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本实用新型公开了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构，包括：推舟模组；石英管；以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置；其中，所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部，所述辅助拆装装置包括：安装固定组件；可活动...
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