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本实用新型公开了一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框、供气泵、负极板、Y轴滑台、X轴滑台、Z轴滑台、电磁阀和正极板，所述外框内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台，Z轴滑台上方装配滑动安装有滑板，滑板顶端固定安装有X轴滑台，X轴滑台顶端侧壁...
该专利属于珠海安普特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海安普特科技有限公司授权不得商用。

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