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本发明公开了一种分析型臭氧发生系统，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；MFC单元以及臭氧浓度检测单元均与臭氧产生单元连接；MFC单元用于向臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；臭氧产生单元用于产生流量...
该专利属于中节能天融科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中节能天融科技有限公司授权不得商用。

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