一种紫外准分子激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种紫外准分子激光器，包括箱体，所述的箱体内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件，所述的箱体内还设有用于控制激光发生组件工作的控制器，所述的箱体上还设有至少四个用于支撑到支撑面上的支撑组件，所述的支撑组件均包括连接于箱体上并能支撑到支撑面上的支撑座，所述的支撑座内设有能够相对其上下移动的滚轮组件，所述的滚轮组件与箱体之间还设有气囊，所述的箱体内还设有能将激光发生组件内产生的废气抽出并能向气囊充气而将滚轮组件顶推出支撑座外的气泵。本发明专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种便于移动而且使用时稳定的紫外准分子激光器。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外准分子激光器
本专利技术涉及一种紫外准分子激光器。
技术介绍
现有的激光器都是放置在工作台或者地面上进行使用的，但是直接放置在工作台上的激光器不便于移动，如果在激光器的下方设置滚轮的话，在放置激光器时需要单独的去将各个滚轮的刹车踩下，才能将激光器停稳，操作不方便，而且如果出现一个或忘记踩下的情况，激光器运行的时候会因风扇工作而产生的震动，可能会出现移位，会造成较大的误差，而且激光器也有可能从工作台上滑落，进而影响激光器的使用。本专利技术正是基于上述不足而产生的。
技术实现思路
本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种便于移动而且使用时稳定的紫外准分子激光器。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体1，所述的箱体1内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件2，所述的箱体1内还设有用于控制激光发生组件2工作的控制器7，所述的箱体1上还设有至少四个用于支撑到支撑面800上的支撑组件4，所述的支撑组件4均包括连接于箱体1上并能支撑到支撑面800上的支撑座41，所述的支撑座41内设有能够相对其上下移动的滚轮组件5，所述的滚轮组件5与箱体1之间还设有气囊6，所述的箱体1内还设有能将激光发生组件2内产生的废气抽出并能向气囊3充气而将滚轮组件5顶推出支撑座41外的气泵3。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的控制器7包括用于为激光发生组件2和气泵3供电的电源71，所述的控制器7还包括用于控制激光发生组件2工作的第一电路板72和用于控制气囊6工作的第二电路板73，所述的第一电路板72与第二电路板73通过导线74与电源71电性连接，且所述的导线74上套设有能够抑制激光发生组件2工作时产生的强电磁干扰的磁环75。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的气泵3上设有与激光发生组件2连通的第一出气口31和用于与外部大气连通的通气口32，所述的气泵3上还连接有能够与各所述的气囊6的充气口61管道连接的第二出气口33。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的支撑座41内设有能够供滚轮组件5上下移动的通道42，所述的支撑座41内设有能够阻止滚轮组件5从通道42内脱离的凸台43。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的凸台43与滚轮组件5之间设有能使滚轮组件5上移复位的弹性复位件44。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的滚轮组件5包括滚轮架51，所述的滚轮架51上转动连接有轮子52，所述的滚轮架51上设有能够与凸台43配合而阻止滚轮组件5从通道42中脱离的凸出部511，所述的气囊6设于所述的滚轮架51与箱体1之间，所述的弹性复位件44是弹簧并设在凸出部511与凸台43之间。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的支撑座41的底部还设有环形的支撑部411。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的箱体1内还设有用于支撑所述的激光发生组件2的第一支撑架11。如上所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的激光发生组件2上还连接有能够用于支撑并放置控制器7的第二支撑架12，所述的箱体1内还连接有能够支撑并放置第一电路板72与第二电路板73的第三支撑架13和第四支撑架14。与现有技术相比，本专利技术有如下优点：本专利技术在需要移动时，通过控制器启动气泵对气囊进行充气，气囊的体积在支撑座内逐渐变大，气囊变大时同时顶靠箱体的壁面和滚轮组件，并将滚轮组件从支撑座内顶出，而使得滚轮组件触接到支撑面而支撑箱体，此时，就能够通过滚轮组件将箱体进行移动，由于设置了至少四个支撑组件，因此箱体移动时更稳定，而且移动更为顺畅。当不需要移动箱体时，控制气泵将气囊内的气体向外排出，此时由于气囊内的压力下降，滚轮组件在箱体和其他部件的重力下就缩回至支撑座内，此时，支撑座用于支撑箱体，不易移动，因此，激光器在使用时，不会出现滚轮组件的震动而造成误差。而且本专利技术只需要控制气泵对气囊进行充气就能控制滚轮组件顶出而移动箱体，或者通过控制气泵放气将滚轮组件缩回至支撑座内而将箱体放稳，不需要去将各个滚轮锁定，用户操作更方便。