蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法技术

蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法
本专利技术涉及蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模及蒸镀掩模的制造方法。
技术介绍
蒸镀掩模具有具备表面及背面的矩形板状。蒸镀掩模具有从表面贯通至背面的多个贯通孔。各贯通孔具有在表面开口的第1开口、以及在背面开口的第2开口。各贯通孔是蒸镀材料的通路。在使用蒸镀掩模向对象物进行蒸镀时，蒸镀材料从第1开口进入贯通孔，由此在对象物上形成与第2开口的形状及位置对应的图案。为了抑制划分贯通孔的壁面妨碍蒸镀材料的通过，提出了具有50μm以下的厚度的蒸镀掩模(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6319505号
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在使用蒸镀掩模时，蒸镀掩模被固定于支承框架。此时，蒸镀掩模在被施加沿着蒸镀掩模的长度方向的张力的状态下被固定于框架。蒸镀掩模非常薄，因此在将蒸镀掩模被固定于框架时，有时因张力的施加而导致蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。因此，在使用蒸镀掩模时，要求抑制蒸镀掩模的变形。本专利技术的目的在于提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模中间体，包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，/n所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，/n各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，/n所述蒸镀掩模中间体具备：/n带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；/n框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及/n多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，/n所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，/n在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180907 JP 2018-1679721.一种蒸镀掩模中间体，包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，
所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，
各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，
所述蒸镀掩模中间体具备：
带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；
框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及
多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，
所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，
在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，
各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。


2.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，
所述带状部的各第2边缘部具有通过所述多个跨接部而与所述框状部连接的连接部位。


3.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，
所述带状部的各缺口被所述连接部位夹着。


4.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，
所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘，
所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部，
各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。


5.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，
所述带状部的各第1边缘部通过所述多个跨接部而与所述框状部连接。


6.如权利要求5所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状、且包含所述弯曲部的缺口，
所述带状部的各第1边缘部在第1连接部位与所述框状部连接，
所述带状部的各...

【专利技术属性】
技术研发人员：西刚广，山本龙彦，小林昭彦，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP