用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法，包括放电反应器，所述放电反应器一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四，所述管道二上安装有减压阀二、电磁流量计二和电磁阀五。本发明专利技术能够实现精确的气体稀释，实时控制SF6的稀释比例，能够实现SF6降解尾气的循环利用；通过尾气吸收池，可以将分解产生的毒害气体产物吸收，最大程度上保证尾气中只含未降解的SF6以及稀释气体；可以在洗气池和缓冲气室两部分直接取气，方便检测降解效果以及气体循环状态。适用于电力。

【技术实现步骤摘要】
用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法
本专利技术涉及六氟化硫降解
，具体为用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法。
技术介绍
SF6作为一种工业气体，被广泛应用于电力、半导体加工、金属加工业等领域中。其中电气领域对SF6的使用量占SF6每年使用总量的80％。近年来，随着中国、印度等国家电力工业的发展，SF6气体的使用量也逐渐增加，导致SF6废气的排放量也随之增加。近五年来，SF6在全球大气中的含量增长了20％，达到了～105吨的数量级。因SF6具有极高的温室效应值，大约是同质量CO2的23900倍，在1997年的京都议定书中被列为了六大温室气体之一。近年来，针对SF6废气的回收与排放是环境领域的一个热门问题。近年来，许多环境废气常用的处理手段被用来降解SF6气体，包括热催化降解、光解、电解等。低温等离子体处理技术作为近年来十分热门的废气处理手段，具有方便简单、能耗低、处理彻底等优势，应用前景十分广阔，同时也有相关技术已经被报道应用在SF6废气的处理中。目前针对六氟化硫气体处理的方法，例如2015年3月本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，包括放电反应器(7)，其特征在于：所述放电反应器(7)一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一(1)、电磁流量计一(2)和电磁阀四(3)，所述管道二上安装有减压阀二(4)、电磁流量计二(5)和电磁阀五(6)；/n所述放电反应器(7)通过管道三与酸液洗气池(8)连通设置，所述酸液洗气池(8)通过管道四微型压缩机(12)连通设置，所述管道四上安装有止回阀和电磁阀三(10)，所述管道四上设置缓冲气袋(11)，所述微型压缩机(12)通过管道五与缓冲气室(16)连通设置，所述缓冲气室(16)连通设置有管道六，所述管道六上安装有电池阀...

【技术特征摘要】
1.一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，包括放电反应器(7)，其特征在于：所述放电反应器(7)一端分别与管道一和管道二连通设置，所述管道一上安装有减压阀一(1)、电磁流量计一(2)和电磁阀四(3)，所述管道二上安装有减压阀二(4)、电磁流量计二(5)和电磁阀五(6)；
所述放电反应器(7)通过管道三与酸液洗气池(8)连通设置，所述酸液洗气池(8)通过管道四微型压缩机(12)连通设置，所述管道四上安装有止回阀和电磁阀三(10)，所述管道四上设置缓冲气袋(11)，所述微型压缩机(12)通过管道五与缓冲气室(16)连通设置，所述缓冲气室(16)连通设置有管道六，所述管道六上安装有电池阀三(17)，所述缓冲气室(16)连通设置有管道七，所述管道七上依次安装电磁阀二(14)和真空泵(15)。


2.根据权利要求1所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述管道一远离放电反应器(7)的一端与Ar气瓶连通设置。


3.根据权利要求2所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述减压阀一(1)、电磁流量计一(2)和电磁阀四(3)依次靠近Ar气瓶设置。


4.根据权利要求3所述的用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置，其特征在于：所述止回阀(9)、电磁阀二(10)和缓冲气袋(11)依次靠近微型压缩机(12)设置。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓虎，王浩，张晓星，程绳，姚京松，吴军，李一鸣，林磊，王宇非，崔兆仑，伍云健，时伟君，赵威，
申请(专利权)人：国网湖北省电力有限公司检修公司，武汉大学，湖北工业大学，湖北省超能电力有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42