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流速控制装置制造方法及图纸
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文档序号:2784842
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一种流速控制装置,包括: 脉动消减机构(24),用于使来自压力调节部分(54)的调节控制压力与流过流体通道(36)的压力流体的主压力平衡,以便减小由所述压力流体的脉动引起的压力波动;以及 流速控制机构(26),该流速控制机构(2...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。
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