一种储存器晶圆的烘烤设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体，所述烘烤设备本体侧面设有电源开关，电源开关的一侧设有调节单元，烘烤设备本体的顶面分布有五个传热腔，其中四个传热腔呈矩形状分布，另一个传热腔设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板，加热面板底面分布有与传热腔匹配的导热管，导热管上端贯穿至加热面板内部，加热面板顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽，放置槽底面设有若干凸起，凸起高度小于放置槽深度，放置槽侧面设有与放置槽连通的矩形槽。本实用新型专利技术便于储存器晶圆在加热时方便拿取，利于对其进行翻面加热，在拿取过程中不易造成存储器晶圆损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种储存器晶圆的烘烤设备
本技术涉及半导体
，具体涉及一种储存器晶圆的烘干设备。
技术介绍
目前的存储器的内部会采用半导体存储器，半导体存储器简称闪存，闪存的存储单元为三端器件，与场效应管有相同的名称：源极、漏极和栅极。栅极与硅衬底之间有二氧化硅绝缘层，用来保护浮置栅极中的电荷不会泄漏。采用此种结构，使得存储单元具有了电荷保持能力；闪存与场效应管均为电压控制型器件，NAND型闪存的擦和写均是基于隧道效应，电流穿过浮置栅极与硅基层之间的绝缘层，对浮置栅极进行充电或放电，而NOR型闪存擦除数据仍是基于隧道效应，但在写入数据时则是采用热电子注入方式；随着电子加工生产与技术进步，闪存制程从以前的90nm进步到14nm甚至更高，数据密度越来越高，结缘层的厚度越来越薄，部分存储器晶圆的绝缘层在实际生产过程中厚度过薄，会导致电流出现异常，最终导致数据出现错误，此部分不合格的元器件能够通过普通的检测设备进行检测，但是仍然有部分存储器晶圆在使用一段时间之后才会出现此现象，而目前的检测设备并不能对此部分存储器晶圆进行有效的检测，一般是将储存器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，这样便于设备对存储器晶圆进行质量检测，由于储存器晶圆较薄，在加热板上加热时，不方便拿取，拿取过程中容易造成晶圆的损伤，也不便于对储存器两面进行加热。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种储存器晶圆的烘干设备，便于储存器晶圆在加热板上加热时方便拿取，利于两面进行加热，在拿取过程中不易造成晶圆损伤。为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体，所述烘烤设备本体侧面设有电源开关，电源开关的一侧设有调节单元，烘烤设备本体的顶面分布有五个传热腔，其中四个传热腔呈矩形状分布，另一个传热腔设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板，加热面板底面分布有与传热腔匹配的导热管，导热管上端贯穿至加热面板内部，加热面板顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽，放置槽底面设有若干凸起，凸起高度小于放置槽深度，放置槽侧面设有与放置槽连通的矩形槽。优选的，所述若干凸起均为环状柱形，且顶面均在同一水平面，凸起的高度为5-10mm。优选的，所述加热面板的两侧设有把手。优选的，所述调节单元包括加数按钮和减数按钮，加数按钮和减数按钮均呈三角形状，加数按钮呈正立的三角形状设在烘烤设备本体的外侧表面，减数按钮呈倒立的三角形状设在加数按钮的右侧，减数按钮和加数按钮的一端贯穿烘烤设备本体外侧表面到达烘烤设备本体内部。优选的，所述加数按钮和减数按钮的正上方设有设定温度显示屏，设定温度显示屏的右侧设有实际温度显示屏，实际温度显示屏和设定温度显示屏均镶嵌在烘烤设备本体的外侧表面且位于电源开关左侧。优选的，所述加数按钮的左侧设有加热指示灯和报警指示灯，报警指示灯位于加热指示灯与加数按钮之间，加热指示灯和报警指示灯的一端设置在烘烤设备本体的外侧，另一端贯穿烘烤设备本体的侧壁到达烘烤设备本体内部。优选的，所述烘烤设备本体的两侧设有排气孔，排气孔处设有固定在烘烤设备本体上的排气扇。优选的，所述加热指示灯和报警指示灯均在烘烤设备本体的同一侧面，且加热指示灯和报警指示灯高度相同。本技术具有的有益效果：1、本方案中的烘烤设备本体的上方增设有加热面板，加热面板与烘烤设备本体通过导热管连接，烘烤设备本体在发热过程中导热管能够将热量导向到加热面板，加热面板在受热情况下对其上表面的存储器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，便于后期设备对存储器晶圆进行质量检测，同时，加热面板上的放置槽便于放置存储器晶圆，使得存储器晶圆不易掉落加热面板，放置槽内的若干凸起，使得储存器晶圆与放置槽底面存在一定的间隙，在加上放置槽侧面设置的矩形槽为手动或者镊子拿取储存器晶圆时留出了一定的操作空间，这样便于对存储器晶圆进行翻面加热，使得存储器晶圆的加热效果更好，在拿取过程中也不易造成存储器晶圆的损坏。