样品台及电子显微镜制造技术

技术编号:26914114 阅读:30 留言:0更新日期:2021-01-01 18:13
本实用新型专利技术涉及显微镜配件技术领域,公开了一种样品台及电子显微镜。该样品台,包括:底座、弹性圈和定位销,底座构造有多个贯通的样品孔,用于放置待测样品,在样品孔内构造有延伸至底座周侧边缘的定位孔,定位销能够插入定位孔中,弹性圈套设于底座和定位销的周侧并勒紧,以驱使定位销由定位孔向样品孔内移动进而压紧待测样品。该电子显微镜包括本实用新型专利技术的样品台。本实用新型专利技术采用了弹性圈和定位销的固定方式取代了螺栓紧固和胶粘的固定方式,结构简单,安放和取下待测样品操作简便,耗时短,效率高,节省成本。

【技术实现步骤摘要】
样品台及电子显微镜
本技术涉及显微镜配件
,特别是涉及一种样品台及电子显微镜。
技术介绍
电子显微镜是一种利用电子束及其激发的多种电子信号获取样品表面形貌、组分及结构等信息的电子光学仪器。对于较小的块状样品,尤其是需要准确测量化学组分时,一般先用树脂包埋为柱状体,常见形状为圆柱体,偶尔用四棱柱体,然后将包埋块的截面打磨抛光并喷镀导电层。电子显微镜样品台是承载、固定待测样品的装置,通常由具有良好导电性的固体材料制成。电子显微镜工作时,其样品仓需保持在一定的真空度范围。为了减少因多次抽、泄真空导致耗时较多,多采用将数个待测样品置于同一样品台之上,同时放入样品仓。而经磨抛处理后的柱状样品或树脂块普遍存在高度不一致、两个下端面不平行等问题,且待测样品一般是通过螺栓紧固件或胶粘的方式固定在样品台上:采用螺栓紧固的方式安装和取下样品操作繁琐,耗时长,效率低;采用胶粘的方式不易剥离且容易在样品台上残留胶质。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术实施例的目的是提供一种样品台及电子显微镜,以解决现有技术中样品台采用螺栓紧固或胶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品台,其特征在于,包括:底座、弹性圈和定位销,所述底座构造有多个贯通的样品孔,用于放置待测样品,在所述样品孔内构造有延伸至所述底座周侧边缘的定位孔,所述定位销能够插入所述定位孔中,所述弹性圈套设于所述底座和所述定位销的周侧并勒紧,以驱使所述定位销由所述定位孔向所述样品孔内移动进而压紧所述待测样品。/n

【技术特征摘要】
1.一种样品台,其特征在于,包括:底座、弹性圈和定位销,所述底座构造有多个贯通的样品孔,用于放置待测样品,在所述样品孔内构造有延伸至所述底座周侧边缘的定位孔,所述定位销能够插入所述定位孔中,所述弹性圈套设于所述底座和所述定位销的周侧并勒紧,以驱使所述定位销由所述定位孔向所述样品孔内移动进而压紧所述待测样品。


2.根据权利要求1所述的样品台,其特征在于,还包括凸台,所述凸台设置于所述样品孔内,且与所述底座的上端面平齐。


3.根据权利要求2所述的样品台,其特征在于,所述凸台的承接面分别与所述底座的上端面和所述底座的下端面平行。


4.根据权利要求2所述的样品台,其特征在于,所述样品孔为圆...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙烈吴世磊关晓武李昕
申请(专利权)人:中国科学院自然科学史研究所
类型:新型
国别省市:北京;11

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