一种紫外准分子激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种紫外准分子激光器，包括箱体，所述的箱体内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件，所述的箱体内还设有用于控制激光发生组件工作的控制器，所述的箱体上还设有至少四个用于支撑到支撑面上的支撑组件，所述的支撑组件均包括连接于箱体上并能支撑到支撑面上的支撑座，所述的支撑座内设有能够相对其上下移动的滚轮组件，所述的滚轮组件与箱体之间还设有气囊，所述的箱体内还设有能将激光发生组件内产生的废气抽出并能向气囊充气而将滚轮组件顶推出支撑座外的气泵。本发明专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种便于移动而且使用时稳定的紫外准分子激光器。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外准分子激光器
本专利技术涉及一种紫外准分子激光器。
技术介绍
现有的激光器都是放置在工作台或者地面上进行使用的，但是直接放置在工作台上的激光器不便于移动，如果在激光器的下方设置滚轮的话，在放置激光器时需要单独的去将各个滚轮的刹车踩下，才能将激光器停稳，操作不方便，而且如果出现一个或忘记踩下的情况，激光器运行的时候会因风扇工作而产生的震动，可能会出现移位，会造成较大的误差，而且激光器也有可能从工作台上滑落，进而影响激光器的使用。本专利技术正是基于上述不足而产生的。
技术实现思路
本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种便于移动而且使用时稳定的紫外准分子激光器。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体1，所述的箱体1内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件2，所述的箱体1内还设有用于控制激光发生组件2工作的控制器7，所述的箱体1上还设有至少四个用于支撑到支撑面800上的支撑组件4，所述的支撑组件4均包括连接于箱体1上并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体(1)，所述的箱体(1)内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件(2)，所述的箱体(1)内还设有用于控制激光发生组件(2)工作的控制器(7)，所述的箱体(1)上还设有至少四个用于支撑到支撑面(800)上的支撑组件(4)，所述的支撑组件(4)均包括连接于箱体(1)上并能支撑到支撑面(800)上的支撑座(41)，所述的支撑座(41)内设有能够相对其上下移动的滚轮组件(5)，所述的滚轮组件(5)与箱体(1)之间还设有气囊(6)，所述的箱体(1)内还设有能将激光发生组件(2)内产生的废气抽出并能向气囊(3)充气而将滚轮组件(5)顶推...

【技术特征摘要】
1.一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体(1)，所述的箱体(1)内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件(2)，所述的箱体(1)内还设有用于控制激光发生组件(2)工作的控制器(7)，所述的箱体(1)上还设有至少四个用于支撑到支撑面(800)上的支撑组件(4)，所述的支撑组件(4)均包括连接于箱体(1)上并能支撑到支撑面(800)上的支撑座(41)，所述的支撑座(41)内设有能够相对其上下移动的滚轮组件(5)，所述的滚轮组件(5)与箱体(1)之间还设有气囊(6)，所述的箱体(1)内还设有能将激光发生组件(2)内产生的废气抽出并能向气囊(3)充气而将滚轮组件(5)顶推出支撑座(41)外的气泵(3)。


2.根据权利要求1所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的控制器(7)包括用于为激光发生组件(2)和气泵(3)供电的电源(71)，所述的控制器(7)还包括用于控制激光发生组件(2)工作的第一电路板(72)和用于控制气囊(6)工作的第二电路板(73)，所述的第一电路板(72)与第二电路板(73)通过导线(74)与电源(71)电性连接，且所述的导线(74)上套设有能够抑制激光发生组件(2)工作时产生的强电磁干扰的磁环(75)。


3.根据权利要求1所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的气泵(3)上设有与激光发生组件(2)连通的第一出气口(31)和用于与外部大气连通的通气口(32)，所述的气泵(3)上还连接有能够与各所述的气囊(6)的充气口(61)管道连接的第二出气口(33)。

【专利技术属性】
技术研发人员：田赟，朱能伟，
申请(专利权)人：中山普宏光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44