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为烘烤设备的结构示意图；图3为加热面板的结构示意图；图4为导热管在加热面板底面的分布图。附图标记：1-烘烤设备本体，2-加热面板，3-电源开关，4-实际温度显示屏，5-设定温度显示屏，6-加数按钮，7-减数按钮，8-报警指示灯，9-加热指示灯，10-放置槽，11-矩形槽，12-排气孔，12-排气扇，14-传热腔，15-导热管，16-凸起，17-把手。具体实施方式下面结合实施例及附图，对本技术作进一步的详细说明，但本技术的实施方式不限于此。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例1如图1-4所示，一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体1，所述烘烤设备本体1侧面设有电源开关3，电源开关3的一侧设有调节单元，烘烤设备本体1的顶面分布有五个传热腔14，其中四个传热腔14呈矩形状分布，另一个传热腔14设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体1顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板2，加热面板2底面分布有与传热腔14匹配的导热管15，导热管15上端贯穿至加热面板2内部，加热面板2顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽10，放置槽10底面设有若干凸起16，凸起16高度小于放置槽10深度，放置槽10侧面设有与放置槽10连通的矩形槽11。本实施例中在烘烤设备本体1的侧表面设有电源开关3，电源开关3对烘烤设备本体1内部的电路进行通断，便于工作人员控制设备的运行，电源开关3的一侧设有调节单元，调节单元能够调节烘烤设备本体1的烘烤温度；导热管15用于将烘烤设备本体1内部的热量传递给加热面板2，在加热面板2上设置五个传热腔14，这样使得传热区域能更广的覆盖加热面板2内部，加热效果更好，同时传热腔14与导热管15的套接配合，使得加热面板2在烘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体(1)，其特征在于，所述烘烤设备本体(1)侧面设有电源开关(3)，电源开关(3)的一侧设有调节单元，烘烤设备本体(1)的顶面分布有五个传热腔(14)，其中四个传热腔(14)呈矩形状分布，另一个传热腔(14)设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体(1)顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板(2)，加热面板(2)底面分布有与传热腔(14)匹配的导热管(15)，导热管(15)上端贯穿至加热面板(2)内部，加热面板(2)顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽(10)，放置槽(10)底面设有若干凸起(16)，凸起(16)高度小于放置槽(10)深度，放置槽(10)侧面设有与放置槽(10)连通的矩形槽(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体(1)，其特征在于，所述烘烤设备本体(1)侧面设有电源开关(3)，电源开关(3)的一侧设有调节单元，烘烤设备本体(1)的顶面分布有五个传热腔(14)，其中四个传热腔(14)呈矩形状分布，另一个传热腔(14)设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体(1)顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板(2)，加热面板(2)底面分布有与传热腔(14)匹配的导热管(15)，导热管(15)上端贯穿至加热面板(2)内部，加热面板(2)顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽(10)，放置槽(10)底面设有若干凸起(16)，凸起(16)高度小于放置槽(10)深度，放置槽(10)侧面设有与放置槽(10)连通的矩形槽(11)。


2.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述若干凸起(16)均为环状柱形，且顶面均在同一水平面，凸起(16)的高度为5-10mm。


3.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述加热面板(2)的两侧设有把手(17)。


4.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述调节单元包括加数按钮(6)和减数按钮(7)，加数按钮(6)和减数按钮(7)均呈三角形状，加数按钮(6)呈正立的三角形状设在烘烤设备本体(1)的外侧表面，减数...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹立冬，赵万里，
申请(专利权)人：合肥立万芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34