一种准分子紫外激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种准分子紫外激光器，包括外壳、紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组，及电源，外壳内还设有安装架组件，安装架组件包括底座，底座上滑动连接有用于固定安装紫外激光生成装置的第一支架，第一支架上滑动连接有用于固定安装储能电容模组的第二支架，第二支架上滑动连接有用于固定安装闸流管模组和电源的第三支架，且安装架组件还包括能够驱动第一支架、第二支架和第三支架同时滑动而调节各支架相对底座高度并使得各支架之间产生间隔的高度调节装置。本实用新型专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够适配并安装不同大小或宽度的紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组和电源部件的准分子紫外激光器。光器。光器。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子紫外激光器


[0001]本技术涉及一种准分子紫外激光器。

技术介绍

[0002]现有的准分子紫外激光器的部件大多包括紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组和电源等部件，各部件大多都是固定安装在安装架组件上，位置和体积都不能够变动，因此如果改动紫外激光生成装置储能电容模组、闸流管模组部件等部件的高度或长度，那现有的安装架组件就不适配了，需要生产新的支架，容易造成浪费。
[0003]本技术正是基于上述不足研发而产生的。

技术实现思路

[0004]本技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够适配并安装不同大小或宽度的紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组和电源部件的准分子紫外激光器。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种准分子紫外激光器，其特征在于：包括外壳1，所述的外壳1内设置有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的紫外激光生成装置2、储能电容模组3、闸流管模组4，以及电源5，所述的外壳1内还设有用于安装电源5、紫外激光生成装置2、储能电容模组3和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子紫外激光器，其特征在于：包括外壳(1)，所述的外壳(1)内设置有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的紫外激光生成装置(2)、储能电容模组(3)、闸流管模组(4)，以及电源(5)，所述的外壳(1)内还设有用于安装电源(5)、紫外激光生成装置(2)、储能电容模组(3)和闸流管模组(4)的安装架组件(6)，所述的安装架组件(6)包括底座(61)，所述的底座(61)上滑动连接有用于固定安装紫外激光生成装置(2)的第一支架(62)，所述的第一支架(62)上滑动连接有用于固定安装储能电容模组(3)的第二支架(63)，所述的第二支架(63)上滑动连接有用于固定安装闸流管模组(4)和电源(5)的第三支架(64)，且所述的安装架组件(6)还包括能够驱动第一支架(62)、第二支架(63)和第三支架(64)同时滑动而调节各支架相对底座(61)高度并使得各支架之间产生间隔的高度调节装置(65)。2.根据权利要求1所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的高度调节装置(65)包括转动连接于底座(61)上的第一转动轮(651)，转动连接于第一支架(62)下部的第二转动轮(652)，转动连接于第二支架(63)上部的第三转动轮(653)，转动连接于第二支架(63)下部的第四转动轮(654)，转动连接于第二支架(63)上部的第五转动轮(655)，所述的底座(61)上还设有转动装置(66)，且所述的转动装置(66)与第三支架(64)支架之间设有连接带(67)，所述的连接带(67)的一端连接在转动装置(66)上，另一端依次绕第一转动轮(651)、第二转动轮(652)、第三转动轮(653)、第四转动轮(654)和第五转动轮(655)后固定在第三支架(64)的下端，且在转动装置(66)转动时连接带(67)跟随转动装置(66)转动并缠绕在转动装置(66)以拉动第一支架(62)、第二支架(63)和第三支架(64)相对底座(61)向上移动而调节各支架之间的高度。3.根据权利要求1所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的底座(61)上设有第一限位块(611)，所述的第一支架(62)上设有在其滑动时能够与第一限位块(611)顶靠而限制第一支架(62)滑动的第一顶靠部(621)，所述的第一支架(62)上设有第二限位块(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：田赟，朱能伟，
申请(专利权)人：中山普宏光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：