一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置，该方法包括：晶圆上机正常测试前，将测试机连接转换切换器，将转换切换器连接探针台和测试Socket座，将样片放置在所述测试Socket座上，测试机测试样片的关键参数值并存入存储装置；芯片测试前，用户根据产品需求设定检测频率，测试机自动切换转换切换器连接探针台，当累计测试芯片达到所设定的检测频率后，测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座；计算单元调取关键参数值，计算偏移量，若在设定合格范围内，则测试机自动切换转换切换器连接探针台，继续正常测试，否则自动停止测试。本发明专利技术能够有效的自动防止测试机误差异常，确保芯片关键参数的准确性及一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置。
技术介绍
中国半导体产业起步晚但发展讯速，连续多年保持较高增速。集成电路三大产业均保持稳定增长。集成电路芯片的出现与发展，给人类进入信息时代提供了源动力。在日新月异的信息时代，集成电路芯片正被广泛的运用到工作、生活和生产中。随着集成芯片的大量生产，芯片在各个环节良率管控尤为重要，提升芯片品质，降低成本，而作为芯片出来的第一道工序，晶圆测试工序至关重要。在流程片厂制程出来时，芯片是由成千上万个芯片拼接而成的6寸、8寸或者12寸的圆形，我们称之为晶圆。而晶圆上每颗芯片是由很多个晶体管和元件组成回路,大批量晶体管和元件电性参数不可避免存在细微出入，所以组合成一个芯片后，功能管脚输出反馈电压、电流、频率及脉宽会被无限放大在一起，离散性非常强，直接使用时搭载外围电路不能统一化，不适用于量产。如果每一颗芯片都去调制外围电路，效率极低，成本高。此时设计人员会在外围电路中通过电阻等比修调方案，使这些电性参数输出值一致，这样每个芯片外围应用可一致，大批量应用各种领域，如图1和图2所示，图1为修调前初始值分布图(380.0mV-425.0mV)，图2为修调后终端值分布图(394.0mV-406.0mV)。所以，在芯片测试时，关键参数一定要准确，这样通过电阻熔丝修调后才能管控电性参数一致。通常的方案是通过人工用各种仪器去验证测试机量测的准确性，如万用表/示波器等，耗时长，效率低，同时在接触不好时容易检测错误。以上问题亟待解决。
技术实现思路
本专利技术的目的在于通过一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置，来解决以上
技术介绍
部分提到的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种防止芯片关键参数偏移的方法，该方法包括：记录关键参数值：晶圆上机正常测试前，将测试机连接转换切换器，将转换切换器分别连接探针台和测试Socket座，然后将样片放置在所述测试Socket座上，点击测试机开始测试界面测试样片的关键参数值并将其存入存储装置；自动关键参数防偏移：芯片测试前，用户根据产品需求设定检测频率，测试机自动切换转换切换器连接探针台，当累计测试芯片达到所设定的检测频率后，测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座；计算单元调取存储装置存储的关键参数值，计算偏移量，若偏移量在设定合格范围内，则测试机自动切换转换切换器连接探针台，继续正常测试，若偏移量超出设定合格范围，则自动停止测试。特别地，所述记录关键参数值还包括：将关键参数值导入数据库中，抓取关键测试项目，对每个测试项目数值设定允许波动范围。特别地，所述用户根据产品需求设定检测频率中设定检测频率为但不限于1000EA。本专利技术还公开了一种采用上述防止芯片关键参数偏移的方法的防止芯片关键参数偏移的装置，该装置包括：测试机、转换切换器、测试Socket座、探针台、存储装置、计数器装置以及计算单元；所述转换切换器的一端连接测试机，另一端连接探针台；所述测试机连接存储装置；所述存储装置连接计数器装置的一端；所述计数器装置的另一端连接计算单元；所述测试Socket座与转换切换器连接，所述测试Socket座上放置样片。本专利技术提出的防止芯片关键参数偏移的方法及装置能够有效的自动防止测试机误差异常，确保芯片关键参数的准确性及一致性。附图说明图1为修调前初始值分布图；图2为修调后终端值分布图；图3本专利技术实施例提供的防止芯片关键参数偏移的方法流程示意图；图4为本专利技术实施例提供的防止芯片关键参数偏移的装置结构图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部内容，除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例，不是旨在于限制本专利技术。实施例一如图3所示，图3本专利技术实施例提供的防止芯片关键参数偏移的方法流程示意图。