狭缝距离测量工具及其测量方法技术

本申请涉及一种狭缝距离测量工具及其测量方法，该测量工具包括：第一横杆和固定在第一横杆上的第一限位杆，第一限位杆和第一横杆形成直角，第一限位杆用于抵接第一侧壁；第一横杆平行的第二横杆和固定在第二横杆上的第二限位杆，第二限位杆和第二横杆形成直角，第二横杆可相对第一横杆平行移动，用于使第二限位杆抵接第二侧壁；距离传感组件，用于测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离；显示组件，与距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在第二横杆移动方向上的初始距离以及移动距离计算并显示狭缝距离。通过第一限位杆和第二限位杆快速确定狭缝边界，并通过距离传感组件和显示组件自动测量狭缝距离，可提高测量速度和精度。提高测量速度和精度。提高测量速度和精度。

【技术实现步骤摘要】
狭缝距离测量工具及其测量方法


[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种狭缝距离测量工具及其测量方法。

技术介绍

[0002]在组装半导体设备时，需要精准地控制各组件之间的相对位置关系，尤其是为防止摩擦而使两组件间隔设置时，需要精确地控制两组件之间的狭缝距离。例如，半导体工艺腔开设有传送通道，传送通道内安装有狭缝阀门，将狭缝阀门移动至传送通道的上方或下方，可打开传送通道，将晶圆传入工艺腔室或传出工艺腔室，将狭缝阀门移动至传送通道处，便可关闭传送通道。为避免狭缝阀门上下移动过程中与传送通道内壁相互摩擦而产生悬浮颗粒，污染晶圆，一般需要使狭缝阀门与传送通道左右内壁之间存在一定距离的狭缝，从而避免狭缝阀门上下移动过程中与传送通道内壁相互摩擦。在传统技术中，将设狭缝阀门安装于传送通道内后，通过肉眼观察狭缝阀门上下移动过程中是否与传送通道左右内壁产生摩擦，从而判断狭缝阀门与传送通道之间的狭缝距离是否合适，然而，这种方式并不精确。

技术实现思路

[0003]基于此，本申请提出一种狭缝距离测量工具及其测量方法，有利于精确测量狭缝距本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种狭缝距离测量工具，用于测量第一侧壁与第二侧壁之间的狭缝距离，其特征在于，包括：基准部，包括第一横杆和固定在所述第一横杆上的第一限位杆，所述第一限位杆和所述第一横杆形成直角，所述第一限位杆用于抵接所述第一侧壁；移动部，包括与所述第一横杆平行的第二横杆和固定在所述第二横杆上的第二限位杆，所述第二限位杆和所述第二横杆形成直角，所述第二横杆可相对所述第一横杆平行移动，用于使所述第二限位杆抵接所述第二侧壁；距离传感组件，用于测量所述第二横杆相对于所述第一横杆的移动距离；显示组件，与所述距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在所述第二横杆移动方向上的初始距离以及所述移动距离计算并显示所述狭缝距离。2.如权利要求1所述的狭缝距离测量工具，其特征在于，所述第一横杆包括具有中空内腔的套合部，所述第二横杆嵌于所述套合部内并可沿所述套合部移动，所述第一限位杆和所述第二限位杆均位于所述套合部外的同侧。3.如权利要求2所述的狭缝距离测量工具，其特征在于，所述第二横杆包括嵌入部和自所述嵌入部中心向一端延伸的连接部，所述嵌入部嵌于所述套合部内并可沿所述套合部移动，所述连接部与所述套合部内壁相间隔，所述第二限位杆固定于所述连接部上。4.如权利要求2所述的狭缝距离测量工具，其特征在于，还包括：控制基板，抵设于所述套合部的端部，且所述控制基板与所述第一限位杆分别位于套合部的两侧，所述距离传感组件集成于所述控制基板内，所述第二横杆具有嵌于所述套合部内并正对所述控制基板的感应端面；其中，所述距离传感组件包括发射端和接收端，所述发射端用于朝所述感应端面发射光信号，光信号经所述感应端面反射后到达所述接收端，所述距离传感组件处理从所述发射端到达所述接收端的光信号数据以得到所述第二横杆相对于所述第一横杆的移动距离。5.如权利要求1所述的狭缝距离测量工具，其特征在于，所述第二限位杆可移动至所述第一限位杆处并与第一限位杆接触。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪兵，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：