一种扫描电子显微镜的样品仓制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。安装壳体的朝向样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜的样品仓
本技术涉及电子显微镜的
，具体为一种扫描电子显微镜的样品仓。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，扫描电子显微镜在各科研高校、企业单位广泛使用。扫描电子显微镜是利用阴极与阳极之间的高压产生高速电子，再经过几级聚焦形成极细的电子束，在试样表面逐点扫描激发试样表面的各种信号，最后通过不同传感器收集成像。故而样品仓的设计要求比较高，首先满足内部平台移动的空间结构，其次样品仓要有比较高的真空度要求，最后样品仓要有友好的交互传感器接口等。现有技术中的样品仓密封可靠性不高，外部电机传动到内部增加漏点，导致整体抽真空时间大大变长，且达不到高真空度的要求。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。一种扫描电子显微镜的样品仓，其特征在于：其包括安装壳体、样品舱门，所述安装壳体的朝向所述样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜的样品仓，其特征在于：其包括安装壳体、样品舱门，所述安装壳体的朝向所述样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁，所述支撑托的至少一部分支承于所述水平移动支撑轨道、并直线方...

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜的样品仓，其特征在于：其包括安装壳体、样品舱门，所述安装壳体的朝向所述样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁，所述支撑托的至少一部分支承于所述水平移动支撑轨道、并直线方向滑动布置，所述四轴移动平台的顶部设置有置物平台，所述安装开口的内周壁上设置有仿形布置的O型圈，样品舱门关闭状态下的内壁对应位置紧贴所述O型圈。


2.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜的样品仓，其特征在于：所述安装壳体的顶部设置有镜筒安装孔、底部设置有分子泵连接孔，所述安装壳体的侧壁上还设置有若干安装孔，每个安装孔在未使用状态下盖装有对应的盖板，使用时能外接常用的各种传感器。


3.如权利要求1所述的一种扫描电子...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凡凡，戴晓鹏，赫松龄，张伟，贺羽，
申请(专利权)人：无锡量子感知研究所，
类型：新型
国别省市：江苏;32