半导体温控装置输出量的控制方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置，包括：将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量。本发明专利技术提供的一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置，根据升降温时间来控制系统输出量大小，适配不同的系统特性，满足加热系统和制冷系统升降温时间符合要求，对应不同的温度区间设定不同的需要升降温时间，满足整体设备的升降温曲线与主工艺设备标定曲线一致。

【技术实现步骤摘要】
半导体温控装置输出量的控制方法及装置
本专利技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置。
技术介绍
半导体温控装置在集成电路制造工艺中给主工艺设备提供稳定流量、稳定温度的循环液体。主工艺设备在首次与半导体温控装置进行适配工艺制程时，会标定好各个温度点之间的升降温温度曲线。由于各个厂家的温控装置的系统及能力差异，在进行温控装置设备替换时，会出现升降温曲线与标定工艺曲线差异较大的情况。
技术实现思路
本专利技术提供一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置，用以解决现有技术中升降温曲线与标定工艺曲线差异较大的技术问题。本专利技术提供一种半导体温控装置输出量的控制方法，包括：将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量。根据本专利技术提供的一种半导体温控装置输出量的控制方法，所述基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量的计算公式如下：<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，包括：/n将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；/n基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，包括：
将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；
基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量。


2.根据权利要求1所述的半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，所述基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量的计算公式如下：



其中，Outi为第i个周期的给定输出量，SV为目标温度，PVi-1为第i-1个周期的实际温度，Outi-1为第i-1个周期的给定输出量，t为预设温度到达时间，T为每个周期的时长，vi-1为第i-1个周期的运行速度的实际瞬时值。


3.根据权利要求1所述的半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，所述基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量，具体包括：
基于上个周期运行速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量。


4.根据权利要求3所述的半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，所述基于上个周期运行速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量的计算公式如下：









其中，Outi为第i个周期的给定输出量，SV为目标温度，PVi-1为第i-1个周期的实际温度，t为预设温度到达时间，T为每个周期的时长，k1为预设的第一修正系数，vi-1为第i-1个周期的运行速度的实际瞬时值，Outi-1为第i-1个周期的给定输出量，k2为预设的第二修正系数，vLi-1为第i个周期之前周期的实际平均值，PV为初始实际温度，OutLi-i为第i个周期之前周期的平均给定输出量。


5.一种半导体温控装置输出量的控制装置，其特征在于，包括：
分解模块，用于将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；
修正模块，用于基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期...

【专利技术属性】
技术研发人员：常鑫，冯涛，宋朝阳，李文博，董春辉，芮守祯，何茂栋，曹小康，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11