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本实用新型公开了一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安...
该专利属于珠海安普特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海安普特科技有限公司授权不得商用。

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