The utility model discloses an integrated digital control and data acquisition board, including SCM, jumper, communication address signal conversion circuit, digital output driver circuit, digital input circuit, the drive voltage jumper, the singlechip and address jumper, digital output driver circuit, digital input conversion circuit is connected, the main the controller is connected with the external communication through the signal conversion circuit, the communication with the main controller, and the implementation of the main controller to send commands, digital output driver circuit, digital input conversion circuit and the driving voltage is connected through a wire jumper. The utility model has the advantages of simple structure, high integration degree and easy distribution to each potential of the equipment, so that the digital quantity control and acquisition tend to be simple.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种集成的数字量控制及采集板，尤其涉及一种半导体制造中离子注入所用的数字量控制及采集板，属于半导体器件制造的控制领域。
技术介绍
离子注入机中的数字量控制和采集点非常多，如阀门合真空泵的开关控制，继电器的切换，阀门的开关状态等等。由于离子注入机的数字量控制分布在设备的不同电位，分布比较散，通常采用的的方式是在每一个电位区域配备一台工控机，分别配置通用的数字信号控制卡和数字信号采集卡，来控制本电位所有的数字量。这样的控制方式不但硬件成本比较高，而且每一个工控机的数据处理量比较大，降低了控制效率，同时增加了软件编程的难度。
技术实现思路
为了解决上述存在的问题，本技术的目的是提供一种集成度高并且便于分散到设备的各个电位，使数字量控制及采集趋于简单的一种集成的数字量控制及采集板。本技术的技术方案是这样实现的，一种集成的数字量控制及采集板，包括单片机、地址跳线、通讯信号转换电路、数字量输出驱动电路、数字量输入转换电路、驱动电压跳线，其中单片机与地址跳线、数字量输出驱动电路、数字量输入转换电路连通，单片机通过通讯信号转换电路连接外部的主控制器，与主控制器进行通讯，并...
【技术保护点】
一种集成的数字量控制及采集板，包括单片机、地址跳线、通讯信号转换电路、数字量输出驱动电路、数字量输入转换电路、驱动电压跳线，其特征在于单片机与地址跳线、数字量输出驱动电路、数字量输入转换电路连通，单片机通过通讯信号转换电路连接外部的主控制器，与主控制器进行通讯，并执行主控制器发送的命令，数字量输出驱动电路、数字量输入转换电路通过导线与驱动电压跳线连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谢均宇，孙勇，唐景庭，罗宏洋，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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