述基座上，所述第一驱动装置的电机动子设置于所述主运动平台上。5.一种绑定设备的控制方法，用于控制如权利要求1～4中任一项所述的绑定设备，其特征在于，包括：第一绑定步骤，包括：所述工作末端位于预设位置，控制所述主运动平台的速度与所述工作末端相对于所述第二直线导轨的速度大小相等但方向相反，并控制所述工作末端绑定预设器件；定位步骤，包括：控制所述主运动平台向下一个所述预设位置移动，同时控制所述工作末端在所述第二直线导轨上做往复运动，且所述工作末端相对于所述第一直线导轨向下一个所述预设位置移动；第二绑定步骤，包括：所述工作末端位于所述预设位置，控制所述主运动平台的速度与
所述工作末端相对于所述第二直线导轨的速度大小相等但方向相反，并控制所述工作末端绑定预设器件；判断步骤，包括：判断所述绑定设备是否完成预设次数...
【专利技术属性】
技术研发人员：王广炎，张作军，冯晓庆，刘晏，何烽光，刘正勇，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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