一种脱除硫酸中双氧水的设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种脱除硫酸中双氧水的设备，包括一超重力装置设一密闭处理空间，密闭处理空间内由下往上设有一转子装置，转子装置由动力源带动产生高速旋转，使从设备中间经过液体分布器进入的废硫酸均匀分布形成悬浮的小液滴在离心力作用下往外甩出；另由上往下设一定子装置包含一支以上紫外线灯管，使均匀分布形成悬浮的小液滴能得到充分的灯光照射，双氧水分解反应后产生的氧气得由抽气装置立即抽离，避免被紫外光照射后与水接触再次形成双氧水，而酸洗后的金属离子得氧化成金属氧化物可经由过滤装置滤除，如此可有效提升硫酸的纯度，达回收再利用并重复使用及改善环保问题。

【技术实现步骤摘要】
一种脱除硫酸中双氧水的设备
本技术涉及一种废硫酸净化回收再利用的
，尤指其技术上提供一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中废硫酸经超重力装置高速旋转得均匀分布形成悬浮的小液滴，能得到充分的紫外光照射，双氧水分解反应后产生的氧气得由抽气装置立即抽离，避免被紫外光照射后与水接触再次形成双氧水，而酸洗后的金属离子得氧化成金属氧化物可经由过滤装置滤除，如此可有效提升硫酸的纯度，达回收再利用并重复使用及改善环保问题。
技术介绍
目前晶圆的制程中，其中一道工序需要用到硫酸加双氧水进行晶圆表面的加工处理。使用过的含双氧水的废硫酸，在后续的储藏、运送和使用过程中，由于双氧水含量如果过高会突然间汽化可能会导致爆炸，为了避免发生危险所以只能将使用过后的废硫酸中的双氧水含量降至很低；然而硫酸为强酸性，去除双氧水相当困难，反应物需耐强酸。现行硫酸去除双氧水是加入盐酸进行反应，其虽可去除双氧水，但是会产生三种副产物，其一为氯离子，所以还需要达到氯离子残留标准不可高于10PPM。另一为产生氯气，所以需要氯气处理设备。再一为放热反应造成温升，必须安装热交换器将热排除。再者，为了控制氯离子残留符合标准，需要分次加入盐酸进行反应，时间也拉长到需要4至6个小时。而氯气的部分，需要用到湿式洗涤塔，还要加入液碱(NaOH)，非常麻烦效率不佳，且设备成本高昂。还有一定的残存量，且稳定度也不高。而其处理后的废硫酸也作为废弃物处理掉。目前工业上最有效的双氧水分解剂是来自动物的过氧化氢分解酶。从牛肝得到的过氧化氢酶分解速率可以到达3.2x105S-1。一些具有氧化催化能力的金属触媒，如Pt、Pd、Mn、Co、Fe等离子或金属氧化物，也都对双氧水有不错的分解能力。在工业也常报导使用。不过上述的双氧水分解剂都无法承受在硫酸质量浓度高达50％以上的水溶液中，硫酸会破坏酶，也会溶解金属，造成触媒中的有效活性成分流失。NEWFRONT.CHEM.(2014)Volume23,Number2,pp.99-110(ISSN2393-2171；ISSN-L2393-2171)WestUniversityofFormer:Ann.WestUniv.Timisoara–SeriesChem.ISSN:1224-9513「HYDROGENPEROXIDEPHOTOLYSISWITHDIFFERENTUVLIGHTSOURCESINCLUDINGANEWUV-LEDLIGHTSOURCE」文献中有提到：「实验利用紫外光(UV)分解双氧水，但低到一个程度后，双氧水无法持续被脱除，这是因为产生的氧气被紫外光(UV)照射后形成臭氧，然后再和水反应形成双氧水所致」。因此及时抽除氧气可将双氧水分解到更低的水平，如低于1ppm或无检出。是以，针对上述现有结构所存在的问题点，如何开发一种更具理想实用性的创新结构，实消费者所殷切企盼，也系相关业者须努力研发突破的目标及方向。有鉴于此，本技术设计人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的创作。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中从设备中间经过液体分布器进入的废硫酸经超重力装置高速旋转下，使废硫酸在离心力的作用下均匀分布形成悬浮的小液滴往外甩出；另由上往下设一定子装置包含一以上紫外线灯管，使均匀分布形成悬浮的小液滴能得到充分的紫外光照射，双氧水分解反应后产生的氧气得由抽气装置立即抽离，避免被紫外光照射后与水接触再次形成双氧水，而酸洗后的金属离子得氧化成金属氧化物，该氧化物因溶解度较低可透由过滤装置滤除，如此可有效提升硫酸的纯度，达回收再利用并重复使用及改善环保问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种脱除硫酸中双氧水的设备，其特征在于，包括：一超重力装置，设有一密闭处理空间，前述密闭处理空间内由下往上设有一转子装置，前述转子装置能够往外连结一动力源并且传动200RPM以上高速旋转，前述转子装置设成数个内筛板，前述内筛板设复数内筛板孔，且各内筛板孔的孔径在5mm以下，前述密闭处理空间由上往下设有数个定子装置，其中前述定子装置包括一支以上的紫外线灯管；一废硫酸导入管，由上往下导入至前述密闭处理空间内部的中心，前述废硫酸导入管底端设一液体分布器，可供废硫酸进入前述密闭处理空间内部；一抽气装置，装设的一抽气管路由前述密闭处理空间上方连通至前述密闭处理空间内部；数净化硫酸输出管，一端由前述密闭处理空间底部贯穿导通至前述密闭处理空间内部；以及一过滤装置，装设至前述净化硫酸输出管上，前述过滤装置能够过滤掉废硫酸中氧化的金属离子形成的金属氧化物。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述紫外线灯管为波长400nm以下的UV紫外线灯管，前述紫外线灯管设置有数支，并至少设置一层，每层设有至少一支前述紫外线灯管。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述紫外线灯管设置有五层，每层设有十二支前述紫外线灯管。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述废硫酸导入管往外连接一流量计、一第一球形阀、一第一泵浦及一废硫酸储槽。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述抽气装置的前述抽气管路往外连接一气液分离槽，前述气液分离槽再分别连接一抽风机及一第二泵浦，前述第二泵浦输出侧装设一第一控制阀，一第一控制器控制前述第一控制阀，前述第一控制器装设至前述气液分离槽处，能够侦测液体水位作为开启前述第一控制阀的依据，前述第一控制阀输出侧连接至前述废硫酸储槽。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述净化硫酸输出管往外连接一液体出料暂存槽，前述液体出料暂存槽再连接一第三泵浦，前述第三泵浦输出端再接前述过滤装置，前述过滤装置再接至前述废硫酸储槽或一第二控制阀，一第二控制器装设至前述液体出料暂存槽并连线控制前述第二控制阀，以在双氧水无检测出时能够开启前述第二控制阀进行净化硫酸输出。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述动力源为一变速马达。所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其中：前述紫外线灯管为外罩石英玻璃的紫外线灯管。本技术提供一种脱除硫酸中双氧水，包括：废硫酸液中双氧水约为5％，废硫酸液注入至设有一支以上紫外线灯管的超重力装置密闭处理空间中；在超重力装置高速旋转下，使废硫酸均匀分布形成悬浮的小液滴；另由上往下设一定子装置包含一支以上紫外线灯管，使均匀分布形成悬浮的小液滴能得到充分的灯光照射，反应后产生的氧气得由抽气装置立即抽离，避免被紫外光照射后与水接触再次形成双氧水，而酸洗后的金属离子得氧化成金属氧化物，该氧化物因溶解度较低可经由过滤装置滤除，如此可有效提升硫酸的纯度，使双氧水除到低于1ppm或无检出，达回收再利用并重复使用及改善环保问题。有关本技术所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式详细说明于后，相信本技术上述的目的、构造及特征，当可由之得一深入而具体的了解。附图说明<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脱除硫酸中双氧水的设备，其特征在于，包括：/n一超重力装置，设有一密闭处理空间，前述密闭处理空间内由下往上设有一转子装置，前述转子装置能够往外连结一动力源并且传动200RPM以上高速旋转，前述转子装置设成数个内筛板，前述内筛板设复数内筛板孔，且各内筛板孔的孔径在5mm以下，前述密闭处理空间由上往下设有数个定子装置，其中前述定子装置包括一支以上的紫外线灯管；/n一废硫酸导入管，由上往下导入至前述密闭处理空间内部的中心，前述废硫酸导入管底端设一液体分布器，可供废硫酸进入前述密闭处理空间内部；/n一抽气装置，装设的一抽气管路由前述密闭处理空间上方连通至前述密闭处理空间内部；/n数净化硫酸输出管，一端由前述密闭处理空间底部贯穿导通至前述密闭处理空间内部；以及/n一过滤装置，装设至前述净化硫酸输出管上，前述过滤装置能够过滤掉废硫酸中氧化的金属离子形成的金属氧化物。/n