本实施例中防止芯片关键参数偏移的方法包括如下步骤：记录关键参数值：晶圆上机正常测试前，将测试机连接转换切换器，将转换切换器分别连接探针台和测试Socket座，然后将样片放置在所述测试Socket座上，点击测试机开始测试界面测试样片的关键参数值并将其存入存储装置，此操作完成后方可正常测试；自动关键参数防偏移：芯片测试前，用户根据产品需求设定检测频率，测试机自动切换转换切换器连接探针台，当累计测试芯片达到所设定的检测频率后，测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座；读取测试Socket座样品值，测试机记录下来，计算单元调取存储装置存储的关键参数值，计算偏移量，若偏移量在设定合格范围内，则测试机自动切换转换切换器连接探针台，继续正常测试，若偏移量超出设定合格范围，则自动停止测试。具体的，在本实施例中所述记录关键参数值还包括：将关键参数值导入数据库中，抓取关键测试项目，对每个测试项目数值设定允许波动范围。具体的，在本实施例中所述用户根据产品需求设定检测频率中设定检测频率为但不限于1000EA。实施例二如图4所示，图4为本专利技术实施例提供的防止芯片关键参数偏移的装置结构图。本实施例公开了一种采用上述实施例一提供的防止芯片关键参数偏移的方法的防止芯片关键参数偏移的装置，该装置包括：测试机101、转换切换器102、测试Socket座103、探针台104、存储装置105、计数器装置106、计算单元107、待测芯片108以及承面台109；所述转换切换器102的一端连接测试机101，另一端连接探针台104；所述测试机101连接存储装置105；所述存储装置105连接计数器装置106的一端；所述计数器装置106的另一端连接计算单元107；所述测试Socket座103与转换切换器102连接，所述测试Socket座103上放置样片。本实施例中防止芯片关键参数偏移的装置的工作过程同上述实施例一，在此不在赘述。本专利技术提出的技术方案能够有效的自动防止测试机误差异常，确保芯片关键参数的准确性及一致性。本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例中的全部或部分是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的程序可存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，所述的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体或随机存储记忆体等。注意，上述仅为本专利技术的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本专利技术不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本专利技术的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本专利技术进行了较为详细的说明，但是本专利技术不仅仅限于以上实施例，在不脱离本专利技术构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止芯片关键参数偏移的方法，其特征在于，该方法包括：/n记录关键参数值：晶圆上机正常测试前，将测试机连接转换切换器，将转换切换器分别连接探针台和测试Socket座，然后将样片放置在所述测试Socket座上，点击测试机开始测试界面测试样片的关键参数值并将其存入存储装置；/n自动关键参数防偏移：芯片测试前，用户根据产品需求设定检测频率，测试机自动切换转换切换器连接探针台，当累计测试芯片达到所设定的检测频率后，测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座；计算单元调取存储装置存储的关键参数值，计算偏移量，若偏移量在设定合格范围内，则测试机自动切换转换切换器连接探针台，继续正常测试，若偏移量超出设定合格范围，则自动停止测试。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止芯片关键参数偏移的方法，其特征在于，该方法包括：
记录关键参数值：晶圆上机正常测试前，将测试机连接转换切换器，将转换切换器分别连接探针台和测试Socket座，然后将样片放置在所述测试Socket座上，点击测试机开始测试界面测试样片的关键参数值并将其存入存储装置；
自动关键参数防偏移：芯片测试前，用户根据产品需求设定检测频率，测试机自动切换转换切换器连接探针台，当累计测试芯片达到所设定的检测频率后，测试机自动切换转换切换器连接测试Socket座；计算单元调取存储装置存储的关键参数值，计算偏移量，若偏移量在设定合格范围内，则测试机自动切换转换切换器连接探针台，继续正常测试，若偏移量超出设定合格范围，则自动停止测试。


2.根据权利要求1所述的防止芯片关键参数偏移的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：虞君新，
申请(专利权)人：无锡圆方半导体测试有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32