本实用新型专利技术涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工技术领域；其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构；本实用新型专利技术提供了一种等离子清洗机推送料装置，能够提高设备的空间利用效率，提升推送料的行程，提高推送效率。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子清洗机推送料装置
本技术涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工
技术介绍
等离子清洗机用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，等离子清洗机内设有推送料装置能够将物料从料盒内推送清洗工位内进行清洗，现有的推送料装置为水平面内推送，受限于设备的水平空间，推送料装置的行程小，推送料效率低下，设备的空间利用率低下。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种一种等离子清洗机推送料装置，能够提高设备的空间利用效率，提升推送料的行程，提高推送效率。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种等离子清洗机推送料装置，其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构。进一步地，所述传送板带经导向轮传送后弯折成类“L”型且外侧向上弯折。进一步地，所述传送板带在自然伸展状态下向下弯曲成弧形，所述导向座上顶面与传送板带贴合，所述导向轮外周与传送板带贴合，所述导向座还连接有定型压块，所述定型压块下表面与传送板带贴合，所述传送板带设置在定型压块与导向座之间。进一步地，所述定型压块上设有第一长圆孔，所述定型压块通过第一长圆孔与导向座可调连接。进一步地，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧连接。进一步地，所述驱动机构包括与机架滑动连接的驱动横板，所述驱动横板上设有第二长圆孔，所述传送板带通过第二长圆孔与驱动横板可调连接，所述机架上设有第三长圆孔，所述导向座通过第三长圆孔与机架可调连接。进一步地，所述驱动机构还包括设置在机架上的滑轨、设置在驱动横板上的能够卡套在滑轨上滑动的滑套、设置在滑轨一侧的同步带以及能够驱动同步带运动的驱动电机，所述驱动横板与同步带连接，所述同步带与滑轨平行。进一步地，所述推料头包括设置在传送板带前端的推料导向板以及设置在推料板前端的推料块，所述推料块上设有推料豁口，所述推料导向板中间弯曲形成加强槽，所述加强槽底面与传送板带贴合。进一步地，所述推料导向板相邻的两棱边经倒角过渡连接。与现有技术相比，本技术所达到的有益效果：本技术方案的传送板带弯折设置，不局限在水平面内运动，提升了设备的空间利用率，提升了推送料的运动行程和推送料效率；本技术方案的传送板带能够满足推送料所需的结构强度需求和折弯后传送所需的弹性变形需求，使用方便可靠；本技术方案的导向轮、导向座、定型压块以及加强槽均与传送板带贴合设置，保证传送板带在导向座段运动时的形状稳定性，确保结构强度与保证作业安全；本技术方案设有多个长圆孔用于可调连接，能够满足不同的生产环境对设备的需求，调整更方便，适应性更好；本技术方案的导向轮通过弹性连杆与弹簧与导向座弹性连接，能够更好地压设贴合传送板带，确保传送板带的形状稳定性与传送稳定性。本技术方案的推料导向板棱边经倒角过渡，能够更好地推送物料板，方便滑动，减少卡死。附图说明图1是本技术实施例提供的一种等离子清洗机推送料装置的立体结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种等离子清洗机推送料装置的推料机构的立体结构放大示意图。标号说明：1-机架、2-推料机构、3-驱动机构、4-导向座、5-传送板带、6-推料头、7-导向轮、8-定型压块、9-第一长圆孔、10-弹性连杆、11-弹簧、12-驱动横板、13-第二长圆孔、14-第三长圆孔、15-滑轨、16-滑套、17-同步带、18-驱动电机、19-推料导向板、20-推料块、21-推料豁口、22-加强槽、23-倒角。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如附图所示的一种等离子清洗机推送料装置，其包括设置在机架1上的推料机构2以及驱动机构3，所述推料机构包括导向座4、与导向座滑动连接的传送板带5、设置在传送板带前端的推料头6以及导向轮7，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构；现有的推送料方向为单一的水平方向，由于设备的占地空间限制，水平推送料的传送距离十分有限，推送料的效果和效率有限，本技术方案的传送板带呈折弯状，传送路径为非水平状态，有效利用了设备的其他空间，提升了推送料的行程；推料头用于推送物料板，在使用时需要将物料板从料盒内推送至清洗腔内，传送板带被卡设在导向轮与导向座之间，导向轮起到导向作用，能够保证整个传送板带的传送路径形状的稳定性与传送板带的传送的平稳性；传送板带为弹性机构能够在弯折形变后仍然维持部分结构强度满足推送料的传送需求。所述传送板带经导向轮传送后弯折成类“L”型且外侧向上弯折；有效利用了设备的上部空间，缩减了设备的水平占地空间，提升了传送行程，提高了推送料效率。所述传送板带在自然伸展状态下向下弯曲成弧形，所述导向座上顶面与传送板带贴合，所述导向轮外周与传送板带贴合，所述导向座还连接有定型压块8，所述定型压块下表面与传送板带贴合，所述传送板带设置在定型压块与导向座之间；传送板带采用类似“卷尺”的材料和结构，自然状态下截面成弧形，具有一定的结构强度，能够满足设备所需的推送料的需求，能够保证在推送料过程中的外力作用下，卷尺不会发生局部隆起等变形；同时本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：包括设置在机架（1）上的推料机构（2）以及驱动机构（3），所述推料机构包括导向座（4）、与导向座滑动连接的传送板带（5）、设置在传送板带前端的推料头（6）以及导向轮（7），所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：包括设置在机架（1）上的推料机构（2）以及驱动机构（3），所述推料机构包括导向座（4）、与导向座滑动连接的传送板带（5）、设置在传送板带前端的推料头（6）以及导向轮（7），所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构。
2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：所述传送板带经导向轮传送后弯折成类“L”型且外侧向上弯折。
3.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：所述传送板带在自然伸展状态下向下弯曲成弧形，所述导向座上顶面与传送板带贴合，所述导向轮外周与传送板带贴合，所述导向座还连接有定型压块（8），所述定型压块下表面与传送板带贴合，所述传送板带设置在定型压块与导向座之间。
4.根据权利要求3所述的一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：所述定型压块上设有第一长圆孔（9），所述定型压块通过第一长圆孔与导向座可调连接。
5.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机推送料装置，其特征在于：所述导向轮与固定座通过一弹性连杆（10）连接，所述弹性连杆一端与固定座...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭峰，刘向东，彭小巧，王宇，国际瑞，
申请(专利权)人：昆山普乐斯电子科技有限公司，苏州优维毕光电科技有限公司，苏州艾斯林自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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