MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体和防护膜；其中，所述壳体设置有进声孔；所述防护膜包括设置在所述壳体上并罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。本实用新型专利技术的MEMS麦克风，能够增强防护膜的延展性，以减少防护膜在装配过程中被拉扯而出现不规则褶皱的情况出现。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本技术涉及麦克风
，特别涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，能够应用到电子设备中作为声电转换装置。MEMS麦克风通常会配置有用以罩盖进声孔的防护膜，以防止外部环境中的粉尘或液体或强气流等直接从进声孔落入到MEMS麦克风的内部。然而，常规的防护膜通常是呈平片状设置的一整个平面膜，其延展性能较差，在装配防护膜的过程中，防护膜容易被拉扯而出现不规则褶皱甚至破裂，进而导致防护膜受损而降低其声学性能。
技术实现思路
本技术的主要目的是提出一种MEMS麦克风，旨在增强防护膜的延展性，以减少防护膜在装配过程中被拉扯而出现不规则褶皱的情况出现。为实现上述目的，本技术提出一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体和防护膜；其中，所述壳体设置有进声孔；所述防护膜设置在所述壳体上，所述防护膜包括罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。可选地，所述膜本体具有与所述进声孔对应的中心区，以及位于所述中心区外周的环周区；其中，所述中心区设置有所述褶环部；或者，所述环周区设置有所述褶环部；或者，所述中心区和所述环周区均设置有所述褶环部。可选地，设置在所述中心区的褶环部的最外圈环形褶纹，与设置在所述环周区的褶环部的最内圈环形褶纹圆滑过渡衔接。可选地，所述壳体包括基板及设置在所述基板上的封盖；其中，所述基板设置有所述进声孔；或者，所述封盖设置有所述进声孔。可选地，所述封盖包括顶板及设置在所述顶板的环周并与所述基板连接的围板；其中，在所述封盖的顶板设置所述进声孔。可选地，所述防护膜设置在所述壳体的外侧，以自所述壳体的外侧罩盖所述进声孔的外端。可选地，所述MEMS麦克风还包括罩盖所述防护膜的盖板，所述盖板设置在所述防护膜的背对所述进声孔的一侧，所述盖板设置有与所述进声孔相对的透声孔。可选地，所述防护膜还包括设置在所述膜本体的相对两侧面的两个固定片，两个所述固定片配合夹持于所述膜本体的周缘，以将所述膜本体夹持固定。可选地，所述防护膜的固定片与所述壳体的封盖采用粘性材料连接。可选地，所述MEMS麦克风还包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片安装在所述壳体内，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片电性连接。本技术的技术方案，通过在膜本体上设置了褶环部，该褶环部具有多个相互环绕的环形褶纹，多个环形褶纹以膜本体的中心向其外周间隔排布，从而使得膜本体能够在该褶环部处沿膜本体的径向发生伸缩形变，膜本体能够获得一定的沿其径向向外延展开的延展空间，以适应缓冲在装配过程中膜本体受到的拉扯力，有效减少膜本体被拉扯而出现不规则褶皱或破裂的情况，进而确保膜本体具有较佳的声学性能。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术MEMS麦克风的一实施例的结构示意图；图2为图1中防护膜的结构示意图；图3为图2中沿I-I线的剖视图；图4为图3中膜本体的褶环部的结构放大图；图5为本技术MEMS麦克风的另一实施例的结构示意图；图6为图5中防护膜的结构示意图；图7为图6中沿II-II线的剖视图。附图标号说明：标号名称标号名称100壳体211褶环部110基板212环形褶纹120封盖220固定片101进声孔230粘性材料102封装腔300盖板200防护膜400MEMS芯片210膜本体500ASIC芯片本技术目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。常规MEMS麦克风在装配膜本体时，先将防护膜放置在与所述进声孔相对的位置，然后将防护膜的外周缘与所述壳体连接固定。在此过程中，防护膜的外周缘可能会受到沿其径向的拉扯力，此拉扯力会拉扯防护膜的膜本体，使得防护膜的膜本体出现不规则褶皱或破裂的情况。本技术为解决上述技术问题，提出一种MEMS麦克风的实施例，所述MEMS麦克风的膜本体具有较强的延展性，从而可以减少在装配过程中防护膜的膜本体被拉扯而出现不规则褶皱或破裂的情况。应说明的是，所述MEMS麦克风可以应用在手机、平板、笔记本电脑、传感器等电子设备中。请参阅图1至图3，在本技术MEMS麦克风的一实施例中，所述MEMS麦克风包括壳体100和防护膜200；其中，壳体100设置有进声孔101；防护膜200包括设置在壳体100上，防护膜20包括罩盖进声孔101的膜本体210，该膜本体210设置有褶环部211，褶环部211包括多个相互环绕的环形褶纹212，多个环形褶纹212沿径向间隔排布。具体说来，壳体100具有用以封装MEMS芯片400、ASIC芯片500等内部构件的封装腔102。外部声音可以从进声孔101进入，并带动防护膜200的膜本体210振动，而后传递到封装腔102，最后被该封装腔102内内部的MEMS芯片400接收。在此过程中，防护膜200对气流的缓冲作用，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：/n壳体，所述壳体设置有进声孔；以及/n防护膜，所述防护膜设置在所述壳体上，所述防护膜包括罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：
壳体，所述壳体设置有进声孔；以及
防护膜，所述防护膜设置在所述壳体上，所述防护膜包括罩盖所述进声孔的膜本体，所述膜本体设置有褶环部，所述褶环部包括多个相互环绕的环形褶纹，多个所述环形褶纹沿径向间隔排布。


2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜本体具有与所述进声孔对应的中心区，以及位于所述中心区外周的环周区；其中，
所述中心区设置有所述褶环部；或者，
所述环周区设置有所述褶环部；或者，
所述中心区和所述环周区均设置有所述褶环部。


3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，设置在所述中心区的褶环部的最外圈环形褶纹，与设置在所述环周区的褶环部的最内圈环形褶纹圆滑过渡衔接。


4.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体包括基板及设置在所述基板上的封盖；其中，
所述基板设置有所述进声孔；或者，
所述封盖设置有所述进声孔。


5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述封盖包...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞胜利，王忠鹏，
申请(专利权)人：潍坊歌尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37