一种微波等离子蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框、供气泵、负极板、Y轴滑台、X轴滑台、Z轴滑台、电磁阀和正极板，所述外框内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台，Z轴滑台上方装配滑动安装有滑板，滑板顶端固定安装有X轴滑台，X轴滑台顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台，Y轴滑台相对一侧装配安装有左右对称的气管，气管底端开口处固定安装有滑套，滑套内侧滑动安装有吸盘。本实用新型专利技术在结构上设计合理，内部结构灵活，可以实现自动的上下料，且柔性结构保证产品的搬运稳定安全，避免下落距离过长造成损坏，设备的结构紧凑，配气均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子蚀刻机
本技术涉及一种蚀刻机，具体是一种微波等离子蚀刻机。
技术介绍
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。现有的蚀刻机内部结构固定，无法实现自动的上下料，操作自动化程度低，设备的结构不够紧凑，体积大，配气不均匀。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种微波等离子蚀刻机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框、供气泵、负极板、Y轴滑台、X轴滑台、Z轴滑台、电磁阀和正极板，所述外框内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台，Z轴滑台上方装配滑动安装有滑板，滑板顶端固定安装有X轴滑台，X轴滑台顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台，Y轴滑台相对一侧装配安装有左右对称的气管，气管底端开口处固定安装有滑套，滑套内侧滑动安装有吸盘，吸盘顶端固定安装有弹簧，弹簧顶端固定连接滑套顶端内壁，所述滑板顶端边缘处固定安装有气泵，气泵的进气口通过管道与气管导通，所述外框前侧上部装配安装有闸门，闸门四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框前侧下部固定安装有传送带，所述外框内侧后部固定安装有负极板，所述外框内侧上部固定安装有隔板，隔板中部固定安装有网孔板，网孔板顶端固定安装有正极板，正极板边缘处固定安装有配气管，所述外框左侧外壁固定安装有供气泵，供气泵后端固定安装有电磁阀，电磁阀右端通过管道与配气管左侧壁导通，所述外框后侧壁固定安装有储气罐，储气罐左端通过管道与电磁阀后端开口导通，所述储气罐右端与外部加压供气设备导通，电磁阀左端开口通过管道与外部大气导通，所述外框顶端固定安装有警报灯。作为本技术进一步的方案：所述传送带位于Z轴滑台前侧下方。作为本技术再进一步的方案：所述闸门采用上下竖直开闭方式，所述闸门中部固定安装有透视板。作为本技术再进一步的方案：所述Z轴滑台采用密封滑台。作为本技术再进一步的方案：所述警报灯、传送带、闸门、供气泵、负极板、Y轴滑台、X轴滑台、气泵、Z轴滑台、电磁阀和正极板与外部电源及外部控制设备电性连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术在结构上设计合理，内部结构灵活，可以实现自动的上下料，且柔性结构保证产品的搬运稳定安全，避免下落距离过长造成损坏，设备的结构紧凑，配气均匀。附图说明图1为微波等离子蚀刻机的结构示意图。图2为微波等离子蚀刻机内部的俯视示意图。图3为微波等离子蚀刻机中外框、配气管、网孔板、正极板和负极板之间的结构示意图。图4为微波等离子蚀刻机中外框、X轴滑台、Y轴滑台、Z轴滑台和负极板之间的结构示意图。图中：外框1、警报灯2、传送带3、闸门4、供气泵5、负极板6、Y轴滑台7、储气罐8、X轴滑台9、气管10、滑板11、气泵12、Z轴滑台13、电磁阀14、隔板15、配气管16、正极板17、网孔板18、吸盘19、滑套20、弹簧21。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1～4，本技术实施例中，一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框1、供气泵5、负极板6、Y轴滑台7、X轴滑台9、Z轴滑台13、电磁阀14和正极板17，所述外框1内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台13，Z轴滑台13上方装配滑动安装有滑板1，滑板11顶端固定安装有X轴滑台9，X轴滑台9顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台7，Y轴滑台7相对一侧装配安装有左右对称的气管10，气管10底端开口处固定安装有滑套20，滑套20内侧滑动安装有吸盘19，吸盘19顶端固定安装有弹簧21，弹簧21顶端固定连接滑套20顶端内壁，所述滑板11顶端边缘处固定安装有气泵12，气泵12的进气口通过管道与气管10导通，所述外框1前侧上部装配安装有闸门4，闸门4四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框1前侧下部固定安装有传送带3，所述外框1内侧后部固定安装有负极板6，所述外框1内侧上部固定安装有隔板15，隔板15中部固定安装有网孔板18，网孔板18顶端固定安装有正极板17，正极板17边缘处固定安装有配气管16，所述外框1左侧外壁固定安装有供气泵5，供气泵5后端固定安装有电磁阀14，电磁阀14右端通过管道与配气管16左侧壁导通，所述外框1后侧壁固定安装有储气罐8，储气罐8左端通过管道与电磁阀14后端开口导通，所述储气罐8右端与外部加压供气设备导通，电磁阀14左端开口通过管道与外部大气导通，所述外框1顶端固定安装有警报灯2。