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本实用新型涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工技术领域；其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传...该专利属于昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司授权不得商用。