一种分析型臭氧发生系统技术方案

本发明专利技术公开了一种分析型臭氧发生系统，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；MFC单元以及臭氧浓度检测单元均与臭氧产生单元连接；MFC单元用于向臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；臭氧产生单元用于产生流量为期望流量阈值且浓度为期望浓度阈值的期望臭氧；臭氧浓度检测单元用于实时检测臭氧产生单元中的臭氧浓度并将得到的臭氧浓度检测信号发送至微控制器；MFC单元、臭氧产生单元以及臭氧浓度检测单元均与微控制器连接；微控制器用于控制MFC单元输出的流量、实时根据臭氧浓度检测信号计算出系统当前的臭氧浓度以及控制臭氧产生单元产生期望臭氧。本发明专利技术实现了臭氧浓度的精准产生。

【技术实现步骤摘要】
一种分析型臭氧发生系统
本专利技术涉及臭氧发生
，特别是涉及一种分析型臭氧发生系统。
技术介绍
臭氧气体不稳定且不能储存运输，因此制备臭氧气体必须使用现场发生设备，现有技术中臭氧的产生方法主要有：电化学法、光化学法及电晕放电法，其中光化学方法由于具有无氮氧化物杂气产生、对温度、湿度不敏感以及重复性好等优点，得到了广泛的应用。光化学方法，主要是采用185nm波长汞灯，在该波长下，氧气可以转化为臭氧，且臭氧浓度随汞灯亮度的增强而增大，因此目前主要通过调节汞灯亮度的方式来调节臭氧浓度，但由于汞灯存在自身老化的问题，该方法产生的臭氧气体的浓度准确性差。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种分析型臭氧发生系统，以解决现有技术中因汞灯自身老化而导致的产生的臭氧浓度准确性差的问题。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：一种分析型臭氧发生系统，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；所述MFC单元以及所述臭氧浓度检测单元均与所述臭氧产生单元连接；所述MFC单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分析型臭氧发生系统，其特征在于，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；/n所述MFC单元以及所述臭氧浓度检测单元均与所述臭氧产生单元连接；所述MFC单元用于向所述臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；所述臭氧产生单元用于产生流量为期望流量阈值且浓度为期望浓度阈值的期望臭氧；所述臭氧浓度检测单元用于实时检测所述臭氧产生单元中的臭氧浓度并将得到的臭氧浓度检测信号发送至所述微控制器；所述干燥气体为干燥空气；/n所述MFC单元、所述臭氧产生单元以及所述臭氧浓度检测单元均与所述微控制器连接；所述微控制器用于控制所述MFC单元输出的流量、实时根据所述臭氧浓度检测...

【技术特征摘要】
1.一种分析型臭氧发生系统，其特征在于，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；
所述MFC单元以及所述臭氧浓度检测单元均与所述臭氧产生单元连接；所述MFC单元用于向所述臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；所述臭氧产生单元用于产生流量为期望流量阈值且浓度为期望浓度阈值的期望臭氧；所述臭氧浓度检测单元用于实时检测所述臭氧产生单元中的臭氧浓度并将得到的臭氧浓度检测信号发送至所述微控制器；所述干燥气体为干燥空气；
所述MFC单元、所述臭氧产生单元以及所述臭氧浓度检测单元均与所述微控制器连接；所述微控制器用于控制所述MFC单元输出的流量、实时根据所述臭氧浓度检测信号计算出所述分析型臭氧发生系统当前的臭氧浓度以及控制所述臭氧产生单元产生所述期望臭氧。


2.根据权利要求1所述的分析型臭氧发生系统，其特征在于，还包括：上位机；所述上位机与所述微控制器连接，所述上位机用于设置所需臭氧的所述期望流量阈值和所述期望浓度阈值；所述微控制器用于接收所述期望流量阈值和所述期望浓度阈值。


3.根据权利要求2所述的分析型臭氧发生系统，其特征在于，所述MFC单元包括第一MFC单元和第二MFC单元；所述第一MFC单元与所述第二MFC单元均与所述臭氧产生单元连接；所述第一MFC单元用于向所述臭氧产生单元中的臭氧发生器输入流量为第一流量阈值的第一干燥气体；所述第二MFC单元用于向所述臭氧产生单元中的混合室输入流量为第二流量阈值的第二干燥气体；所述第一流量阈值与所述第二流量阈值之和为所述期望流量阈值；
所述第一MFC单元与所述第二MFC单元均与所述微控制器连接，所述微控制器用于根据所述期望流量阈值控制所述第一MFC单元输出流量为所述第一流量阈值的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭炜，叶花，于哲，韩香玉，
申请(专利权)人：中节能天融科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11