The invention enables the use of pressure flow control device, in about 3 ~ 300SCCM flow range, to supply the HF vacuum chamber gas cluster fluid with high precision of flow control. Specifically, the flow control method using pressure flow control device of fluid is the cluster method, namely in the upstream side of the orifice gas pressure P decreases 1 and the orifice on the downstream side of the gas pressure lower than P 2 P: 2 / P: 1 keep in gas below the critical pressure ratio under the condition of gas flow in orifice in the flow of Q in accordance with Q = KP: 1 (where K is a constant) operation, among them, the pressure type flow control device is heated to 40 DEG C, or to the cluster to achieve partial pressure following dilution gas is added in the fluid, so that the molecular dissociation Association, after making into a cluster of fluid single molecule state through the orifice flow.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及主要在药品、原子能燃料、化工产品、半导体等制造领域中所使用的、能够用流量控制装置以高精度且稳定地对氟化氢气体(以下称作HF气体)、臭氧、水等流体(以下称作簇化流体)的供给流量进行控制的簇化流体的流量控制方法，以及该方法中所使用的簇化流体用的流量控制装置。
技术介绍
迄今为止，HF气体等簇化流体在化工产品和半导体等制造领域中被广泛使用。因此，在HF气体等簇化流体的供给设备中使用着各种型式的流量控制装置，其中，质量流量控制器和差压式流量控制装置等使用得较多。但是，HF气体等簇化流体是具有以下特殊物理性质的物质密度大、比热比大、分子缔合对温度和压力的依赖性高、分子离解时的吸热量对温度的依赖性大等。因此，不能够像氧气和氮气那样作为理想气体运用玻义耳-查理定律，而且在流量控制方面也存在着许多与氧气和氮气的流量控制不同的问题。这是由于，因分子的缔合对温度·压力具有依赖性，HF气体等簇化流体的分子量会随着压力的变化而发生很大的变化，而当分子量M改变时，即使是同重量的HF气体等簇化流体，其摩尔数也会改变。此外，HF气体等簇化流体的分子所具有的缔合热很大，因此，供...
【技术保护点】
一种簇化流体的流量控制方法，其特征在于，在通过流量控制器将来自流体供给源的簇化流体向所希望的设备.装置供给的簇化流体的供给方法中，对前述流量控制器进行加热，使得在该流量控制器中流通的簇化流体的分子的缔合离解，通过流量控制器对成为了单分子状态的簇化流体进行流量控制并进行供给。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，杉山一彦，水泽兼悦，高桥荣治，宇野富雄，西野功二，土肥亮介，池田信一，永濑正明，
申请(专利权)人：株式会社富士金，东京毅力科创株式会社，大见忠弘，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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