一种电子混合气分析检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电子混合气分析检测装置及方法，属于电子混合气分析检测技术领域。所述装置包括支撑架、反应釜、固定环、进气机构、倒U形框、电机、压缩机构、控制机构、工作台、排气机构、放置盒、开关、检测机构、固定架、提取机构、支撑柱以及传动机构。设置进气机构与压缩机构实现对进气的调控，使各种气体按照配比添加，压缩机构还可压缩气体混合空间，增加气体混合效率；设置控制机构实现对电机的调控，使得混合气体空间不会被强行压缩，不会使温度过高，不至于发生反应或爆炸，在加速混合的同时保证了安全；设置排气机构清除对装置内空气，避免空气对检测的干扰，增加了实验数据的准确性，也避免混合气体中有的气体与空气发生反应。

【技术实现步骤摘要】
一种电子混合气分析检测装置及方法
本专利技术涉及一种电子混合气分析检测装置及方法，属于电子混合气分析检测

技术介绍
随着电子工业，尤其是大规模集成电路的发展，混合气的用量越来越大，人们把半导体工业用的混合气称为电子混合气，电子混合气种类很多，组分气体主要有：硅烷、砷烷、磷烷、硼烷、锗烷、硒化氢、硫化氢四氟化碳(底气为氧)；底气有：氮、氢、氩、氦等。但是现有的电子混合气分析检测装置大多不能排除空气的影响，从而不能准确快速的分析微量水分和氢、氧、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳等微量杂质。
技术实现思路
为克服现有技术存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种电子混合气分析检测装置及方法，能够排除空气的影响，使检测更加准确。为实现本专利技术的目的，提供以下技术方案。一种电子混合气分析检测装置，所述装置包括支撑架、反应釜、固定环、进气机构、倒U形框、电机、压缩机构、控制机构、工作台、排气机构、放置盒、开关、检测机构、固定架、提取机构、支撑柱以及传动机构。支撑架上方设有反应釜，反应釜下部外侧壁上固定连接有固定环，固定环的下端面与支撑架固定连接，反应釜左右侧壁设有进气机构，反应釜的顶部外侧固定连接有开口向下的倒U形框，倒U形框的内顶部固定连接有电机，电机输出轴纵向贯穿反应釜的顶部并延伸至反应釜内，电机的输出轴穿过反应釜顶部处密封连接，电机伸入反应釜内的输出轴上设有用于增加混合气速率的压缩机构，压缩机构下方的反应釜内侧壁上设有用于切断电机运动的控制机构，支撑架的右侧设有工作台，工作台由左右两条竖直的支撑腿支撑一个水平的台面构成，工作台右支撑腿上设有反应釜连通的排气机构，用于除去反应釜内部空气，工作台的左支撑腿上固定连接有放置盒，放置盒内设有开关，工作台的台面上固定连接有用于检测混合气体的检测机构，检测机构的外侧工作台的台面上设有固定架，固定架上对应检测机构上方的位置设有提取机构，提取机构一端与检测机构连接，另一端与待测混合气连接，用于抽送待测混合气给检测机构，工作台与支撑架之间转动连接有支撑柱，支撑柱上设有传动机构，传动机构一端与电机连接，另一端与提取机构连接用于提供提取机构所需动力。优选进气机构如下：若干根进气管贯穿连接在反应釜的左右侧壁上，每根进气管上均设有控制阀，每根进气管内设有进气单向阀。优选压缩机构如下：电机输出轴下端固定连接有开口槽，开口槽的内壁螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆下端与圆盘上端面固定连接，圆盘与反应釜内横截面大小尺寸相配合并滑动连接。优选控制机构如下：反应釜右侧内壁上设有两个安装槽，楔形块右边的大端位于安装槽内左侧，楔形块左边的小端伸出安装槽并向反应釜内侧凸起，安装槽的右端外侧设有安装筒，安装筒的右端向右贯穿反应釜的右侧壁并伸出反应釜外，安装筒内滑动连接有挡板，挡板右侧壁与安装筒左侧内壁之间通过第一弹簧弹性连接，挡板左侧壁与推杆右端连接，推杆贯穿安装槽，推杆左端与楔形块的右边大端连接，推杆上设有触发片，安装筒的内壁上也设有触发片，控制机构运动时，所述触发片产生接触以实现对电机运动的控制。优选排气机构如下：工作台的右支撑腿上固定连接有抽气机，反应釜的底部与出气管连通，出气管上邻近反应釜一侧设有调控阀，出气管横穿工作台的台面，末端设有单向阀并与抽气机连接。优选检测机构如下：工作台的台面上设有若干个检测机，分别独立检测混合气中的不同成分。优选提取机构如下：固定架上部转动连接有旋转轴，旋转轴上固定连接有若干个凸轮；对应凸轮的位置，固定架中部隔板上固定连接有若干注射筒，注射筒贯穿所述隔板；每个注射筒内设有活塞，活塞上端固定连接有贯穿注射筒的注射柱；固定架中部隔板上方，注射柱的上部伸出注射筒，顶端固定连接有推板，推板上方设有一对安装块，一对安装块之间固定连接有转轴，转轴上转动连接有与凸轮相接触的转轮，推板下方与注射筒顶端上方之间的注射柱上设有第二弹簧，推板与注射筒之间通过第二弹簧弹性连接；固定架中部隔板下方，注射筒的左右侧壁上各设有支管，一侧支管与检测机连接，另一侧支管与出气管连通，每根支管内设有单向阀。