加热器工作环境模拟测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及机械技术领域。加热器工作环境模拟测试装置，包括测试腔，测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，还包括真空系统，真空系统包括真空管路以及机械真空泵，机械真空泵的吸气口通过真空管路与测试腔对接导通；还包括气源输送系统，气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，气源输入管路与测试腔对接导通；还包括传感系统，传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，气压传感器安装在测试腔内，温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。通过本装置，便于实现不同工作环境的模拟，满足不同的工作需求的加热器的测试。

【技术实现步骤摘要】
加热器工作环境模拟测试装置
本技术涉及机械
，具体是测试装置。
技术介绍
陶瓷加热器是一种高效热分部均匀的加热器。加热器在出厂时会进行测试，但是测试内容往往是行业标准的测试内容，不会进行多样化的测试。然后针对于加热器不同的使用环境，比如不同的总装设备上时，加热器所需的工作环境不同，目前缺乏一种适用于总装厂可以实现不同的工作环境模拟测试的加热器测试装置。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供加热器工作环境模拟测试装置，以解决以上至少一个技术问题。为了达到上述目的，本技术提供了加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于，包括一测试腔，所述测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，所述测试腔包括开口向上的槽体以及顶板，所述顶板覆盖所述槽体的上端开口；还包括一真空系统，所述真空系统包括真空管路以及机械真空泵，所述机械真空泵的吸气口通过真空管路与所述测试腔对接导通；还包括一气源输送系统，所述气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，所述气源输入管路与所述测试腔对接导通；还包括一传感系统，所述传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，所述气压传感器安装在所述测试腔上，所述温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。通过本装置，便于实现不同工作环境的模拟，可以实现工作环境的气压、工艺气体流量的调节需求，满足不同的工作需求的加热器的测试。通过温度传感器来测试加热器的合格情况。当温度传感器感应到待测试加热器的不同制热面的区域的温度差值处于规定范围内时，加热器为合格品。当不同制热面的区域的温度差值超出规定范围内时，加热器不合格。进一步优选地，所述气源输入管路上安装有一进气控制阀，所述进气控制阀是MFC质量流量控制器。通过MFC质量流量控制器便于实现气源流量的自动控制。进一步优选地，还包括一加热适配器，所述加热适配器可拆卸的安装在所述测试腔的底部；所述加热适配器与待测试加热器可拆卸连接；所述待测试加热器通过所述加热适配器与电源相连。通过加热适配器用于安装不同型号的加热器。进一步优选地，所述待测试加热器是一化学气相沉积加热器，所述化学气相沉积加热器包括外壳以及位于外壳内的加热丝；还包括一用于输送惰性气体的保护气体输送系统，所述保护气体输送系统包括一输气管路，所述输气管路与所述外壳的内腔导通；所述输气管路上安装有DPC流量控制器。便于防止加热丝的电离。进一步优选的，还包括一水冷系统，所述水冷系统包括用于输入冷却水的进水管路以及用于排出冷却水的出水管路；所述槽体包括底板以及侧板，所述底板、所述顶板以及所述侧板均开设有冷却水通道，所述冷却水通道的两端分别与进水管路以及出水管路对接导通。便于实现对测试腔的水冷。有效的将腔体内的热量带走。进一步优选的，所述水冷系统还包括支撑架，所述进水管路以及所述出水管路均安装在所述支撑架上。便于实现管路的支撑固定。进一步优选的，所述进水管路连接冷水机的出水口，所述出水管路连接冷水机的进水口；所述进水管路以及所述出水管路上均设有至少三个分支口，至少三个分支口分别用于对接所述底板、所述顶板以及所述侧板上的冷却水通道，所述分支口上安装有阀门以及流量传感器。便于实现底板、所述顶板以及所述侧板三者的冷却水通道的流量的独立调节。进一步优选的，所述顶板以及底板均包括上下设置的上板体以及下板体，所述上板体以及所述下板体通过螺栓可拆卸连接，且所述上板体以及所述下板体接触处设有密封件；所述下板体上开设有螺旋状凹槽，所述上板体与所述下板体上下拼合时，所述螺旋状凹槽与所述上板体相连构成所述冷却水通道。便于实现顶板以及底板上冷却水通道的设置。进一步优选的，所述侧板包括内外设置的内圆筒以及外圆筒，所述内圆筒与所述外圆筒之间焊接有用于分隔内圆筒与外圆筒之间区域构成冷却水通道的隔板；所述侧板还包括上下设置的上法兰以及下法兰，所述上法兰与内圆筒以及外圆筒的顶部相连，所述下法兰与所述内圆筒以及外圆筒的底部相连。便于实现侧板的水冷。进一步优选的，所述侧板与所述底板的接触处设有密封圈，所述侧板与所述顶板的接触处设有密封圈。保证密封性。进一步优选的，所述顶板上开设有冷却水通道导通的进水口以及出水口，所述进水口与所述出水口相邻设置。便于管路的梳理。进一步优选的，所述顶板上安装有左右设置的把手。附图说明图1为本技术的一种结构示意图；图2为本技术的局部结构示意图；图3为本技术另一视角下的一种结构示意图；图4本技术测试腔的剖视图。其中：1为测试腔，2为机架，3为水冷系统，4为气源输送系统，5为真空系统，6为DPC流量控制器，7为MFC质量流量控制器，9为真空规，11为顶板，12为侧板，13为底板，111为水冷通道，31为进水管路，32为出水管路。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。参见图1至图4，加热器工作环境模拟测试装置，包括一测试腔1，测试腔1为用于摆放待测试加热器的空间，测试腔1包括开口向上的槽体以及顶板，顶板覆盖槽体的上端开口；还包括一真空系统5，真空系统5包括真空管路以及机械真空泵，机械真空泵的吸气口通过真空管路与测试腔1对接导通；还包括一气源输送系统4，气源输送系统4包括用于输入工艺气体的气源输入管路，气源输入管路与测试腔1对接导通。气源输送系统还包括用于导出工艺气体的气源输出管路，气源输出管路与测试腔对接导通。工艺气体可以为氮气。还包括一传感系统，传感系统包括用于检测测试腔1内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，气压传感器安装在测试腔1上，温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。气压传感器可以是真空规9。便于实现真空度的检测。通过本装置，便于实现不同工作环境的模拟，可以实现工作环境的气压、工艺气体流量的调节需求，满足不同的工作需求的加热器的测试。通过温度传感器来测试待测试加热器的合格情况。当温度传感器感应到待测试加热器的不同制热面的区域的温度差值处于规定范围内时，加热器为合格品。当不同制热面的区域的温度差值超出规定范围内时，加热器不合格。还包括一加热适配器，加热适配器可拆卸的安装在测试腔1的底部；加热适配器与待测试加热器可拆卸连接；待测试加热器通过加热适配器与电源相连。通过加热适配器用于安装不同型号的加热器。待测试加热器是一化学气相沉积加热器，化学气相沉积加热器包括外壳以及位于外壳内的加热丝；还包括一用于输送惰性气体的保护气体输送系统，保护气体输送系统包括一输气管路，输气管路与外壳的内腔导通。便于防止加热丝的电离。输气管路上安装有DPC流量控制器6。便于实现保护气体流量的自动控制。惰性气体可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于，包括一测试腔，所述测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，所述测试腔包括开口向上的槽体以及顶板，所述顶板覆盖所述槽体的上端开口；/n还包括一真空系统，所述真空系统包括真空管路以及机械真空泵，所述机械真空泵的吸气口通过真空管路与所述测试腔对接导通；/n还包括一气源输送系统，所述气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，所述气源输入管路与所述测试腔对接导通；/n还包括一传感系统，所述传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，所述气压传感器安装在所述测试腔上，所述温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。/n

