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本发明公开了一种紫外准分子激光器，包括箱体，所述的箱体内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件，所述的箱体内还设有用于控制激光发生组件工作的控制器，所述的箱体上还设有至少四个用于支撑到支撑面上的支撑组件，所述的支撑组...
该专利属于中山普宏光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山普宏光电科技有限公司授权不得商用。

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