本实用新型专利技术公开了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，包括：推舟模组；石英管；以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置；其中，所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部，所述辅助拆装装置包括：安装固定组件；可活动的设于所述安装固定组件表面的仿形块；以及固接于所述安装固定组件表面的位置调节组件；所述仿形块与所述石英管接触连接，且所述仿形块与所述位置调节组件的活动部相固接，以使得所述位置调节组件可调节所述仿形块延X轴方向的位置。本实用新型专利技术具有采用机械辅助，减少工作人员工作强度，提高机械化作业在石英管拆装清洗维护作业中的占比，达到释放人力提高待机率的目的的有益效果。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构
本技术涉及管式PECVD石英管拆装领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构。
技术介绍
太阳能电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。PECVD的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的504片，石英管管径和长度也不断加大，PECVD设备也由当初的两管发展到现在的五管，大产能设备占地面积及设备高度也相应变大。另外行业内电池片效率也是在往越来越高趋势发展。这就使得石英管的清洗维护工作显得极为重要，但是石英管的清洗维护工作又非常不容易进行，消耗时间、人力及降低设备运作时间使得设备清洗维护成本高；同时在拆装石英管的过程中需要作业人员一直托举着石英管使之不碎裂崩坏，非常不方便；加之位于上面的几层石英管高度较高，作业人员需要站在垫高平台上操作存在较高的安全隐患。有鉴于此，实有必要开发一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术的目的是提供一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其辅助拆装装置可拆卸的连接于推舟模组的侧端部，合理的利用推舟模组进行升降操作，在通过位置调节组件调节石英管延X轴方向的位置，采用机械辅助，减少工作人员工作强度，提高机械化作业在石英管拆装清洗维护作业中的占比，达到释放人力提高待机率的目的。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，包括：推舟模组；石英管；以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置；其中，所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部，所述辅助拆装装置包括：安装固定组件；可活动的设于所述安装固定组件表面的仿形块；以及固接于所述安装固定组件表面的位置调节组件；所述仿形块与所述石英管接触连接，且所述仿形块与所述位置调节组件的活动部相固接，以使得所述位置调节组件可调节所述仿形块延X轴方向的位置。优选的是，所述仿形块的顶端部开设有圆弧形的固定凹槽，所述固定凹槽与所述石英管相匹配，所述仿形块通过所述固定凹槽与所述石英管接触连接。优选的是，所述安装固定组件包括：安装座；以及设于所述安装座中部位置且延X轴方向延伸的固定底板；其中，所述安装座与所述固定底板之间设有至少一个的加强筋，所述位置调节组件固接于所述固定底板顶端部，所述辅助拆装装置通过所述安装座可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部。优选的是，所述位置调节组件包括：旋转手轮；以及与所述旋转手轮转动连接的驱动丝杆；其中，所述仿形块延X轴方向的两侧端部均固接有固定块，且位于所述仿形块一侧端部的固定块与所述驱动丝杆的活动部相固接。优选的是，所述驱动丝杆延Y轴方向的两侧均设有导向条，所述导向条延X轴方向延伸，所述固定块的底端部与所述导向条滑动连接。优选的是，所述导向条的侧端部刻有刻度标识。优选的是，所述驱动丝杆的两侧端部设有丝杆固定座，所述驱动丝杆与所述丝杆固定座转动连接。本技术至少包括以下有益效果：本技术提供了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其辅助拆装装置可拆卸的连接于推舟模组的侧端部，合理的利用推舟模组进行升降操作，在通过位置调节组件调节石英管延X轴方向的位置，采用机械辅助，减少工作人员工作强度，提高机械化作业在石英管拆装清洗维护作业中的占比，达到释放人力提高待机率的目的。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本技术的一个实施例中适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构的结构示意图；图2为本技术的一个实施例中适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构隐藏石英管后的结构示意图；图3为本技术的一个实施例中适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构隐藏推舟模组后的结构示意图；图4为本技术的一个实施例中适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构隐藏推舟模组后的侧视图；图5为本技术的一个实施例中辅助拆装装置的结构示意图；图6为本技术的一个实施例中辅助拆装装置隐藏仿形块后的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，本技术的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词为基于附图所示的方位或位置关系。特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。根据本技术一实施方式，结合图1～4，本技术提供了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其包括：推舟模组11；石英管12；以及与所述石英管12接触连接的至少2组的辅助拆装装置13；其中，所述辅助拆装装置13可拆卸的连接于所述推舟模组11的侧端部，所述辅助拆装装置13包括：安装固定组件131；可活动的设于所述安装固定组件131表面的仿形块13本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，包括：推舟模组(11)；石英管(12)；以及与所述石英管(12)接触连接的至少2组的辅助拆装装置(13)；/n其中，所述辅助拆装装置(13)可拆卸的连接于所述推舟模组(11)的侧端部，所述辅助拆装装置(13)包括：安装固定组件(131)；可活动的设于所述安装固定组件(131)表面的仿形块(132)；以及固接于所述安装固定组件(131)表面的位置调节组件(133)；所述仿形块(132)与所述石英管(12)接触连接，且所述仿形块(132)与所述位置调节组件(133)的活动部相固接，以使得所述位置调节组件(133)可调节所述仿形块(132)延X轴方向的位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，包括：推舟模组(11)；石英管(12)；以及与所述石英管(12)接触连接的至少2组的辅助拆装装置(13)；
其中，所述辅助拆装装置(13)可拆卸的连接于所述推舟模组(11)的侧端部，所述辅助拆装装置(13)包括：安装固定组件(131)；可活动的设于所述安装固定组件(131)表面的仿形块(132)；以及固接于所述安装固定组件(131)表面的位置调节组件(133)；所述仿形块(132)与所述石英管(12)接触连接，且所述仿形块(132)与所述位置调节组件(133)的活动部相固接，以使得所述位置调节组件(133)可调节所述仿形块(132)延X轴方向的位置。
2.如权利要求1所述的适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，所述仿形块(132)的顶端部开设有圆弧形的固定凹槽(1321)，所述固定凹槽(1321)与所述石英管(12)相匹配，所述仿形块(132)通过所述固定凹槽(1321)与所述石英管(12)接触连接。
3.如权利要求1所述的适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，所述安装固定组件(131)包括：安装座(1311)；以及设于所述安装座(1311)中部位置且延X轴方向延伸的固定底板(1312)；
其中，所述安装座(1311)与所述固定底板(1312)之间设有至...
【专利技术属性】
技术研发人员：周玉龙，王玉明，刘景博，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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