优选传动机构如下：支撑柱上固定连接有第一锥齿轮，旋转轴左端贯穿固定架的左侧壁并固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，电机的输出轴与支撑柱的上端分别固定连接有带轮，两个带轮之间通过皮带连接。一种电子混合气分析检测方法，所述方法采用本专利技术所述的一种电子混合气分析检测装置实施，包括以下步骤：1)关闭除调控阀外的有阀门，打开抽气机，进气管、出气管与反应釜内的空气抽光，进行空气的去除，单向阀防止空气混进出气管；2)关闭调控阀，打开控制阀，向反应釜内通入各种气体进行混合，关闭控制阀，打开控制电机的开关使电机运动，使得圆盘下压，压缩各种气体混合的空间，加快各种气体的混合，当圆盘触碰控制机构，楔形块右移，第一弹簧压缩，两个触发片接触，控制电机停止运动；3)打开调控阀，打开控制检测机的开关，打开控制电机的开关，使圆盘下移将混合气压进出气管内，通过传动机构将电机的运动传送至旋转轴上，使凸轮转动，通过提取机构将混合气抽送到检测机内，进行检测；4)圆盘再次触碰控制机构，电机停止运动，检测结束，记录下检测的数据，进行多次测量，进行数据分析；5)关闭有开关，关闭调控阀，清理工作台。优选检测用平衡气为氖气。有益效果1.本专利技术提供了一种电子混合气分析检测装置及方法，通过设置进气机构与压缩机构，实现对进气的调控，使各种气体可以按照配比进行添加，同时压缩机构实现对各种气体混合空间的压缩，大大增加混合气体的混合效率。2.本专利技术提供了一种电子混合气分析检测装置及方法，通过设置控制机构，实现对电机的调控，使得混合气体的空间不会被强行压缩，不会使温度过高，不至于发生反应，或者爆炸，在加速混合的同时保证了安全。3.本专利技术提供了一种电子混合气分析检测装置及方法，通过设计排气机构，实现对整体装置内空气的清除，避免空气对检测进行干扰，大大增加实验数据的准确性，同时也避免混合气体中有的气体与空气发生反应。附图说明图1为实施例1中的一种电子混合气分析检测装置的主视图。图2为图1中的A处结构放大示意图。图3为图2中的C处结构放大示意图。图4为图1中的B处结构放大示意图。图5为实施例1中注射筒的主视图。其中，1—支撑架，2—反应釜，3—固定环，4—倒U形框，5—电机，6—工作台，7—放置盒，8—开关，9—固定架，10—支撑柱，11—进气管，12—控制阀，13—进气单向阀，14—开口槽，15—螺纹杆，16—圆盘，17—安装槽，18—楔形块，19—挡板，20—第一弹簧，21—推杆，22—抽气机，23—出气管，24—调控阀，25—检测机，26—旋转轴，27—凸轮，28—注射筒，29—活塞，30—注射柱，31—安装块，32—转轮，33—支管，34—单向阀，35—第一锥齿轮，36—第二锥齿轮，37—带轮，38—皮带，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：所述装置包括支撑架(1)、反应釜(2)、固定环(3)、进气机构、倒U形框(4)、电机(5)、压缩机构、控制机构、工作台(6)、排气机构、放置盒(7)、开关(8)、检测机构、固定架(9)、提取机构、支撑柱(10)以及传动机构；/n支撑架(1)的上方设有反应釜(2)，反应釜(2)的下部外侧壁上固定连接有固定环(3)，固定环(3)的下端面与支撑架(1)固定连接，反应釜(2)左右侧壁设有进气机构，反应釜(2)的顶部外侧固定连接有开口向下的倒U形框(4)，倒U形框(4)的内顶部固定连接有电机(5)，电机(5)输出轴纵向贯穿反应釜(2)的顶部并延伸至反应釜(2)内，电机(5)的输出轴穿过反应釜(2)顶部处密封连接，电机(5)伸入反应釜(2)内的输出轴上设有压缩机构，压缩机构下方的反应釜(2)内侧壁上设有用于切断电机(5)运动的控制机构，支撑架(1)的右侧设有工作台(6)，工作台(6)由左右两条竖直的支撑腿支撑一个水平的台面构成，工作台(6)的右支撑腿上设有反应釜(2)连通的排气机构，工作台(6)的左支撑腿上固定连接有放置盒(7)，放置盒(7)内设有开关(8)，工作台(6)的台面上固定连接有用于检测混合气体的检测机构，检测机构的外侧工作台(6)的台面上设有固定架(9)，固定架(9)上对应检测机构上方的位置设有提取机构，提取机构一端与检测机构连接，另一端与待测混合气连接，工作台(6)与支撑架(1)之间转动连接有支撑柱(10)，支撑柱(10)上设有传动机构，传动机构一端与电机(5)连接，另一端与提取机构连接用于提供提取机构所需动力。/n...

