一种掩膜板制造技术

本实用新型专利技术涉及掩膜板技术领域，特别涉及了一种掩膜板，掩膜板包括：多个掩膜条，多个掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。本实用新型专利技术提供的掩膜板能够提高使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板
本技术涉及掩膜板
，特别涉及一种掩膜板。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode)称为有机电致发光二极管。OLED显示技术具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、效应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和3D显示等诸多优点，使它在目前在众多显示设备上得到应用，例如应用于电视机和移动设备上。制造OLED的工艺过程包括多种工艺技术，其中，掩膜板技术是主要技术之一，通常采用掩膜板并通过蒸镀工艺制作阴极。掩膜板的品质的好坏影响着OLED制造工艺的良率。现有技术制作的掩膜板的质量有待提高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种掩膜板，其能够提高使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。为解决上述技术问题，本技术的实施方式提供了一种掩膜版，包括：多个掩膜条，多个所述掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。另外，所述收容部包括第一收容部和第二收容部，所述第一收容部设置于所述正面且与所述开口连通，所述第一收容部包括邻近所述反面的第二面，所述第二收容部设置于所述第二面；其中，所述第二收容部的最低点为所述收容部的最低点，所述第一面为所述第二面未设置所述第二收容部、且邻近所述开口的边缘的部分。本实施例提供了一种收容部的可实施方式。另外，所述收容部还包括第三面，所述第三面为所述第二面未设置所述第二收容部、且远离所述开口的边缘的部分。另外，所述第一收容部为自所述正面朝靠近所述反面的方向凹陷的第一凹槽；所述第二收容部为自所述第二面朝靠近所述反面的方向凹陷的第二凹槽。凹槽的方式更有利于杂质掉入收容空间内。另外，所述第一凹槽的槽宽在0.4微米至0.5微米之间。通过设置此种范围的第一凹槽的槽宽，一方面能够确保在基板上蒸镀待蒸镀膜层时，掩膜条与基板在开口边缘的交界处预留有足够的间隙，从而确保杂质不会在掩膜条与基板在邻近开口边缘的交界处聚集；另一方面也能够避免第一凹槽过宽而影响掩膜板的结构强度，从而提高了掩膜板的可靠性。另外，所述第二凹槽的槽宽与所述第一凹槽的槽宽的比值在0.8至0.9之间。通过此种比例范围的设置，能够进一步确保其他来源的杂质会掉入第二凹槽内，从而被第二凹槽收容，确保杂质无法从第二凹槽内再次掉出，进一步提高了使用掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。另外，所述第一凹槽的槽深和所述第二凹槽的槽深之和，与所述掩膜板的厚度的比值在0.1至0.2之间。若第一凹槽的槽深和第二凹槽的槽深之和较大，会导致掩膜板出现厚度较薄的区域，影响掩膜板的强度，因此可以将第一凹槽的槽深和第二凹槽的槽深之和控制在掩膜板厚度的0.1至0.2之间。另外，所述第二收容部为多个，多个所述第二收容部间隔设置。提供了第二收容部的多种设置方式。另外，所述第二收容部为多个，多个所述第二收容部连接设置。使第二收容部的结构更加紧凑，利于对杂质的收纳。另外，所述第二收容部的纵截面形状为拱形、半圆形、椭圆形、多边形和非规则图形中的至少一种。不限制第二收容部的纵截面形状，提供多种可实施情况。与现有技术相比，本技术实施例提供的技术方案具有以下优点：使用本实施例的掩膜板在基板上蒸镀待蒸镀膜层时，待蒸镀膜层会在基板上与开口正对的区域成型，通过在掩膜条的正面设置收容部，由于正面为朝向待蒸镀膜层的一面，且邻近开口的边缘的第一面到反面的第一距离小于正面到反面的第三距离，也就是说，在基板上蒸镀待蒸镀膜层时，邻近开口边缘的掩膜条与基板不接触，从而避免了“待蒸镀膜层的形成材质在掩膜条与基板邻近开口边缘的交界处聚集，导致待蒸镀膜层表面产生颗粒状杂质，进而导致后续显示面板的封装失效”的情况的发生，使得待蒸镀膜层的表面不会产生颗粒状杂质，提高了使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率；此外，邻近开口的边缘的第一面到反面的第一距离大于收容部的最低点到反面的第二距离，也就是说，收容部具有一个凹形的收容空间，使得其他来源的杂质能够掉入收容空间内，从而被收容空间收容，并能确保杂质无法从收容空间内再次掉出，进一步提高了使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。附图说明图1是本技术第一实施例提供的掩膜板的俯视图；图2是本技术第一实施例提供的掩膜板的部分结构放大图；图3是本技术第一实施例提供的显示面板的结构示意图；图4是本技术第一实施例提供的掩膜板的另一种部分结构放大图；图5是本技术第一实施例提供的掩膜板的又一种部分结构放大图；图6是本技术第一实施例提供的掩膜板的再一种部分结构放大图；图7是本技术第一实施例提供的掩膜板的还一种部分结构放大图；图8是本技术第一实施例提供的掩膜板的还一种部分结构放大图；图9是本技术第一实施例提供的掩膜板的还一种部分结构放大图；图10是本技术第一实施例提供的掩膜板的还一种部分结构放大图；图11是本技术第一实施例提供的掩膜板的还一种部分结构放大图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本技术各实施方式中，为了使读者更好地理解本技术而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本技术各权利要求所要求保护的技术方案。本技术的第一实施方式涉及一种掩膜板100，具体结构如图1及图2所示，包括：多个掩膜条1，多个掩膜条1呈网格状分布并间隔出多个开口10；掩膜条1包括相对设置的正面11和反面12，其中，正面11为朝向待蒸镀膜层的一面；正面11上设置有与开口10连通的收容部20，收容部20包括邻近开口10的边缘的第一面21A，第一面21A到反面12的第一距离L1大于收容部的最低点P到反面12的第二距离L2，第一距离L1小于正面11到反面12的第三距离L3。请参见图3，具体的说，以OLED显示面板200为例，OLED显示面板200包括柔性基底21、TFT层22、平坦化层23、像素界定层24、有机发光层25、阳极26以及阴极27，其中，TFT层22设置在柔性基底21上，平坦化层23设置在TFT层22与阳极26之间，有机发光层25设置在阳极26上，阴极27设置在有机发光层25上，像素界定层24位于阳极26与阴极27之间，并环绕有机发光层25设置，阳极26与阴极27共同驱动有机发光层25。在实际应用中，柔性基底21可由酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：/n多个掩膜条，多个所述掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；/n所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；/n所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：
多个掩膜条，多个所述掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；
所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；
所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。


2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述收容部包括第一收容部和第二收容部，所述第一收容部设置于所述正面且与所述开口连通，所述第一收容部包括邻近所述反面的第二面，所述第二收容部设置于所述第二面；
其中，所述第二收容部的最低点为所述收容部的最低点，所述第一面为所述第二面未设置所述第二收容部、且邻近所述开口的边缘的部分。


3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述收容部还包括第三面，所述第三面为所述第二面未设置所述第二收容部、且远离所述开口的边缘的部分。


4.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：余强根，卓林海，王亚，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13