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本发明涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。提供用于有效地利用成膜装置的旋转接头所使用的液体的技术。成膜装置具备被成膜物支承部和旋转接头，旋转接头具有与被成膜物支承部连接并旋转的旋转部和设置于旋转部的周围并固定于成膜室的固定部，固定部...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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