电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法技术

本发明专利技术提供电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法，涉及真空镀膜领域，包括蒸发罐和旋转架，本发明专利技术中蒸发罐内设置有旋转架，旋转架包括转盘，蒸发罐内对称设置有转盘，转盘之间以环形分布状等分连接有工件定位杆，工件定位杆转动连接至转盘处；两个转盘之间在靠近转盘处对称设置有从动齿轮，从动齿轮套接至工件定位杆处；从动齿轮之间等分设置有夹持件，即旋转架转动过程中，对待镀工件进行固定的工件定位杆同样呈旋转状，该设置可有效避免传统固定式旋转框架，在相对于蒸发组件进行旋转中，因待镀工件一侧表面始终朝向至坩埚处，所导致的该侧表面因温度高于他处，所引发的工件镀膜后镀膜质量差问题。

【技术实现步骤摘要】
电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法
本专利技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法。
技术介绍
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空蒸发镀膜设备内待镀工件基于旋转架转动于真空腔体内，且在转动中，基于蒸发源蒸发(升华)后的蒸汽附着至待镀工件表面，从而形成膜层，但纵观整体镀膜效果来看，旋转架处定位工件在相对于蒸发源进行转动中，工件朝向蒸发源一侧始终在转动中，同蒸发源呈正对状，且在正对状态下，待镀工件朝向蒸发源一侧温度高于工件其他位置处，进而在反复转动中，导致朝向蒸发源一侧表面出现发黄或者失去金属光泽迹象，进而引发镀膜效果问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法，以解决上述技术问题。本专利技术为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：电子材料表面镀膜处理设备，包括蒸发罐和旋转架，其特征在于：所述蒸发罐内设置有旋转架，旋转架包括转盘，所述蒸发罐内对称设置有转盘，转盘之间以环形分布状等分连接有工件定位杆，工件定位杆转动连接至转盘处；两个所述转盘之间在靠近转盘处对称设置有从动齿轮，从动齿轮套接至工件定位杆处；所述从动齿轮之间等分设置有夹持件，夹持件套接至工件定位杆处；所述旋转架下方在位于蒸发罐内壁处固定有蒸发组件，蒸发组件包括坩埚，坩埚两侧对称设置有坩埚夹持结构，坩埚夹持结构顶端对称固定有驱动结构，驱动结构相对于旋转架为活动接触状。优选的，所述驱动结构包括承载滚轮、定位齿轮和固定框架，所述坩埚夹持结构顶端在位于前后位置处对称固定有固定框架，固定框架内嵌入有定位齿轮，定位齿轮相对于固定框架为固定状，固定框架相对于从动齿轮为交替啮合连接状；所述定位齿轮旁侧在位于固定框架内转动连接有承载滚轮，承载滚轮相对于转盘呈滚动接触状。优选的，所述从动齿轮包括偏心配重盘和齿轮本体，所述齿轮本体套接固定至工件定位杆处，齿轮本体处壁体在靠近外沿处镶嵌有偏心配重盘。优选的，所述坩埚夹持结构包括隔热盒、插座、短杆、长杆、加热单元、外伸板、轴杆和配重块，所述坩埚两侧对称设置有隔热盒，隔热盒固定至蒸发罐内壁处，隔热盒内在靠近坩埚处设置有加热单元，加热单元底端固定有外伸板，外伸板相对于隔热盒为外伸状，且外伸板相对于坩埚为承接状；所述加热单元壁体在靠近底沿处贯穿插入有轴杆，轴杆固定至隔热盒内壁处，加热单元相对于轴杆为转动连接状；所述加热单元壁体在靠近顶沿处贯穿伸入有长杆的一端，所述长杆的一侧在远离加热单元处设置有短杆，长杆的另一端转动连接至短杆处；所述隔热盒顶壁处固定连接有插座，所述短杆的另一端转动连接至插座处，所述长杆和短杆的活动连接处下方设置有配重块，配重块套接固定至长杆处外伸固定的连接头处。优选的，所述加热单元在朝向坩埚一侧等分排列有加热丝，加热丝相对于坩埚的侧壁为接触状。优选的，所述蒸发罐后端设置有电机，电机处传动轴密封插入至蒸发罐圆心处；所述旋转架包括承插管，两个所述转盘之间在位于圆心处贯穿插接有承插管，承插管套接至电机传动轴处。优选的，所述蒸发罐端口处转动连接有罐盖，所述蒸发罐一侧设置有真空组件，真空组件和蒸发罐之间设置有排管，排管一端贯穿插接至蒸发罐处，排管另一端插接固定至真空组件处设置的外伸管道内。