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本发明公开一种绑定设备及其控制方法，涉及微电子加工设备领域，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台运动...
该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。

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