本专利技术结构简单，操作方便。【附图说明】图1是本专利技术紫外准分子激光器的立体图之一；图2是本专利技术紫外准分子激光器的立体图之二；图3是本专利技术紫外准分子激光器的剖视图；图4是图3中A区域的放大图；图5是本专利技术紫外准分子激光器的立体图之三；图6是图5中B区域的放大图。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术作进一步描述：如图1至6所示，本专利技术提供一种紫外准分子激光器，包括箱体1，所述的箱体1内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件2，所述的箱体1内还设有用于控制激光发生组件2工作的控制器7，所述的箱体1上还设有至少四个用于支撑到支撑面800上的支撑组件4，所述的支撑组件4均包括连接于箱体1上并能支撑到支撑面800上的支撑座41，所述的支撑座41内设有能够相对其上下移动的滚轮组件5，所述的滚轮组件5与箱体1之间还设有气囊6，所述的箱体1内还设有能将激光发生组件2内产生的废气抽出并能向气囊3充气而将滚轮组件5顶推出支撑座41外的气泵3。激光器需要移动时，通过控制器7启动气泵3对气囊6进行充气，气囊6的体积在支撑座41内逐渐变大，气囊6变大时同时顶靠箱体1的壁面和滚轮组件5，并将滚轮组件5从支撑座41内顶出，而使得滚轮组件5支撑箱体1，此时，就能够通过滚轮组件5将箱体1进行移动，由于设置了至少四个支撑组件4，因此箱体1移动时更稳定，而且移动更为顺畅，当不需要移动箱体1时，控制气泵3将气囊6内的气体向外排出，此时由于气囊6内的压力下降，箱体1就在重力的作用下相对滚轮组件5向下运动，滚轮组件5就缩回至支撑座41内，此时，支撑座41用于支撑箱体1，因此，激光器在使用时，不会出现滚轮组件4的震动而造成误差。而且本专利技术只需要控制气泵3对气囊6进行充气就能控制滚轮组件5顶出而移动箱体1，或者通过控制气泵3放气将滚轮组件5缩回至支撑座41内而将箱体1放稳，不需要去将各个滚轮锁定，用户操作更方便。本专利技术结构简单，操作方便。如图1至6所示，所述的控制器7包括用于为激光发生组件2和气泵3供电的电源71，所述的控制器7还包括用于控制激光发生组件2工作的第一电路板72和用于控制气囊6工作的第二电路板73，所述的第一电路板72与第二电路板73通过导线74与电源71电性连接，且所述的导线74上套设有能够抑制激光发生组件2工作时产生的强电磁干扰的磁环75。准分子激光器是通过气体放电产生激励实现激光输出的，因此必然会伴随一定的电磁辐射产生。尤其在工业领域对准分子激光器要求输出功率越来越高，输出单脉冲能量越来越大，随之带来的电磁辐射也越来越严重。激光发生组件2内的氟气、氖气和氪气等气体强电离反应时，会产生较强的电磁辐射，这些电磁辐射形成的强电磁干扰不仅干扰各电子元器件和导线74的工作，加速电子元器件和导线74的老化，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体(1)，所述的箱体(1)内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件(2)，所述的箱体(1)内还设有用于控制激光发生组件(2)工作的控制器(7)，所述的箱体(1)上还设有至少四个用于支撑到支撑面(800)上的支撑组件(4)，所述的支撑组件(4)均包括连接于箱体(1)上并能支撑到支撑面(800)上的支撑座(41)，所述的支撑座(41)内设有能够相对其上下移动的滚轮组件(5)，所述的滚轮组件(5)与箱体(1)之间还设有气囊(6)，所述的箱体(1)内还设有能将激光发生组件(2)内产生的废气抽出并能向气囊(3)充气而将滚轮组件(5)顶推出支撑座(41)外的气泵(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种紫外准分子激光器，其特征在于：包括箱体(1)，所述的箱体(1)内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件(2)，所述的箱体(1)内还设有用于控制激光发生组件(2)工作的控制器(7)，所述的箱体(1)上还设有至少四个用于支撑到支撑面(800)上的支撑组件(4)，所述的支撑组件(4)均包括连接于箱体(1)上并能支撑到支撑面(800)上的支撑座(41)，所述的支撑座(41)内设有能够相对其上下移动的滚轮组件(5)，所述的滚轮组件(5)与箱体(1)之间还设有气囊(6)，所述的箱体(1)内还设有能将激光发生组件(2)内产生的废气抽出并能向气囊(3)充气而将滚轮组件(5)顶推出支撑座(41)外的气泵(3)。


2.根据权利要求1所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的控制器(7)包括用于为激光发生组件(2)和气泵(3)供电的电源(71)，所述的控制器(7)还包括用于控制激光发生组件(2)工作的第一电路板(72)和用于控制气囊(6)工作的第二电路板(73)，所述的第一电路板(72)与第二电路板(73)通过导线(74)与电源(71)电性连接，且所述的导线(74)上套设有能够抑制激光发生组件(2)工作时产生的强电磁干扰的磁环(75)。


3.根据权利要求1所述的紫外准分子激光器，其特征在于：所述的气泵(3)上设有与激光发生组件(2)连通的第一出气口(31)和用于与外部大气连通的通气口(32)，所述的气泵(3)上还连接有能够与各所述的气囊(6)的充气口(61)管道连接的第二出气口(33)。

【专利技术属性】
技术研发人员：田赟，朱能伟，
申请(专利权)人：中山普宏光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44