一种新型保温炉门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提一种新型保温炉门装置，包括石英保温门，石英保温门安装在保温门外罩内，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上，升降气缸固定在升降气缸连接板上，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：通过增加了扩散氧化炉的保温炉门组件，可以实现产品高温退料，保温炉门可以运动到石英管炉口，将石英管炉门堵上，避免了工艺腔的高温热量散失，也防止了高温热辐射对环境造成的影响，达到节省成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种新型保温炉门装置
本技术是一种新型保温炉门装置，属于扩散氧化退火工艺热处理设备领域。
技术介绍
现有技术中，扩散氧化炉用于IC集成电路、分立器件、电力电子器件、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。越来越先进的技术对工艺条件要求也越来越高，目前行业内所使用的氧化扩散炉在工艺片做完工艺高温出料时会从工艺室散发出大量的热量，对设备的损害较大，影响设备的寿命，同时还损耗大量的能源，对环境造成高温影响，不利于操作人员操作设备，因此，需要一种新型保温炉门装置来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提一种新型保温炉门装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术实现了产品高温退料，且通过封堵操作，避免了工艺腔的高温热量散失，也防止了高温热辐射对环境造成的影响，达到节省成本的目的。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，所述石英本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，其特征在于：所述石英保温门安装在保温门外罩内，并穿过保温门外罩，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，所述炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，所述炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，所述炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上，所述升降气缸固定在升降气缸连接板上，所述升降气缸连接板左右均有支撑板，用于加固，所述升降气缸连接板底部与导轨组件通过标准件连接在一起。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，其特征在于：所述石英保温门安装在保温门外罩内，并穿过保温门外罩，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，所述炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，所述炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，所述炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，朱玉盼，张振鹏，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37