【技术实现步骤摘要】
成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法
本专利技术涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
近年来，作为显示器的一种，具备有机EL元件的有机EL装置引人关注，所述有机EL元件使用了有机材料的电致发光。在该有机EL装置的制造时，有如下工序：在具有成膜室的成膜装置中，使金属电极材料或有机材料等成膜材料附着在基板上而进行成膜。在成膜装置的成膜室内，通过将收容在容器内的蒸镀材料加热或溅射到靶上，从而使成膜材料飞翔并附着于基板而在基板上形成膜。此时，出于形成均匀的膜等目的，有时在成膜室内一边使基板旋转一边进行成膜。另外，在成膜室内成为高温的情况下，有时预先于在成膜室内支承基板的构件的内部设置供冷却液进入的空间，通过使冷却液在该空间与成膜室的外部之间循环，从而使基板冷却并防止成膜材料的质量劣化。在专利文献1(日本特开2006-336034号公报)中，公开了在真空的成膜室内一边使基板旋转一边成膜的装置。在该装置中，以使成膜室的内部与外部贯通的方式配置有旋转体。在旋转体的成膜室内部侧的端部，设置有在内部...
【技术保护点】
1.一种成膜装置，其在成膜室中对被成膜物进行成膜，所述成膜装置具备：/n被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承被成膜物；以及/n旋转接头，所述旋转接头具有与所述被成膜物支承部连接并旋转的旋转部、和设置于所述旋转部的周围并固定于所述成膜室的固定部，/n所述固定部具有被供给液体的供给口和排出液体的排出口，/n所述旋转部具有将从所述供给口供给的液体向所述被成膜物支承部供给的供给流路、和将从所述被成膜物支承部排出的液体向所述排出口排出的排出流路，/n按所述供给口、所述供给流路、所述被成膜物支承部、所述排出流路及所述排出口的顺序构成供液体流动的液体流路，其特征在于，所述成膜装置具有：...
【技术特征摘要】
20191007 JP 2019-1843951.一种成膜装置，其在成膜室中对被成膜物进行成膜，所述成膜装置具备：
被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承被成膜物；以及
旋转接头，所述旋转接头具有与所述被成膜物支承部连接并旋转的旋转部、和设置于所述旋转部的周围并固定于所述成膜室的固定部，
所述固定部具有被供给液体的供给口和排出液体的排出口，
所述旋转部具有将从所述供给口供给的液体向所述被成膜物支承部供给的供给流路、和将从所述被成膜物支承部排出的液体向所述排出口排出的排出流路，
按所述供给口、所述供给流路、所述被成膜物支承部、所述排出流路及所述排出口的顺序构成供液体流动的液体流路，其特征在于，所述成膜装置具有：
循环路径，所述循环路径将从所述排出口排出的液体供给到所述供给口；
排放口，所述排放口设置于所述固定部；以及
路径，所述路径将从所述排放口排出的排放液供给到所述供给口。
2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述成膜装置具有将从所述排出口排出的所述液体送出到所述供给口的循环路径。
3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，
从所述排出口排出的所述液体经由三通阀，与被供给从所述排放口排出的所述排放液的所述路径合流。
4.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，
从所述排放口排出的所述排放液与所述循环路径合流。
5.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述成膜装置还具有除去机构，所述除去机构从所述排放液除去杂质，该排放液是从所述排放口排出的排放液。
6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，
从所述除去机构送出的所述排放液与所述循环路径合流。
7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，
在除去所述杂质后的所述排放液与从所述排出口排出的所述液体合流的部位具备限制反方向的流动的止回阀。
8.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，
所述除去机构配置于所述循环路径，
从所述排出口排出的所述液体和从所述排放口排出的所述排放液在所述除去机构中合流，除去所述杂质并供给到所述供给口。
9.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，
所述除去机构包含于调节所述液体的温度的温度调节机构。
10.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，
所述除去机构设置于与所述成膜室所在的位置不同的位置。
11.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，
所述除去机构具有收容所述排放液的排放液容器，
在所述排放液容器中，基于所述液体与所述杂质的比重差，从所述液体分离所述杂质。
12.根据权利要求11所...
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