电子材料表面镀膜处理设备的镀膜处理方法，其特征在于：所述电子材料表面镀膜处理设备的镀膜处理方法如下：1)将待镀工件放置至工件定位杆处，并通过夹持件进行夹持固定；2)随后基于动能传递至旋转架处，使得旋转架相对于蒸发罐进行匀速旋转，且在匀速旋转中，相对于驱动结构进行活动接触；3)基于坩埚夹持机构对坩埚进行夹持固定，进而在坩埚夹持机构对坩埚进行持续性加热中，对坩埚内蒸发料进行加热，且在蒸发料蒸发中，对旋转架处待镀工件进行镀膜处理；4)镀膜中，当工件定位杆处从动齿轮旋转至驱动结构处时，基于从动齿轮与驱动结构的啮合连接，使得工件定位杆相对于蒸发组件进行旋转，且在啮合连接解除后，基于从动齿轮自身重心，使得工件定位杆在重力引导下，再次进行旋转，即工件定位杆旋转至蒸发组件时，通过不断的旋转，使得待镀工件相对于蒸发组件为转动状，以确保待镀表面均匀受热。本专利技术的有益效果是：1、本专利技术基于旋转架相对于蒸发罐进行旋转，进而在旋转中，使得旋转架处从动齿轮在驱动结构的驱动下，相对于蒸发组件进行旋转，即旋转架转动过程中，对待镀工件进行固定的工件定位杆同样呈旋转状，该设置可有效避免传统固定式旋转框架，在相对于蒸发组件进行旋转中，因待镀工件一侧表面始终朝向至坩埚处，所导致的该侧表面因温度高于他处，所引发的工件镀膜后镀膜质量差问题。2、本专利技术通过设置坩埚夹持结构，一来通过对坩埚进行夹持，使得加热单元处热量更好的集中至坩埚处，其次加热单元在夹持中背向至旋转架处，从而避免热量集中至隔热盒处，因隔热盒隔热力度有限，所导致的隔热盒对旋转架处待镀工件进行间接加热问题。附图说明图1为本专利技术电子材料表面镀膜处理设备的结构示意图；图2为本专利技术中蒸发组件的结构示意图；图3为本专利技术中蒸发组件内坩埚夹持结构的侧剖结构示意图；图4为本专利技术中坩埚夹持结构的结构示意图；图5为本专利技术中旋转架同蒸发组件的连接结构示意图；图6为本专利技术中驱动结构的结构示意图；图7为本专利技术中旋转架的结构示意图；图8为本专利技术中旋转架内齿轮的结构示意图；附图标记：1、罐盖；2、蒸发组件；3、蒸发罐；4、旋转架；5、排管；6、真空组件；21、坩埚；22、坩埚夹持结构；23、驱动结构；221、隔热盒；222、插座；223、短杆；224、长杆；225、加热单元；226、外伸板；227、轴杆；228、配重块；231、承载滚轮；232、定位齿轮；233、固定框架；41、承插管；42、转盘；43、工件定位杆；44、夹持件；45、从动齿轮；451、偏心配重盘；452、齿轮本体。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本专利技术，但下述实施例仅仅为本专利技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本专利技术的保护范围。下面结合附图描述本专利技术的具体实施例。实施例1如图1-7所示，电子材料表面镀膜处理设备，电子材料表面镀膜处理设备，包括蒸发罐3和旋转架4，蒸发罐3内设置有旋转架4，旋转架4包括转盘42，蒸发罐3内对称设置有转盘42，转盘42之间以环形分布状等分连接有工件定位杆43，工件定位杆43转动连接至转盘42处；两个转盘42之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电子材料表面镀膜处理设备，包括蒸发罐(3)和旋转架(4)，其特征在于：所述蒸发罐(3)内设置有旋转架(4)，旋转架(4)包括转盘(42)，所述蒸发罐(3)内对称设置有转盘(42)，转盘(42)之间以环形分布状等分连接有工件定位杆(43)，工件定位杆(43)转动连接至转盘(42)处；两个所述转盘(42)之间在靠近转盘(42)处对称设置有从动齿轮(45)，从动齿轮(45)套接至工件定位杆(43)处；所述从动齿轮(45)之间等分设置有夹持件(44)，夹持件(44)套接至工件定位杆(43)处；所述旋转架(4)下方在位于蒸发罐(3)内壁处固定有蒸发组件(2)，蒸发组件(2)包括坩埚(21)，坩埚(21)两侧对称设置有坩埚夹持结构(22)，坩埚夹持结构(22)顶端对称固定有驱动结构(23)，驱动结构(23)相对于旋转架(4)为活动接触状。/n

