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本申请公开了一种压电薄膜及其制备方法，该方法包括制备溶解有压电材料粉体的溶液；将溶液流延至基板的表面，以在表面上形成液膜；将带有液膜的基板置于高压电场环境中进行极化，待液膜中的溶剂蒸发完毕，得到压电薄膜。本申请的方法利用溶解有压电材料的溶液...
该专利属于昆山微电子技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过昆山微电子技术研究院授权不得商用。

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