下载用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法的技术资料

文档序号:27955975

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本发明公开了一种用于六氟化硫气体放电降解处理的气体循环装置及方法,包括放电反应器,所述放电反应器一端分别与管道一和管道二连通设置,所述管道一上安装有减压阀一、电磁流量计一和电磁阀四,所述管道二上安装有减压阀二、电磁流量计二和电磁阀五。本发明...
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