【技术实现步骤摘要】
一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备及方法
本专利技术涉及一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备及方法,属于化学分析
技术介绍
氟化氢,分子式:HF;分子量:20.01;沸点:19.5℃;熔点:-83.7℃,氟化氢在常温常压下稳定,无色刺激性气味,遇水能迅速形成白色烟雾形成剧毒的腐蚀性气体氟化氢。高纯无水氟化氢(HF)在电子工业中主要用于半导体设备的干法清洗及蚀刻等用途。由于氟化氢沸点为19.5℃,所以在对氟化氢中痕量杂质检测时需要提高氟化氢的温度,防止氟化氢气体冷却液化,而现有的气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备的加热接触面积较小,导致导气管内的待测试气体受热不均匀,进而使得部分氟化氢气体冷却液化附着在导气管上,导致氟化氢的痕量杂质分析结果准确度较低,所以,需要设计一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备来解决上述问题。
技术实现思路
为克服现有技术存在的缺陷,本专利技术的目的在于提供一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备及方法。为实现本专利技术的目的,提供以下技术方案。一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,所述设备包括设备主体,设备主体侧壁固定连接有真空泵,真空泵的输出端连通设有导气管,导气管侧壁连通设有第一进气管,导气管的侧壁连通设有第二进气管,导气管侧壁连通设有载气管,设备主体内底部固定连接有放置箱,设备主体内底部固定连接有柱箱,放置箱内顶部固定连接有连接板,连接板下端固定连接有加热棒,放置箱上壁贯穿设有安装筒,放置箱上壁贯穿设有开口,设备主体侧壁固定连 ...
【技术保护点】
1.一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:所述设备包括设备主体(1),设备主体(1)侧壁固定连接有真空泵(2),真空泵(2)的输出端连通设有导气管(3),导气管(3)侧壁连通设有第一进气管(4),导气管(3)的侧壁连通设有第二进气管(5),导气管(3)侧壁连通设有载气管(20),设备主体(1)内底部固定连接有放置箱(7),设备主体(1)内底部固定连接有柱箱(6),放置箱(7)内顶部固定连接有连接板(9),连接板(9)下端固定连接有加热棒(10),放置箱(7)上壁贯穿设有安装筒(11),放置箱(7)上壁贯穿设有开口(8),设备主体(1)侧壁固定连接有显示器(27),安装筒(11)上设有加热导气管(3)的驱动机构;/n导气管(3)、第一进气管(4)、第二进气管(5)与载气管(20)上均设有阀门,导气管(3)与柱箱(6)连通;/n柱箱(6)内设有氦离子化检测器;/n放置箱(7)内填充有二甲基硅油,加热棒(10)延伸至二甲基硅油油面下,安装筒(11)的下端位于二甲基硅油油面下。/n
【技术特征摘要】
1.一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:所述设备包括设备主体(1),设备主体(1)侧壁固定连接有真空泵(2),真空泵(2)的输出端连通设有导气管(3),导气管(3)侧壁连通设有第一进气管(4),导气管(3)的侧壁连通设有第二进气管(5),导气管(3)侧壁连通设有载气管(20),设备主体(1)内底部固定连接有放置箱(7),设备主体(1)内底部固定连接有柱箱(6),放置箱(7)内顶部固定连接有连接板(9),连接板(9)下端固定连接有加热棒(10),放置箱(7)上壁贯穿设有安装筒(11),放置箱(7)上壁贯穿设有开口(8),设备主体(1)侧壁固定连接有显示器(27),安装筒(11)上设有加热导气管(3)的驱动机构;
导气管(3)、第一进气管(4)、第二进气管(5)与载气管(20)上均设有阀门,导气管(3)与柱箱(6)连通;
柱箱(6)内设有氦离子化检测器;
放置箱(7)内填充有二甲基硅油,加热棒(10)延伸至二甲基硅油油面下,安装筒(11)的下端位于二甲基硅油油面下。
2.根据要求1所述的一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:驱动机构包括固定连接在设备主体(1)内壁的电机(22),电机(22)的输出轴固定连接有转动杆(23),转动杆(23)侧壁固定连接有扇形齿轮(26),安装筒(11)内壁固定连接有挡板(12),挡板(12)上壁通过第一转轴转动连接有第一转动板(14),挡板(12)上壁贯穿设有第二通孔(21),第一转动板(14)位于第二通孔(21)上,第一转动板(14)的尺寸大于第二通孔(21)的尺寸,安装筒(11)侧壁连通设有导油管(19),导油管(19)远离安装筒(11)的一端延伸至放置箱(7)内,安装筒(11)内壁密封滑动连接有活塞(13),活塞(13)上壁通过第二转轴转动连接有第二转动板(15),活塞(13)上壁贯穿设有第一通孔(16),第二转动板(15)位于第一通孔(16)上,第二转动板(15)的尺寸大于第一通孔(16)的尺寸,活塞(13)上壁固定连接有移动杆(17),移动杆(17)贯穿安装筒(11)上壁,移动杆(17)上壁固定连接有连接杆(18),连接杆(18)上端固定连接有移动板(24),移动板(24)侧壁设有凹槽(25);凹槽(25)内壁呈齿状,扇形齿轮(26)位于凹槽(25)内,扇形齿轮(26)与移动板(24)啮合。
3.根据要求1所述的一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:柱箱(6)内设有检测装置为氦离子化检测器的色谱柱为预切割柱:柱长5.0m,内径2mm的Monel合金柱,内装粒径为0.18mm~0.25mm的20%Kel-F,No.3,ChromosorbW色谱柱,该柱用于预分离,切走HF。
4.根据要求1所述的一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:导油管(19)环绕导气管(3)侧壁设置。
5.根据要求1所述的一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:移动杆(17)的截面为倒置的U型结构。
6.根据要求1所述的一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备,其特征在于:驱动机构包括固定连接在设备主体(1)内壁的电机(22),电机(22)的输出轴固定连接有转动杆(23),转动杆(23)侧壁固定连接有扇形齿轮(26),安装筒(11)内壁固定连接有挡板(12),挡板(12)上壁通过第一转轴转动连接有第一转动板(14),挡板(12)上壁贯穿设有第二通孔(21),第一转动板(14)位于第二通...
【专利技术属性】
技术研发人员:李帅楠,郑秋艳,孙秋丽,倪珊珊,殷越玲,柳彤,李世斌,王云飞,
申请(专利权)人:中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司,
类型:发明
国别省市:河北;13
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