一种压电薄膜及其制备方法技术

本申请公开了一种压电薄膜及其制备方法，该方法包括制备溶解有压电材料粉体的溶液；将溶液流延至基板的表面，以在表面上形成液膜；将带有液膜的基板置于高压电场环境中进行极化，待液膜中的溶剂蒸发完毕，得到压电薄膜。本申请的方法利用溶解有压电材料的溶液在基板的表面形成液膜，然后将带有液膜的基板置于高压环境中，蒸发结晶的同时对液膜进行高压极化，可以使液膜中的压电材料分子结晶度、晶相转变有较大的提升，从而增加压电薄膜压电系数；高压极化是在制备压电薄膜的过程中，有效降低压电薄膜被高压击穿的风险；并且，采用流延的方式形成液膜，避免薄膜在拉伸过程中内部产生缺陷，提升压电薄膜品质，同时降低对设备的要求，简化制作工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种压电薄膜及其制备方法
本申请涉及柔性传感
，特别是涉及一种压电薄膜及其制备方法。
技术介绍
聚偏氟乙烯(poly(vinylidenefluoride)，简称PVDF)常态下为半结晶高聚物，具有材质柔性高、低密度、低阻抗的特点，迄今报道有α、β、γ、δ及ε等5种晶型，它们在不同的条件下形成，在一定条件(热、电场、机械及辐射能的作用)下又可以相互转化。其中，β晶型最为重要，β晶型由于晶胞中含有极性较强的反式分子链，所以容易被极化，产生压电效应，应用于压电及热释电方面。以PVDF压电薄膜为例，目前制备柔性压电薄膜的工艺流程大致为：首先采用热压/流延/挤出等方法对PVDF粉末进行结晶成型处理形成PVDF薄膜，此时的PVDF薄膜中α相含量较多，然后对PVDF薄膜进行单轴常温拉伸、挤出等，以使PVDF薄膜中部分晶体转换为β相，得到PVDF压电薄膜，得到PVDF压电薄膜后再进行高压极化处理，以提升β相的含量。存在以下三个问题，第一，由于PVDF压电薄膜已经制成，再进行极化时β相的含量以及分子结晶度的提升有限，使得压电薄膜压电系数较小，第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电薄膜制备方法，其特征在于，包括：/n制备溶解有压电材料粉体的溶液；/n将所述溶液流延至基板的表面，以在所述表面上形成液膜；/n将带有所述液膜的所述基板置于高压电场环境中进行极化，待所述液膜中的溶剂蒸发完毕，得到压电薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电薄膜制备方法，其特征在于，包括：
制备溶解有压电材料粉体的溶液；
将所述溶液流延至基板的表面，以在所述表面上形成液膜；
将带有所述液膜的所述基板置于高压电场环境中进行极化，待所述液膜中的溶剂蒸发完毕，得到压电薄膜。


2.如权利要求1所述的压电薄膜制备方法，其特征在于，在所述将所述溶液流延至基板的表面之前，还包括：
去除所述溶液中的气泡。


3.如权利要求2所述的压电薄膜制备方法，其特征在于，所述去除所述溶液中的气泡包括：
对所述溶液进行超声处理，去除所述溶液中的气泡；
将超声处理后的所述溶液置于真空环境中，再次去除所述溶液中的气泡。


4.如权利要求1所述的压电薄膜制备方法，其特征在于，所述制备溶解有压电材料粉体的溶液包括：
将所述压电材料粉体溶解于溶剂中，得到预制溶液；
搅拌所述预制溶液并向所述预制溶液中加入所述压电材料粉体，得到所述溶液。

【专利技术属性】
技术研发人员：王英辉，王盛凯，
申请(专利权)人：昆山微电子技术研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32