一种电子混合气配置充装装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电子混合气配置充装装置及方法，属于电子混合气技术领域。所述装置包括气罐与机壳；气罐内部设有储气腔；转筒贯穿机壳内部，上、下端伸出机壳，下端伸入储气腔内；固定杆贯穿转筒内部，上端伸出转筒上方后拐弯横向水平伸出，下端伸入储气腔内并从转筒下方伸出；转筒位于储气腔内的下部连接有可收起或展开的除杂机构，除杂机构上方的转筒上设有限位机构，机壳内设有驱动机构，带动转筒转动并与除杂机构配合，固定杆上端横向水平伸出连接有气动机构，与除杂机构配合，收集清洁产生的杂物。所述装置可对气罐内部杂物进行清洁并将清洁后的杂物去除。

【技术实现步骤摘要】
一种电子混合气配置充装装置及方法
本专利技术涉及一种电子混合气配置充装装置及方法，属于电子混合气

技术介绍
随着我国工业技术的不断发展，对特种气体的需求量不断增加，特种气体有别于一般工业气体，是具有特殊用途，并在特定领域中应用的，对纯度、杂质含量、组成、物化性能等方面有特殊要求的一类气体产品。与工业气体相比，特种气体的品种多而产销量小，常用的混合气体和标准校正气即特种气体的重要组成部分，电子混合气是常用的混合气体之一，指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究，电子混合气体包括：外延混合气、化学气相淀积混合气、掺杂混合气、蚀刻混合气及其他电子混合气。在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片的生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子混合气，因此，电子混合气常常被称为半导体材料的“粮食”和“源”。通常使用的电子混合气绝大多数都是剧毒、可燃的。一个半导体器件性能的好坏，在很大程度上取决于所用的电子混合气质量。电子混本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：所述装置包括气罐(1)与机壳(2)；气罐(1)的内部设有储气腔(28)；转筒(7)贯穿机壳(2)内部，上端伸出机壳(2)，下端伸出机壳(2)并伸入储气腔(28)内部；固定杆(15)贯穿转筒(7)内部，上端伸出转筒(7)上方后拐弯横向水平伸出，下端伸入储气腔(28)内并从转筒(7)下方伸出；/n转筒(7)位于储气腔(28)内的下部连接有可收起或展开的除杂机构，除杂机构上方的转筒(7)上设有限位机构，机壳(2)内部设有驱动机构，带动转筒(7)转动并与除杂机构配合，固定杆(15)上端横向水平伸出连接有气动机构，与除杂机构配合，收集清洁产生的杂物。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：所述装置包括气罐(1)与机壳(2)；气罐(1)的内部设有储气腔(28)；转筒(7)贯穿机壳(2)内部，上端伸出机壳(2)，下端伸出机壳(2)并伸入储气腔(28)内部；固定杆(15)贯穿转筒(7)内部，上端伸出转筒(7)上方后拐弯横向水平伸出，下端伸入储气腔(28)内并从转筒(7)下方伸出；
转筒(7)位于储气腔(28)内的下部连接有可收起或展开的除杂机构，除杂机构上方的转筒(7)上设有限位机构，机壳(2)内部设有驱动机构，带动转筒(7)转动并与除杂机构配合，固定杆(15)上端横向水平伸出连接有气动机构，与除杂机构配合，收集清洁产生的杂物。


2.根据权利要求1所述的一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：除杂机构如下：
转筒(7)伸入储气腔(28)内的下端外壁固定连接有固定套筒(8)，固定套筒(8)的外周边缘处均匀设有若干个第一凹槽(9)，每个第一凹槽(9)的内部与第二转轴(26)的内端转动连接，第二转轴(26)的外端与连接杆(10)的内端转动连接，连接杆(10)的外端与清洁套(11)的内端固定连接，清洁套(11)的外端紧贴储气腔(28)的内壁；转筒(7)伸入储气腔(28)内的外壁上滑动连接有滑动套筒(12)，滑动套筒(12)位于固定套筒(8)的上方，滑动套筒(12)的外周边缘处均匀设有若干个第二凹槽(13)，第二凹槽(13)的数量和位置与第一凹槽(9)的数量及位置相对应，每个第二凹槽(13)的内部与第一转轴(25)转动连接，第一转轴(25)的外端与转杆(14)的上端转动连接，转杆(14)的下端与连接杆(10)的中部转动连接。


3.根据权利要求1所述的一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：限位机构如下：
与转筒(7)的外壁转动连接的连接套筒(18)，连接套筒(18)的下端伸入储气腔(28)的内并与滑动套筒(12)的上端固定连接，连接套筒(18)的上端伸出储气腔(28)外并转动连接有转动套筒(19)，转动套筒(19)的内部设有限位槽(20)，转筒(7)的外壁与限位槽(20)的内部固定连接有卡杆(21)。


4.根据权利要求1所述的一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：驱动机构如下：
机壳(2)内部设有装置腔(3)，装置腔(3)内部设有驱动电机(4)，驱动电机(4)的纵向输出轴末端固定连接有第一齿轮(5)，转筒(7)伸入装置腔(3)内部部分的外壁固定连接有第二齿轮(6)，第二齿轮(6)与第一齿轮(5)啮合。


5.根据权利要求1所述的一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：气动机构如下：
机壳(2)的上端外壁上设有固定块(22)，固定块(22)与固定杆(15)上端横向水平部分连接，用于保持固定杆(15)稳定；机壳(2)的一侧外壁与支撑杆(27)前端固定连接，支撑杆(27)后端连接抽气泵；固定杆(15)的横向水平端设有连接管(23)，连接管(23)一端与固定杆(15)下端设置的吸尘口(17)配合连接，与储气腔(28)的内部连通；连接管(23)的另一端与抽气泵相连；固定杆(15)的横向水平端还设有用于保持储气腔(28)内部气压平衡的进气口(24)，与固定杆(15)下端设置的排气口(16)配合连接。


6.根据权利要求1所述的一种电子混合气配置充装装置，其特征在于：除杂机构如下：
转筒(7)伸入储气腔(28)内的下端外壁固定连接有固定套筒(8)，固定套筒(8)的外周边缘处均匀设有若干个第一凹槽(9)，每个第一凹槽(9)的内部与第二转轴(26)的内端转动连接，第二转轴(26)的外端与连接杆(10)的内端转动连接，连接杆(10)的外端与清洁套(11)的内端固定连接，清洁套...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，王少波，马朝选，闫云，李丹丹，朱姜涛，鲁毅，董云海，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13