一种新型保温炉门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提一种新型保温炉门装置，包括石英保温门，石英保温门安装在保温门外罩内，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上，升降气缸固定在升降气缸连接板上，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：通过增加了扩散氧化炉的保温炉门组件，可以实现产品高温退料，保温炉门可以运动到石英管炉口，将石英管炉门堵上，避免了工艺腔的高温热量散失，也防止了高温热辐射对环境造成的影响，达到节省成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种新型保温炉门装置
本技术是一种新型保温炉门装置，属于扩散氧化退火工艺热处理设备领域。
技术介绍
现有技术中，扩散氧化炉用于IC集成电路、分立器件、电力电子器件、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。越来越先进的技术对工艺条件要求也越来越高，目前行业内所使用的氧化扩散炉在工艺片做完工艺高温出料时会从工艺室散发出大量的热量，对设备的损害较大，影响设备的寿命，同时还损耗大量的能源，对环境造成高温影响，不利于操作人员操作设备，因此，需要一种新型保温炉门装置来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提一种新型保温炉门装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术实现了产品高温退料，且通过封堵操作，避免了工艺腔的高温热量散失，也防止了高温热辐射对环境造成的影响，达到节省成本的目的。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，所述石英保温门安装在保温门外罩内，并穿过保温门外罩，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，所述炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，所述炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，所述炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上，所述升降气缸固定在升降气缸连接板上，所述升降气缸连接板左右均有支撑板，用于加固，所述升降气缸连接板底部与导轨组件通过标准件连接在一起。进一步地，所述导轨组件中间安装有进退气缸，所述进退气缸传动轴一端固定在进退气缸轴连接块上，所述进退气缸轴连接块下端固定于机柜底部支撑梁上，所述进退气缸与进退气缸固定块通过标准件连接在一起，所述进退气缸固定块与进退连接板连接在一起。本技术的有益效果：本技术的一种新型保温炉门装置，通过增加了扩散氧化炉的保温炉门组件，可以实现产品高温退料，退料后工艺腔内温度还是很高，保温炉门可以运动到石英管炉口，将石英管炉门堵上，避免了工艺腔的高温热量散失，也防止了高温热辐射对环境造成的影响，达到节省成本的目的。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种新型保温炉门装置的主视示意图；图2为本技术一种新型保温炉门装置的局部左视示意图；图3为本技术一种新型保温炉门装置中炉门支撑组件的示意图；图4为本技术一种新型保温炉门装置中进退气缸及导轨组件的示意图；图5为本技术一种新型保温炉门装置与炉体的总装示意图；图中：1-石英保温门、2-保温门外罩、3-炉门锁紧组件、4-炉门连接杆、5-炉门支撑组件、6-升降气缸、7-升降气缸连接板、8-支撑板、9-进退连接板、10-进退气缸、11-进退气缸轴连接块、12-进退气缸固定块、13-导轨组件、14-机柜。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种新型保温炉门装置，包括石英保温门1、保温门外罩2、炉门锁紧组件3、炉门连接杆4、炉门支撑组件5、升降气缸6、升降气缸连接板7、支撑板8以及导轨组件13，石英保温门1安装在保温门外罩2内，并穿过保温门外罩2，且由炉门锁紧组件3将石英保温门1和炉门连接杆4连接在一起，炉门锁紧组件3通过螺栓将石英保温门1锁住，且炉门锁紧组件3通过标准件与炉门连接杆4连接在一起，炉门连接杆4下端通过标准件与炉门支撑组件5连接在一起，炉门支撑组件5连接在升降气缸6滑块上，升降气缸6固定在升降气缸连接板7上，升降气缸连接板7左右均有支撑板8，用于加固，升降气缸连接板7底部与导轨组件13通过标准件连接在一起。导轨组件13中间安装有进退气缸10，进退气缸10传动轴一端固定在进退气缸轴连接块11上，进退气缸轴连接块11下端固定于机柜14底部支撑梁上，进退气缸10与进退气缸固定块12通过标准件连接在一起，进退气缸固定块12与进退连接板9连接在一起。做为本技术的一个实施例：在扩散氧化工艺技术不断发展改进的需求下，工艺片往往需要高温时就退出工艺室，此时工艺腔内还具有很高的温度，当工艺片退出后，保温炉门先通过升降气缸6，带动炉门支撑组件5将石英保温门1升起，然后通过进退气缸10前进，将石英保温炉门1推送到石英管口，这样高温的工艺室就不会散失热量，同时外部环境也不会有热辐射的影响，大大提高了设备的安全性和可操作性。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，其特征在于：所述石英保温门安装在保温门外罩内，并穿过保温门外罩，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，所述炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，所述炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，所述炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上，所述升降气缸固定在升降气缸连接板上，所述升降气缸连接板左右均有支撑板，用于加固，所述升降气缸连接板底部与导轨组件通过标准件连接在一起。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型保温炉门装置，包括石英保温门、保温门外罩、炉门锁紧组件、炉门连接杆、炉门支撑组件、升降气缸、升降气缸连接板、支撑板以及导轨组件，其特征在于：所述石英保温门安装在保温门外罩内，并穿过保温门外罩，且由炉门锁紧组件将石英保温门和炉门连接杆连接在一起，所述炉门锁紧组件通过螺栓将石英保温门锁住，且炉门锁紧组件通过标准件与炉门连接杆连接在一起，所述炉门连接杆下端通过标准件与炉门支撑组件连接在一起，所述炉门支撑组件连接在升降气缸滑块上...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，朱玉盼，张振鹏，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37