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本实用新型提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。安装壳体的朝向样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所...
该专利属于无锡量子感知研究所所有，仅供学习研究参考，未经过无锡量子感知研究所授权不得商用。

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