【技术特征摘要】
1.电子材料表面镀膜处理设备，包括蒸发罐(3)和旋转架(4)，其特征在于：所述蒸发罐(3)内设置有旋转架(4)，旋转架(4)包括转盘(42)，所述蒸发罐(3)内对称设置有转盘(42)，转盘(42)之间以环形分布状等分连接有工件定位杆(43)，工件定位杆(43)转动连接至转盘(42)处；两个所述转盘(42)之间在靠近转盘(42)处对称设置有从动齿轮(45)，从动齿轮(45)套接至工件定位杆(43)处；所述从动齿轮(45)之间等分设置有夹持件(44)，夹持件(44)套接至工件定位杆(43)处；所述旋转架(4)下方在位于蒸发罐(3)内壁处固定有蒸发组件(2)，蒸发组件(2)包括坩埚(21)，坩埚(21)两侧对称设置有坩埚夹持结构(22)，坩埚夹持结构(22)顶端对称固定有驱动结构(23)，驱动结构(23)相对于旋转架(4)为活动接触状。


2.根据权利要求1所述的电子材料表面镀膜处理设备，其特征在于：所述驱动结构(23)包括承载滚轮(231)、定位齿轮(232)和固定框架(233)，所述坩埚夹持结构(22)顶端在位于前后位置处对称固定有固定框架(233)，固定框架(233)内嵌入有定位齿轮(232)，定位齿轮(232)相对于固定框架(233)为固定状，固定框架(233)相对于从动齿轮(45)为交替啮合连接状；所述定位齿轮(232)旁侧在位于固定框架(233)内转动连接有承载滚轮(231)，承载滚轮(231)相对于转盘(42)呈滚动接触状。


3.根据权利要求2所述的电子材料表面镀膜处理设备，其特征在于：所述从动齿轮(45)包括偏心配重盘(451)和齿轮本体(452)，所述齿轮本体(452)套接固定至工件定位杆(43)处，齿轮本体(452)处壁体在靠近外沿处镶嵌有偏心配重盘(451)。


4.根据权利要求1所述的电子材料表面镀膜处理设备，其特征在于：所述坩埚夹持结构(22)包括隔热盒(221)、插座(222)、短杆(223)、长杆(224)、加热单元(225)、外伸板(226)、轴杆(227)和配重块(228)，所述坩埚(21)两侧对称设置有隔热盒(221)，隔热盒(221)固定至蒸发罐(3)内壁处，隔热盒(221)内在靠近坩埚(21)处设置有加热单元(225)，加热单元(225)底端固定有外伸板(226)，外伸板(226)相对于隔热盒(221)为外伸状，且外伸板(226)相对于坩埚(21)为承接状；所述加热单元(225)壁体在靠近底沿处贯穿插入有轴杆(227)，轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱云，
申请(专利权)人：安徽新和博亚电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34