一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，包括：推舟模组；石英管；以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置；其中，所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部，所述辅助拆装装置包括：安装固定组件；可活动的设于所述安装固定组件表面的仿形块；以及固接于所述安装固定组件表面的位置调节组件；所述仿形块与所述石英管接触连接，且所述仿形块与所述位置调节组件的活动部相固接，以使得所述位置调节组件可调节所述仿形块延X轴方向的位置。本实用新型专利技术具有采用机械辅助，减少工作人员工作强度，提高机械化作业在石英管拆装清洗维护作业中的占比，达到释放人力提高待机率的目的的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构
本技术涉及管式PECVD石英管拆装领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构。
技术介绍
太阳能电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，包括：推舟模组(11)；石英管(12)；以及与所述石英管(12)接触连接的至少2组的辅助拆装装置(13)；/n其中，所述辅助拆装装置(13)可拆卸的连接于所述推舟模组(11)的侧端部，所述辅助拆装装置(13)包括：安装固定组件(131)；可活动的设于所述安装固定组件(131)表面的仿形块(132)；以及固接于所述安装固定组件(131)表面的位置调节组件(133)；所述仿形块(132)与所述石英管(12)接触连接，且所述仿形块(132)与所述位置调节组件(133)的活动部相固接，以使得所述位置调节组件(133)可调节所述仿形块(1...

【技术特征摘要】
1.一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，包括：推舟模组(11)；石英管(12)；以及与所述石英管(12)接触连接的至少2组的辅助拆装装置(13)；
其中，所述辅助拆装装置(13)可拆卸的连接于所述推舟模组(11)的侧端部，所述辅助拆装装置(13)包括：安装固定组件(131)；可活动的设于所述安装固定组件(131)表面的仿形块(132)；以及固接于所述安装固定组件(131)表面的位置调节组件(133)；所述仿形块(132)与所述石英管(12)接触连接，且所述仿形块(132)与所述位置调节组件(133)的活动部相固接，以使得所述位置调节组件(133)可调节所述仿形块(132)延X轴方向的位置。


2.如权利要求1所述的适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，所述仿形块(132)的顶端部开设有圆弧形的固定凹槽(1321)，所述固定凹槽(1321)与所述石英管(12)相匹配，所述仿形块(132)通过所述固定凹槽(1321)与所述石英管(12)接触连接。


3.如权利要求1所述的适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，其特征在于，所述安装固定组件(131)包括：安装座(1311)；以及设于所述安装座(1311)中部位置且延X轴方向延伸的固定底板(1312)；
其中，所述安装座(1311)与所述固定底板(1312)之间设有至...

【专利技术属性】
技术研发人员：周玉龙，王玉明，刘景博，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32