所述传送带3位于Z轴滑台13前侧下方。所述闸门4采用上下竖直开闭方式，所述闸门4中部固定安装有透视板。所述Z轴滑台13采用密封滑台。所述警报灯2、传送带3、闸门4、供气泵5、负极板6、Y轴滑台7、X轴滑台9、气泵12、Z轴滑台13、电磁阀14和正极板17与外部电源及外部控制设备电性连接。本技术的工作原理是：本技术涉及一种微波等离子蚀刻机，将显影后的线路板放置在负极板6上，通过正极板17和供气泵5提供电离反应的酸性气体和电离场，进行蚀刻，网孔板18和配气管16提供均匀分布的反应气体，且蚀刻前后，通过闸门4将外框1内部密封，通过电磁阀14将供气泵5与外框1内部导通，为加工腔抽真空，蚀刻前抽真空是为了提供洁反应净空间，蚀刻中电磁阀14配合外部加压设备将储气罐8内部的酸性气体储蓄的充入外框1内部，蚀刻后抽真空是为了内部空间挥发物质排放彻底，在供气泵5的前端出口装配废气回收设备，避免污染，且装置带有三自由度的自动上料结构，配合气动吸附设备，可以将传送带上的产品放入设备内部，将生产后的产品从内部取出放上传送带，且在真空取料时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框(1)、供气泵(5)、负极板(6)、Y轴滑台(7)、X轴滑台(9)、Z轴滑台(13)、电磁阀(14)和正极板(17)，其特征在于，所述外框(1)内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台(13)，Z轴滑台(13)上方装配滑动安装有滑板(11)，滑板(11)顶端固定安装有X轴滑台(9)，X轴滑台(9)顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台(7)，Y轴滑台(7)相对一侧装配安装有左右对称的气管(10)，气管(10)底端开口处固定安装有滑套(20)，滑套(20)内侧滑动安装有吸盘(19)，吸盘(19)顶端固定安装有弹簧(21)，弹簧(21)顶端固定连接滑套(20)顶端内壁，所述滑板(11)顶端边缘处固定安装有气泵(12)，气泵(12)的进气口通过管道与气管(10)导通，所述外框(1)前侧上部装配安装有闸门(4)，闸门(4)四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框(1)前侧下部固定安装有传送带(3)，所述外框(1)内侧后部固定安装有负极板(6)，所述外框(1)内侧上部固定安装有隔板(15)，隔板(15)中部固定安装有网孔板(18)，网孔板(18)顶端固定安装有正极板(17)，正极板(17)边缘处固定安装有配气管(16)，所述外框(1)左侧外壁固定安装有供气泵(5)，供气泵(5)后端固定安装有电磁阀(14)，电磁阀(14)右端通过管道与配气管(16)左侧壁导通，所述外框(1)后侧壁固定安装有储气罐(8)，储气罐(8)左端通过管道与电磁阀(14)后端开口导通，所述储气罐(8)右端与外部加压供气设备导通，电磁阀(14)左端开口通过管道与外部大气导通，所述外框(1)顶端固定安装有警报灯(2)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框(1)、供气泵(5)、负极板(6)、Y轴滑台(7)、X轴滑台(9)、Z轴滑台(13)、电磁阀(14)和正极板(17)，其特征在于，所述外框(1)内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台(13)，Z轴滑台(13)上方装配滑动安装有滑板(11)，滑板(11)顶端固定安装有X轴滑台(9)，X轴滑台(9)顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台(7)，Y轴滑台(7)相对一侧装配安装有左右对称的气管(10)，气管(10)底端开口处固定安装有滑套(20)，滑套(20)内侧滑动安装有吸盘(19)，吸盘(19)顶端固定安装有弹簧(21)，弹簧(21)顶端固定连接滑套(20)顶端内壁，所述滑板(11)顶端边缘处固定安装有气泵(12)，气泵(12)的进气口通过管道与气管(10)导通，所述外框(1)前侧上部装配安装有闸门(4)，闸门(4)四周侧壁固定安装有密封胶条，所述外框(1)前侧下部固定安装有传送带(3)，所述外框(1)内侧后部固定安装有负极板(6)，所述外框(1)内侧上部固定安装有隔板(15)，隔板(15)中部固定安装有网孔板(18)，网孔板(18)顶端固定安装有正极板(17)，正极板(17)边缘处固定安装有配气管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖鑫，郭明亮，易先德，
申请(专利权)人：珠海安普特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44