【技术特征摘要】
1.加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于，包括一测试腔，所述测试腔为用于摆放待测试加热器的空间，所述测试腔包括开口向上的槽体以及顶板，所述顶板覆盖所述槽体的上端开口；
还包括一真空系统，所述真空系统包括真空管路以及机械真空泵，所述机械真空泵的吸气口通过真空管路与所述测试腔对接导通；
还包括一气源输送系统，所述气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路，所述气源输入管路与所述测试腔对接导通；
还包括一传感系统，所述传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器，所述气压传感器安装在所述测试腔上，所述温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。


2.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：还包括一加热适配器，所述加热适配器可拆卸的安装在所述测试腔的底部；
所述加热适配器与待测试加热器可拆卸连接；
所述待测试加热器通过所述加热适配器与电源相连。


3.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述待测试加热器是一化学气相沉积加热器，所述化学气相沉积加热器包括外壳以及位于外壳内的加热丝；
还包括一用于输送惰性气体的保护气体输送系统，所述保护气体输送系统包括一输气管路，所述输气管路与所述外壳的内腔导通；
所述输气管路上安装有DPC流量控制器。


4.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：所述气源输入管路上安装有一进气控制阀，所述进气控制阀是MFC质量流量控制器。


5.根据权利要求1所述的加热器工作环境模拟测试装置，其特征在于：还包括一水冷系统，所述水冷系统包括用于输入冷却水的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓蒙，贺贤汉，李晶，赖章田，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31