一种真空水平式蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块，凸块顶端设置为弧形。本实用新型专利技术在结构上设计合理，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。

【技术实现步骤摘要】
一种真空水平式蚀刻机
本技术涉及一种蚀刻机，具体是一种真空水平式蚀刻机。
技术介绍
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，电离蚀刻机为酸气光刻机，通过真空状态下，对酸性气体施加电荷进行电力，通过电解后的酸性物质轰击电路板，将预先处理好的，带有部分被覆盖的镀膜层的电路板的裸露部分腐蚀掉，再将覆盖层洗掉，便可以得到蚀刻电路。现有的蚀刻机的电极结构过小，配气不均匀，造成线路板蚀刻的程度不一，影响成品质量，且酸气的供给清洁度不足，线路板与底电极之间接触面积大，容易发生黏连。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空水平式蚀刻机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框(1)、密封门(3)、供气泵(8)、顶电极(13)、均气板(14)、底电极(15)和真空泵(17)，其特征在于，所述外框(1)内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框(1)位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极(13)，所述外框(1)位于加工腔内侧下部固定安装有底电极(15)，底电极(15)顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块(20)，凸块(20)顶端设置为弧形，所述外框(1)内侧位于顶电极(13)和底电极(15)之间固定安装有均气板(14)，所述外框(1)内侧位于均气板(14)与顶电极(13)之间固定安装有配气管(12)，配气管(12)左端固定安装有供气泵(8)...

【技术特征摘要】
1.一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框(1)、密封门(3)、供气泵(8)、顶电极(13)、均气板(14)、底电极(15)和真空泵(17)，其特征在于，所述外框(1)内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框(1)位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极(13)，所述外框(1)位于加工腔内侧下部固定安装有底电极(15)，底电极(15)顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块(20)，凸块(20)顶端设置为弧形，所述外框(1)内侧位于顶电极(13)和底电极(15)之间固定安装有均气板(14)，所述外框(1)内侧位于均气板(14)与顶电极(13)之间固定安装有配气管(12)，配气管(12)左端固定安装有供气泵(8)，所述外框(1)内侧左部嵌设固定安装有开口向左的外壳(10)，所述供气泵(8)左端贯穿外壳(10)右侧壁延伸到外壳(10)内部，所述外壳(10)内侧固定安装有等距排列的折架(19)，折架(19)之间填充有滤棉(11)，所述折架(19)内侧中部开设有过气孔，所述外壳(10)左侧设置有盖板(9)，所述盖板(9)上部通孔通过外接管道与外部供气设备导通，所述外框(1)内侧位于加工腔处内壁旋接安装有对称设置的旋接头(7)，旋接头(7)中部...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖鑫，郭明亮，易先德，
申请(专利权)人：珠海安普特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44