【技术特征摘要】
1.一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：所述装置包括支撑架(1)、反应釜(2)、固定环(3)、进气机构、倒U形框(4)、电机(5)、压缩机构、控制机构、工作台(6)、排气机构、放置盒(7)、开关(8)、检测机构、固定架(9)、提取机构、支撑柱(10)以及传动机构；
支撑架(1)的上方设有反应釜(2)，反应釜(2)的下部外侧壁上固定连接有固定环(3)，固定环(3)的下端面与支撑架(1)固定连接，反应釜(2)左右侧壁设有进气机构，反应釜(2)的顶部外侧固定连接有开口向下的倒U形框(4)，倒U形框(4)的内顶部固定连接有电机(5)，电机(5)输出轴纵向贯穿反应釜(2)的顶部并延伸至反应釜(2)内，电机(5)的输出轴穿过反应釜(2)顶部处密封连接，电机(5)伸入反应釜(2)内的输出轴上设有压缩机构，压缩机构下方的反应釜(2)内侧壁上设有用于切断电机(5)运动的控制机构，支撑架(1)的右侧设有工作台(6)，工作台(6)由左右两条竖直的支撑腿支撑一个水平的台面构成，工作台(6)的右支撑腿上设有反应釜(2)连通的排气机构，工作台(6)的左支撑腿上固定连接有放置盒(7)，放置盒(7)内设有开关(8)，工作台(6)的台面上固定连接有用于检测混合气体的检测机构，检测机构的外侧工作台(6)的台面上设有固定架(9)，固定架(9)上对应检测机构上方的位置设有提取机构，提取机构一端与检测机构连接，另一端与待测混合气连接，工作台(6)与支撑架(1)之间转动连接有支撑柱(10)，支撑柱(10)上设有传动机构，传动机构一端与电机(5)连接，另一端与提取机构连接用于提供提取机构所需动力。


2.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：进气机构如下：
若干根进气管(11)贯穿连接在反应釜(2)的左右侧壁上，每根进气管(11)上均设有控制阀(12)，每根进气管(11)内设有进气单向阀(13)。


3.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：压缩机构如下：
电机(5)输出轴下端固定连接有开口槽(14)，开口槽(14)的内壁螺纹连接有螺纹杆(15)，螺纹杆(15)下端与圆盘(16)上端面固定连接，圆盘(16)与反应釜(2)内横截面大小尺寸相配合并滑动连接。


4.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：控制机构如下：
反应釜(2)右侧内壁上设有两个安装槽(17)，楔形块(18)右边大端位于安装槽(17)内左侧，(18)左边的小端伸出安装槽(17)并向反应釜(2)内侧凸起，安装槽(17)的右端外侧设有安装筒，安装筒的右端向右贯穿反应釜(2)的右侧壁并伸出反应釜(2)外，安装筒内滑动连接有挡板(19)，挡板(19)右侧壁与安装筒左侧内壁之间通过第一弹簧(20)弹性连接，挡板(19)左侧壁与推杆(21)右端连接，推杆(21)贯穿安装槽(17)，推杆(21)左端与楔形块(18)右边大端连接，推杆(21)上设有触发片，安装筒的内壁上也设有触发片，控制机构运动时，所述触发片产生接触以实现对电机(5)运动的控制。


5.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：排气机构如下：
工作台(6)的右支撑腿上固定连接有抽气机(22)，反应釜(2)的底部与出气管(23)连通，出气管(23)上邻近反应釜(2)一侧设有调控阀(24)，出气管(23)横穿工作台(6)的台面，末端设有单向阀(34)并与抽气机(22)连接。


6.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：检测机构如下：
工作台(6)的台面上设有若干个检测机(25)，分别独立检测混合气中的不同成分。


7.根据权利要求1所述的一种电子混合气分析检测装置，其特征在于：提取机构如下：
固定架(9)上部转动连接有旋转轴(26)，旋转轴(26)上固定连接有若干个凸轮(27)；对应凸轮(27)的位置，固定架(9)中部隔板上固定连接有若干注射筒(28)，注射筒(28)贯穿所述隔板；每个注射筒(28)内设有活塞(29)，活塞(29)上端固定连接有贯穿注射筒(28)的注射柱(30)；固定架(9)中部隔板上方，注射柱(30)上部伸出注射筒(28)，顶端固定连接有推板，推板上方设有一对安装块(31)，一对安装块(31)之间固定连接有转轴，转轴上转动连接有与凸轮(27)相接触的转轮(32)，推板下方与注射筒(28)顶端上方之间的注射柱(30)上设有第二弹簧(39)，推板与注射筒(28)之间通过第二弹簧(39)弹性连接；固定架(9)中部隔板下方，注射筒(28)的左右侧壁上各设有支管(33)，一侧支管(33)与检测机(25)连接，另一侧支管(33)与出气管(23)连通，每根支管(33)内设有单向阀(34)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，王少波，马朝选，王亚峰，鲁毅，孙秋丽，白雪萍，倪姗姗，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13