【技术特征摘要】
1.一种脱除硫酸中双氧水的设备，其特征在于，包括：
一超重力装置，设有一密闭处理空间，前述密闭处理空间内由下往上设有一转子装置，前述转子装置能够往外连结一动力源并且传动200RPM以上高速旋转，前述转子装置设成数个内筛板，前述内筛板设复数内筛板孔，且各内筛板孔的孔径在5mm以下，前述密闭处理空间由上往下设有数个定子装置，其中前述定子装置包括一支以上的紫外线灯管；
一废硫酸导入管，由上往下导入至前述密闭处理空间内部的中心，前述废硫酸导入管底端设一液体分布器，可供废硫酸进入前述密闭处理空间内部；
一抽气装置，装设的一抽气管路由前述密闭处理空间上方连通至前述密闭处理空间内部；
数净化硫酸输出管，一端由前述密闭处理空间底部贯穿导通至前述密闭处理空间内部；以及
一过滤装置，装设至前述净化硫酸输出管上，前述过滤装置能够过滤掉废硫酸中氧化的金属离子形成的金属氧化物。


2.根据权利要求1所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其特征在于：前述紫外线灯管为波长400nm以下的UV紫外线灯管，前述紫外线灯管设置有数支，并至少设置一层，每层设有至少一支前述紫外线灯管。


3.根据权利要求2所述的一种脱除硫酸中双氧水的设备，其特征在于：前述紫外线灯管设置有五层，每层设有十二支前述紫外线灯管。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘其俊，吴铭钦，林昌潭，刘代宗，萧安泰，
申请(专利权)人：亚氨科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71