一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统，包括：电解槽阴极气主管道、HF冷凝器、HF吸收装置、HF回收罐；所有电解槽的阴极室通过阴极尾气传输管路接入电解槽阴极气主管道；HF冷凝器具有待冷凝气体入口、冷凝液体出口、冷凝气体出口、冷凝介质入口和冷凝介质出口；所述待冷凝气体入口接入所述电解槽阴极气主管道，所述冷凝液体出口通过连接有放液阀的HF回收管路连接至HF回收罐，所述冷凝气体出口通过供气管路接入HF吸收装置；所述HF吸收装置包括三级吸收塔组件。本发明专利技术还提供了一种尾气处理方法，能够实现阴极尾气中HF的收集和吸收，实现电解槽阴极尾气中的HF达标排放。实现电解槽阴极尾气中的HF达标排放。实现电解槽阴极尾气中的HF达标排放。

【技术实现步骤摘要】
一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法


[0001]本专利技术涉及三氟化氮电解槽阴极尾气处理
，尤其涉及一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法。

技术介绍

[0002]三氟化氮化学式为NF3，在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
[0003]目前，国内对于三氟化氮电解产生的废气主要采用化学中和反应的处理方式。三氟化氮电解产生的阴极尾气中的HF处理还需同时解决阴极尾气中的HF净化后是否达标排放的问题，而现有技术中，阴极尾气中HF不经回收利用，而直接净化处理后达标排放，是对生产资源的极大浪费，增加了工业生产的成本。/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统，其特征在于，包括：电解槽阴极气主管道、HF冷凝器、HF吸收装置、HF回收罐；所有电解槽的阴极室通过阴极尾气传输管路接入电解槽阴极气主管道；HF冷凝器具有待冷凝气体入口、冷凝液体出口、冷凝气体出口、冷凝介质入口和冷凝介质出口；所述待冷凝气体入口接入所述电解槽阴极气主管道，所述冷凝液体出口通过连接有放液阀的HF回收管路连接至HF回收罐，所述冷凝气体出口通过供气管路接入HF吸收装置；所述HF吸收装置包括三级吸收塔组件；每一级吸收塔组件均包括喷淋吸收塔和酸罐：酸罐的酸液出口通过带有循环泵的酸液循环管路连接上一级酸罐的循环液加入口和本级喷淋吸收塔的吸收液入口；喷淋吸收塔底部的酸液出口通过酸液回收管路接入本级酸罐；喷淋吸收塔的顶部通过HF排放管路接入下一级喷淋吸收塔的底部；其中，一级酸罐的酸液出口仅通过带有循环泵的酸液循环管路连接本级喷淋吸收塔的吸收液入口，一级酸罐的酸液出口作为成品酸排放口，三级酸罐的循环液加入口连接外部的纯水加装设备，三级喷淋吸收塔的HF排放管路接入外部的排放塔。2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述阴极尾气传输管路、酸液循环管路、HF排放管路、酸液回收管路均设有阀门。3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，通入所述HF冷凝器的冷凝介质为冷氮气。4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述待冷凝气体入口设置在HF冷凝器的下部，冷凝液体出口设置在HF冷凝器底部，冷凝气体出口设置在HF冷凝器顶部。5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述HF冷凝器为2个，并联连接；每个HF...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪振红，王振宇，马朝选，王占卫，乔蓓蓓，孙秋丽，吕随强，苏嘉轩，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：