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本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在３～３００ＳＣＣＭ左右的流量范围内，对供给真空腔室等的ＨＦ气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力Ｐ↓［１］...该专利属于株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘授权不得商用。