A flow control device comprises a pulsating subduction mechanism (24), used to make from the pressure adjusting part (54) of the control pressure and flow through the fluid passage (36) the main pressure equalizing pressure of fluid, so as to reduce the pressure fluctuations caused by the fluid pressure pulsation and flow control mechanism; (26) the flow control mechanism, (26) a valve plug (102), used to open / close the fluid channel (36), the linear actuator is controlled by the control unit according to the control signal from the (112) to adjust the valve plug (102) of the valve lift amount of the flow control mechanism (26) control fluid flow through the channel (36) of the pressure fluid flow.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种流速控制装置,该流速控制装置能够减弱压力流体流过流道的脉动,且该流速控制装置能够非常精确地控制压力流体的流速。相关技术的说明附图说明图10所示为用于控制流体流过流道的流速的流速控制系统。流速控制系统1包括泵3,该泵3泵送和供给储存在罐2内的压力流体;打开/关闭阀5,该打开/关闭阀5通过管通道4与该泵3的下游侧相连,且该打开/关闭阀5打开/关闭用于使压力流体通过该泵3供给的流体通道;以及流速控制阀7,该流速控制阀7通过管通道6与该打开/关闭阈5的下游侧相连,且该流速控制阀控制压力流体流过流体通道的流速。在流速控制阀7的下游侧提供有流速传感器8,该流速传感器8检测流过该流体通道的压力流体的流速。根据该流速传感器8提供的检测信号,在指示器9上表示出压力流体流过该流体通道的流速。电动气动调节器11通过管通道12与流速控制阀7相连,用于调节从压缩气源10供给的空气的压力,以便使流速控制阀7的先导室有预定的先导压力。该电动气动调节器11根据控制器13发出的控制信号而将由压缩气源10供给的空气控制为具有预定压力,从而使该压力成为先导压力。下面将示意说明上 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:深野喜弘,内野正,铃木贵光,
申请(专利权)人:SMC株式会社,
类型:发明
国别省市:
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